抽真空式油蒸发器和真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜装置技术领域，特别涉及一种抽真空式油蒸发器和应用该真空式油蒸发器的真空镀膜机


背景技术：

2.油蒸发器是真空镀膜机的重要部分，用于在介质薄膜上形成屏蔽油涂层，覆盖有屏蔽油涂层的区域在遇到气化的金属锌或者金属铝时，不会吸附上金属层，因此形成空白留边，以满足电容芯体的装配要求。
3.但本技术发明人在实现本技术实施例中实用新型技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：
4.目前油蒸发器采用壁加热电磁阀密封式或者壁加热外供油式，该两种方式在镀膜机合仓抽真空的瞬间，在气流和压差的作用下，油蒸发器里的油雾容易四处飞溅，飞溅出的油雾黏附于介质薄膜上造成直接污染，或者黏附于辊筒上，辊筒传送介质薄膜时，辊筒上的油点再转移印在薄膜上造成了二次污染，而被污染的薄膜在真空蒸发室里遇到气化的锌或铝金属后，有油点的地方就没有吸附金属，这样蒸镀后的金属化膜就形成了许多的白点，对金属化膜电容器的电性有着严重影响。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的是提供一种抽真空式油蒸发器，旨在提供一种减少油雾飞溅、避免薄膜污染以及提高金属化薄膜质量的抽真空式油蒸发器。
6.为实现上述目的，本实用新型提出的抽真空式油蒸发器，用于形成屏蔽油涂层，所述抽真空式油蒸发器包括：
7.蒸发主体，所述蒸发主体具有蒸发腔室，所述蒸发主体上开设有与所述蒸发腔室连通的油雾出口；
8.喷嘴板，所述喷嘴板设于所述蒸发主体，所述喷嘴板上开设有喷嘴孔，所述喷嘴孔与所述油雾出口连通；
9.油蒸发模块，所述油蒸发模块设于所述蒸发主体且与所述蒸发腔室连通，所述油蒸发模块通过外供油管与外部屏蔽油连通；和
10.真空回收装置，所述真空回收装置与所述蒸发腔室连通。
11.在一实施例中，所述真空回收装置包括：
12.回收瓶，所述回收瓶临近所述蒸发主体设置；
13.真空泵，所述真空泵的出口端与所述回收瓶连接；和
14.抽油管，所述抽油管分别与所述蒸发腔室和所述真空泵的进口端连接。
15.在一实施例中，所述抽油管具有两个进口油和一个出油口，两个所述进油口间隔设置且分别与所述蒸发腔室连通，所述出油口与所述真空泵的进口端连接。
16.在一实施例中，所述外供油管设有单向阀。
17.在一实施例中，所述抽真空式油蒸发器还包括多个加热管，所述加热管设于所述蒸发主体且伸入所述蒸发腔室。
18.在一实施例中，所述加热管有八个，且以单侧四个的方式设于所述蒸发主体的相对两侧，且从所述蒸发主体的四个顶角处伸入所述蒸发腔室。
19.在一实施例中，所述喷嘴板通过螺纹紧固件设于所述蒸发主体，所述喷嘴板与所述蒸发主体的连接处设有密封件。
20.在一实施例中，所述油雾出口为条形开口，所述喷嘴孔有多个且沿着所述油雾出口的开口方向间隔设置。
21.在一实施例中，所述抽真空式油蒸发器还包括控制器，所述控制器与所述真空回收装置电连接。
22.本实用新型还提出一种真空镀膜机，用于形成金属化薄膜，所述真空镀膜机包括如上述所述的抽真空式油蒸发器。
23.本实用新型技术方案包括蒸发主体、喷嘴板、油蒸发模块和真空回收装置，蒸发主体具有蒸发腔室，蒸发主体上开设有与蒸发腔室连通的油雾出口，喷嘴板设于蒸发主体，喷嘴板上开设有喷嘴孔，喷嘴孔与油雾出口连通，油蒸发模块设于蒸发主体且与蒸发腔室连通，油蒸发模块通过外供油管与外部屏蔽油连通，真空回收装置与蒸发腔室连通，通过采用真空回收装置在真空镀膜机合仓抽真空之前将蒸发腔室的油气抽走的技术手段，所以，有效解决了现有技术中在气流和压差的作用下，油蒸发器里的油雾容易四处飞溅对金属化薄膜产生影响的技术问题，进而实现了减少油雾飞溅、避免薄膜污染以及提高金属化薄膜质量的技术效果。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
25.图1为本实用新型抽真空式油蒸发器一实施例的结构示意图；
26.图2为本实用新型抽真空式油蒸发器的拆分结构示意图；
27.图3为图2a处的局部放大图；
28.附图标号说明：
29.抽真空式油蒸发器100；蒸发主体10；油雾出口11；喷嘴板20；喷嘴孔21；油蒸发模块30；外供油管40；真空回收装置50；回收瓶51；真空泵52；抽油管53；加热管60。
30.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
35.本实用新型提出一种抽真空式油蒸发器100，用于形成屏蔽油涂层。
