一种硅片吸盘手装置的制作方法

技术特征：
1.一种硅片吸盘手装置，其特征在于，包括移动机构、r轴旋转机构、吸盘手机构及相机，所述移动机构与所述r轴旋转机构相连，所述r轴旋转机构与所述吸盘手机构相连，所述吸盘手机构至少包括第一吸盘、第二吸盘、第一升降组件及第二升降组件，所述第一升降组件与所述第一吸盘相连，所述第二升降组件与所述第二吸盘相连，所述相机位于所述第一吸盘、所述第二吸盘的下方。2.如权利要求1所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，硅片吸盘手装置还包括背光源，所述背光源与所述移动机构相连，所述背光源位于所述第一吸盘、所述第二吸盘的正上方。3.如权利要求1或2任一项所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述移动机构包括x轴移动组件、y轴移动组件及z轴移动组件，所述x轴移动组件与所述z轴移动组件相连，所述z轴移动组件与所述y轴移动组件相连，所述r轴旋转机构与所述y轴移动组件相连。4.如权利要求3所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述y轴移动组件包括音圈电机、固定底座、两个y轴导轨及y轴移动底板，所述音圈电机固定于所述固定底座的一端，两个所述y轴导轨相对设置于所述固定底座上，所述y轴移动底板通过滑块与两个所述y轴导轨相连，所述音圈电机与所述y轴移动底板相连，所述z轴移动组件固定于所述y轴移动底板上。5.如权利要求4所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述y轴移动组件还包括限位板及光电开关，所述限位板位于其中一个所述y轴导轨的一端，所述光电开关固定于所述y轴移动底板的底部。6.如权利要求4所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述y轴移动组件还包括光栅尺以及与所述光栅尺配合的光栅读数头，所述光栅尺固定于所述固定底座的侧面，所述光栅读数头位于所述y轴移动底板的底部，所述光栅尺与所述光栅读数头相对设置。7.如权利要求1所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述r轴旋转机构包括r轴旋转电机及减速器，所述r轴旋转电机与所述减速器相连，所述减速器与所述吸盘手机构相连。8.如权利要求1所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述吸盘手机构还包括吸盘固定座，所述r轴旋转机构与所述吸盘固定座相连，所述第一升降组件、所述第二升降组件分别相对设置于所述吸盘固定座的相对的两侧面，所述第一吸盘与所述第二吸盘相对设置。9.如权利要求8所述的硅片吸盘手装置，其特征在于，所述第一升降组件、所述第二升降组件均为滑动气缸。

技术总结
本实用新型公开了一种硅片吸盘手装置，包括移动机构、R轴旋转机构、吸盘手机构及相机，所述移动机构与所述R轴旋转机构相连，所述R轴旋转机构与所述吸盘手机构相连，所述吸盘手机构至少包括第一吸盘、第二吸盘、第一升降组件及第二升降组件，所述第一升降组件与所述第一吸盘相连，所述第二升降组件与所述第二吸盘相连，所述相机位于所述第一吸盘、所述第二吸盘的下方。本实用新型的硅片吸盘手装置提高了硅片转移效率，同时还可满足硅片的多种铺设需求。求。求。


技术研发人员：周军 戴秋喜 潘加永 刘光照
受保护的技术使用者：苏州映真智能科技有限公司
技术研发日：2021.06.16
技术公布日：2021/11/9