磁式线性传感器的制作方法

技术特征：
1.一种磁式线性传感器，检测位移检测方向上的测定对象物的位移，其特征在于，具备：线性标尺；以及传感器头，设置成能够相对于上述线性标尺在上述位移检测方向上相对位移，上述传感器头在与上述位移检测方向垂直的方向即第1方向上，设置在上述线性标尺的一侧，上述线性标尺具备配置在与上述传感器头面对的一侧的第1磁响应部，上述第1磁响应部构成为，对上述传感器头的磁影响的变化在上述位移检测方向上每隔第1间距交替地反复出现，上述传感器头具备：基座基板部，由至少一个绝缘板构成；以及多个检测部，配置于上述绝缘板，以基于上述第1间距的第2间距在上述位移检测方向上排列，各个上述检测部具备：第1导电图案；第2导电图案，形成在与上述第1导电图案在上述绝缘板的厚度方向上不同的位置；以及通孔，将上述第1导电图案与上述第2导电图案电导通，上述第1导电图案以及上述第2导电图案形成为，在与上述位移检测方向以及上述第1方向的任一个都正交的第2方向上细长的区域排列配置线圈要素，上述第1导电图案具有将构成上述线圈要素的多个第1单位要素连接而成的一笔划形状，上述第2导电图案具有将构成上述线圈要素的多个第2单位要素连接而成的一笔划形状，上述第1单位要素与上述第2单位要素当从上述基座基板部的厚度方向观察时，构成闭合形状的上述线圈要素。2.根据权利要求1所述的磁式线性传感器，其特征在于，具备多个由上述第1导电图案、上述第2导电图案以及上述通孔构成的检测单元，多个上述检测部分别具备在上述基座基板部的厚度方向上层叠的多个上述检测单元。3.根据权利要求2所述的磁式线性传感器，其特征在于，多个上述检测单元包括：第1检测单元，构成产生交流磁场的1次线圈；以及第2检测单元，构成输出由交流磁场感应的交流信号的2次线圈，上述1次线圈与上述2次线圈在上述基座基板部的厚度方向上面对。4.根据权利要求1或2所述的磁式线性传感器，其特征在于，具备多个由上述第1导电图案、上述第2导电图案以及上述通孔构成的检测单元，多个上述检测单元包括：第1检测单元，构成产生交流磁场的1次线圈；以及第2检测单元，构成输出由交流磁场感应的交流信号的2次线圈，
在上述基座基板部的厚度方向上，在构成上述1次线圈的上述第1导电图案与上述第2导电图案之间，配置有构成上述2次线圈的上述第1导电图案和上述第2导电图案。5.根据权利要求1至4中任一项所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述第1导电图案将多个上述第1单位要素在上述第2方向上排列而成的第1要素列在上述位移检测方向上排列多个而构成，上述第2导电图案将多个上述第2单位要素在上述第2方向上排列而成的第2要素列在上述位移检测方向上排列多个而构成。6.根据权利要求1至5中任一项所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述多个检测部包括：第1检测部，输出交流信号；第2检测部，输出相位与上述第1检测部相差90
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的交流信号；第3检测部，输出相位与上述第1检测部相差180
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的交流信号；以及第4检测部，输出相位与上述第1检测部相差270
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的交流信号，上述第1检测部、上述第2检测部、上述第3检测部以及上述第4检测部在上述位移检测方向上依次排列设置。7.根据权利要求1至5中任一项所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述磁式线性传感器包括：第1检测部，输出交流信号；第2检测部，输出相位与上述第1检测部相差90
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的交流信号；第3检测部，输出相位与上述第1检测部相差180
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的交流信号；以及第4检测部，输出相位与上述第1检测部相差270
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的交流信号，上述第1检测部与上述第3检测部在上述位移检测方向上相互相邻地设置，上述第2检测部与上述第4检测部在上述位移检测方向上相互相邻地设置。8.根据权利要求5所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述磁式线性传感器包括：第1检测部，输出交流信号；第2检测部，输出相位与上述第1检测部相差90
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的交流信号；第3检测部，输出相位与上述第1检测部相差180
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的交流信号；以及第4检测部，输出相位与上述第1检测部相差270
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的交流信号，第1线圈要素列与第3线圈要素列在上述位移检测方向上交替地排列，上述第1线圈要素列由构成上述第1检测部所具备的上述第1导电图案以及上述第2导电图案的上述第1要素列以及上述第2要素列构成，上述第3线圈要素列由构成上述第3检测部所具备的上述第1导电图案以及上述第2导电图案的上述第1要素列以及上述第2要素列构成，第2线圈要素列与第4线圈要素列在上述位移检测方向上交替地排列，上述第2线圈要素列由构成上述第2检测部所具备的上述第1导电图案以及上述第2导电图案的上述第1要素列以及上述第2要素列构成，上述第4线圈要素列由构成上述第4检测部所具备的上述第1导电图案以及上述第2导电图案的上述第1要素列以及上述第2要素列构成。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述磁式线性传感器具备对从上述第1检测部、上述第2检测部、上述第3检测部以及上述第4检测部输出的信号进行处理的信号处理部，上述信号处理部基于相当于上述第1检测部与上述第3检测部的输出的差分的第1交流信号以及相当于上述第2检测部与上述第4检测部的输出的差分的第2交流信号，取得上述测定对象物的位移。10.根据权利要求1至9中任一项所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述线性标尺具备第2磁响应部，上述第2磁响应部构成为，对上述传感器头的磁影响的变化在上述位移检测方向上每隔与上述第1间距不同的磁变化间距交替地反复出现，上述传感器头具备多个磁检测部，多个上述磁检测部以基于上述磁变化间距的间距在上述位移检测方向上排列。11.根据权利要求1至10中任一项所述的磁式线性传感器，其特征在于，上述线性标尺在上述第1方向上以隔着上述传感器头的方式分别设置于该传感器头的两侧。

技术总结
磁式线性传感器(100)的标尺(1)所具备的磁响应部(12)构成为，对磁检测头(2)的磁影响的变化在位移检测方向上每隔第1间距(C1)交替地反复出现。磁检测头(2)在与位移检测方向垂直的方向即第1方向上，设置在标尺(1)的一侧。磁检测头(2)具备基座基板部(22)以及多个信号输出部(6)。信号输出部(6)配置于绝缘板，以基于第1间距(C1)的第2间距(C2)在位移检测方向上排列。各个信号输出部(6)所具备的第1导电图案(3)以及第2导电图案形成为，在与位移检测方向以及第1方向的任一个都正交的第2方向上细长的区域排列配置线圈要素。第1导电图案(3)以及第2导电图案具有一笔划形状。及第2导电图案具有一笔划形状。及第2导电图案具有一笔划形状。


技术研发人员：清水哲也 木户崚平
受保护的技术使用者：村田机械株式会社
技术研发日：2020.02.19
技术公布日：2021/11/4