36.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
37.在本实用新型的实施例中，如图1、图2和图3所示，该抽真空式油蒸发器100包括蒸发主体10、喷嘴板20、油蒸发模块30和真空回收装置50，其中，蒸发主体10具有蒸发腔室，蒸发主体10上开设有与蒸发腔室连通的油雾出口11；喷嘴板20设于蒸发主体10，喷嘴板20上开设有喷嘴孔21，喷嘴孔21与油雾出口11连通；油蒸发模块30设于蒸发主体10且与蒸发腔室连通，油蒸发模块30通过外供油管40与外部屏蔽油连通；真空回收装置50与蒸发腔室连通。
38.可以理解地，油蒸发模块30设置一定温度，使得屏蔽油经过油蒸发模块30时产生气化，气化后的屏蔽油位于蒸发腔室内，且通过油雾出口11且从喷嘴口喷出，在介质薄膜上形成屏蔽油涂层，在完成喷涂工序之后，蒸发腔室内还残留有部分油雾和余油，当镀膜机合仓抽真空工作时，油雾和余油会在气流和压差的作用下四处飞溅，为了防止油雾或者余油未充分利用而污染介质薄膜，因此在合仓抽真空之前，采用真空回收装置50，将残留于蒸发腔室内的部分油雾和余油抽走，减少油雾飞溅。
39.本实用新型技术方案包括蒸发主体10、喷嘴板20、油蒸发模块30和真空回收装置50，蒸发主体10具有蒸发腔室，蒸发主体10上开设有与蒸发腔室连通的油雾出口11，喷嘴板20设于蒸发主体10，喷嘴板20上开设有喷嘴孔21，喷嘴孔21与油雾出口11连通，油蒸发模块30设于蒸发主体10且与蒸发腔室连通，油蒸发模块30通过外供油管40与外部屏蔽油连通，真空回收装置50与蒸发腔室连通，通过采用真空回收装置50在真空镀膜机合仓抽真空之前将蒸发腔室的油气抽走的技术手段，所以，有效解决了现有技术中在气流和压差的作用下，油蒸发器里的油雾容易四处飞溅对金属化薄膜产生影响的技术问题，进而实现了减少油雾飞溅、避免薄膜污染以及提高金属化薄膜质量的技术效果。
40.在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，真空回收装置50包括回收瓶51、真空泵52和抽油管53，其中，回收瓶51临近蒸发主体10设置；真空泵52的出口端与回收瓶51连
接；抽油管53分别与蒸发腔室和真空泵52的进口端连接。通过真空泵52对蒸发腔室进行抽真空，使残留于蒸发腔室内的部分油雾和余油抽到回收瓶51中，回收瓶51中的油可再次利用，节约成本。
41.在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，抽油管53具有两个进口油和一个出油口，两个进油口间隔设置且分别与蒸发腔室连通，出油口与真空泵52的进口端连接。通过两个进油口对蒸发腔室进行抽真空以提高效率。
42.在本实用新型的实施例中，外供油管40设有单向阀。单向阀的设置可以防止屏蔽油反向流动。
43.在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，抽真空式油蒸发器100还包括多个加热管60，加热管60设于蒸发主体10且伸入蒸发腔室。通过加热管60对蒸发主体10进行加热，以使蒸发腔室内保持工艺要求的温度，以保证屏蔽油以雾化的状态从喷嘴板20的喷嘴孔21喷出。
44.在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，加热管60有八个，且以单侧四个的方式设于蒸发主体10的相对两侧，且从蒸发主体10的四个顶角处伸入蒸发腔室。通过加热管60均匀布置的方式，使得蒸发腔室内各处保持相同温度，以提高屏蔽油蒸镀的效果。
45.在本实用新型的实施例中，喷嘴板20通过螺纹紧固件设于蒸发主体10，喷嘴板20与蒸发主体10的连接处设有密封件。通过设有密封件，以防止油雾从喷嘴板20与蒸发主体10之间的间隙飞溅出来。
46.在本实用新型的实施例中，如图3所示，油雾出口11为条形开口，喷嘴孔21有多个且沿着油雾出口11的开口方向间隔设置。喷嘴孔21的开孔数量以及位置根据金属化薄膜的不同规格而改变。
47.在一实施例中，抽真空式油蒸发器100还包括控制器(图中未示出)，控制器与真空回收装置50电连接。在合仓抽真空之前，控制器提前启动真空泵52，对蒸发腔室进行抽真空。
48.本实用新型还提出一种真空镀膜机(图中未示出)，用于形成金属化薄膜，真空镀膜机包括如上述的抽真空式油蒸发器100，该抽真空式油蒸发器100的具体结构参照上述实施例，由于本真空镀膜机采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
49.以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。