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一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置的制作方法

2021-11-05 22:36:00 来源:中国专利 TAG:


1.本发明属于坩埚检测技术领域,具体是指一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。


背景技术:

2.石英坩埚是太阳能硅电池行业用来进行多晶硅铸锭的专用工艺装备,在石英坩埚的生产过程中,由于各种原因,在石英坩埚的成品中会存在有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷;如果将有划伤、杂质点、气泡、裂纹等缺陷的石英坩埚投入使用会对多晶硅铸锭的安全生产和产品质量产生严重的后果。


技术实现要素:

3.为了解决上述难题,本发明提供了一种便于调整角度的多晶硅铸锭石英坩埚检测装置。
4.为了实现上述功能,本发明采取的技术方案如下:一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,包括坩埚、支撑板、工作台、限位组件、固定组件、驱动组件和调整组件,所述支撑板设于工作台上,所述驱动组件下端设于工作台内,所述驱动组件上端可旋转设于工作台上,所述调整组件设于工作台上端,所述坩埚设于支撑板上,所述调整组件设于坩埚内,所述固定组件设于工作台侧壁上,所述限位组件设于工作台侧壁上;所述调整组件包括铰接杆、弹簧二、伸缩杆、检测灯、弹簧一、固定板、扭簧、支撑杆和液压杆,所述液压杆固定端设于工作台上壁上,所述支撑杆设于液压杆活动端上,所述铰接杆的一端通过扭簧可旋转铰接设于支撑杆上,所述弹簧二的一端设于铰接杆内,所述伸缩杆的一端可滑动卡接设于铰接杆的另一端上,所述伸缩杆的另一端设于弹簧二的另一端上,所述检测灯设于伸缩杆的另一端上,所述固定板设于支撑杆上,所述弹簧一的一端设于固定板上,所述弹簧一的另一端设于铰接杆上;需要对坩埚进行检测时,液压杆带动支撑杆上升,支撑杆带动铰接杆和伸缩杆上升,在扭簧和弹簧一的作用下,伸缩杆的另一端贴合坩埚滑动,检测灯贴合坩埚内侧壁进行检测,驱动组件带动调整组件旋转,便于对坩埚进行360度检测,同时限位组件可对驱动组件进行固定,以便仔细观察坩埚情况。
5.进一步地,所述驱动组件包括旋转电机、连接轴和转盘,所述旋转电机设于工作台内底壁上,所述连接轴的一端连接设于旋转电机输出轴端上,所述转盘可旋转设于工作台上,所述转盘与连接轴的另一端相连,所述调整组件设于转盘上;需要带动调整组件旋转时,旋转电机工作带动连接轴旋转,连接轴带动转盘旋转,转盘带动调整组件旋转。
6.进一步地,所述转盘上设有卡槽,所述卡槽设有若干组,若干组所述卡槽等间隔均匀设于转盘上。
7.进一步地,所述限位组件包括限位杆、弹簧三和滑槽,所述滑槽设于工作台侧壁上,所述弹簧三的一端设于滑槽内底壁上,所述限位杆可滑动设于滑槽内,所述限位杆下端连接弹簧三的另一端设置,所述限位杆上端贯穿滑槽设于卡槽内。
8.进一步地,所述固定组件包括卡件、旋转件和转杆,所述转杆设于工作台侧壁上,
所述旋转件的一端可旋转设于转杆上,所述卡件设于工作台侧壁上,所述旋转件的另一端可卡接设于卡件上,所述滑槽设于卡件和转杆之间;不需要使用限位杆时,旋转件设于卡件上,限位杆设于旋转件下端。
9.进一步地,所述伸缩杆的另一端上设有滚珠,伸缩杆通过滚珠贴合坩埚滑动。
10.本发明采取上述结构取得有益效果如下:本发明提供的一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置操作简单,机构紧凑,设计合理,需要对坩埚进行检测时,液压杆带动支撑杆上升,支撑杆带动铰接杆和伸缩杆上升,在扭簧和弹簧一的作用下,伸缩杆的另一端贴合坩埚滑动,检测灯贴合坩埚内侧壁进行检测,驱动组件带动调整组件旋转,便于对坩埚进行360度检测,同时限位组件可对驱动组件进行固定,以便仔细观察坩埚情况。
附图说明
11.图1为本发明一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置的主视图;
12.图2为本发明一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置的调整组件的主视图;
13.图3为图1a处局部放大图。
14.其中,1、坩埚,2、支撑板,3、工作台,4、限位组件,5、固定组件,6、驱动组件,7、调整组件,8、铰接杆,9、弹簧二,10、伸缩杆,11、检测灯,12、弹簧一,13、固定板,14、扭簧,15、支撑杆,16、液压杆,17、旋转电机,18、连接轴,19、转盘,20、卡槽,21、限位杆,22、弹簧三,23、滑槽,24、卡件,25、旋转件,26、转杆,27、滚珠。
具体实施方式
15.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
16.在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。以下结合附图,对本发明做进一步详细说明。
17.如图1

3所示,本发明一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置,包括坩埚1、支撑板2、工作台3、限位组件4、固定组件5、驱动组件6和调整组件7,所述支撑板2设于工作台3上,所述驱动组件6下端设于工作台3内,所述驱动组件6上端可旋转设于工作台3上,所述调整组件7设于工作台3上端,所述坩埚1设于支撑板2上,所述调整组件7设于坩埚1内,所述固定组件5设于工作台3侧壁上,所述限位组件4设于工作台3侧壁上;所述调整组件7包括铰接杆8、弹簧二9、伸缩杆10、检测灯11、弹簧一12、固定板13、扭簧14、支撑杆15和液压杆16,所述液压杆16固定端设于工作台3上壁上,所述支撑杆15设于液压杆16活动端上,所述铰接杆8的一端通过扭簧14可旋转铰接设于支撑杆15上,所述弹簧二9的一端设于铰接杆8内,所述伸缩杆10的一端可滑动卡接设于铰接杆8的另一端上,所述伸缩杆10的另一端设于弹簧二9的另一端上,所述检测灯11设于伸缩杆10的另一端上,所述固定板13设于支撑杆15上,所述弹簧
一12的一端设于固定板13上,所述弹簧一12的另一端设于铰接杆8上。
18.所述驱动组件6包括旋转电机17、连接轴18和转盘19,所述旋转电机17设于工作台3内底壁上,所述连接轴18的一端连接设于旋转电机17输出轴端上,所述转盘19可旋转设于工作台3上,所述转盘19与连接轴18的另一端相连,所述调整组件7设于转盘19上。
19.所述转盘19上设有卡槽20,所述卡槽20设有若干组,若干组所述卡槽20等间隔均匀设于转盘19上。
20.所述限位组件4包括限位杆21、弹簧三22和滑槽23,所述滑槽23设于工作台3侧壁上,所述弹簧三22的一端设于滑槽23内底壁上,所述限位杆21可滑动设于滑槽23内,所述限位杆21下端连接弹簧三22的另一端设置,所述限位杆21上端贯穿滑槽23设于卡槽20内。
21.所述固定组件5包括卡件24、旋转件25和转杆26,所述转杆26设于工作台3侧壁上,所述旋转件25的一端可旋转设于转杆26上,所述卡件24设于工作台3侧壁上,所述旋转件25的另一端可卡接设于卡件24上,所述滑槽23设于卡件24和转杆26之间。
22.所述伸缩杆10的另一端上设有滚珠27。
23.具体使用时,需要对坩埚1进行检测时,液压杆16带动支撑杆15上升,支撑杆15带动铰接杆8和伸缩杆10上升,在扭簧14和弹簧一12的作用下,伸缩杆10的另一端贴合坩埚1滑动,检测灯11贴合坩埚1内侧壁进行检测,需要带动调整组件7旋转时,旋转电机17工作带动连接轴18旋转,连接轴18带动转盘19旋转,转盘19带动调整组件7旋转,便于对坩埚1进行360度检测,同时限位组件4可对驱动组件6进行固定,以便仔细观察坩埚1情况。
24.以上对本发明及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本发明的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本发明创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本发明的保护范围。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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