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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
cmp
一种复合抑制剂在CMP中的应用
一种复合抑制剂在cmp中的应用技术领域本发明涉及微电子技术领域,更具体的说,是涉及一种复合抑制剂在cmp中的应用。
标签:
抑制剂
微电子
cmp
2023-02-19
CMP晶圆抛光机用上片装置的制作方法
cmp晶圆抛光机用上片装置技术领域本实用新型涉及晶圆抛光技术领域,尤其涉及一种cmp晶圆抛光机用上片装置。
标签:
抛光机
晶圆
装置
cmp
2023-01-05
一种SIC晶圆CMP抛光用二氧化硅抛光液及其制备方法与流程
一种sic晶圆cmp抛光用二氧化硅抛光液及其制备方法技术领域本发明涉及二氧化硅抛光液技术领域,具体而言,涉及一种sic 晶圆cmp抛光用二氧化硅抛光液及其制备方法。
标签:
抛光液
制备方法
晶圆
sic
cmp
2022-12-02
CMP研磨液及研磨方法与流程
cmp研磨液及研磨方法技术领域本发明涉及一种cmp研磨液、研磨方法等。
标签:
方法
cmp
2022-07-10
一种CMP研磨垫及CMP研磨装置的制作方法
一种cmp研磨垫及cmp研磨装置技术领域本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种cmp研磨垫及cmp研磨装置。
标签:
装置
半导体
cmp
2022-05-17
具有分段的基板卡盘的承载头的制作方法
本发明涉及在化学机械抛光(cmp)中使用的承载头。
标签:
化学
机械
cmp
2022-05-12
一种酶法制备N4-OH-CMP的方法与流程
一种酶法制备n4-oh-cmp的方法技术领域本发明属于酶催化技术领域,更具体的涉及酶催化磷酸化反应的方法。
标签:
磷酸化
方法
法制
反应
cmp
2022-04-30
具有薄膜位置控制的抛光头的制作方法
本发明涉及在化学机械抛光(cmp)中使用的承载头。
标签:
化学
机械
cmp
2022-04-27
一种CMP电涡流终点检测装置的制作方法
一种cmp电涡流终点检测装置技术领域本发明涉及集成电路制造技术领域,具体涉及一种cmp电涡流终点检测装置。
标签:
涡流
终点
装置
集成电路
cmp
2022-03-09
用于温度控制的化学机械抛光温度扫描设备的制作方法
本公开关于化学机械抛光(cmp),且更具体而言,关于在化学机械抛光期间的温度控制。
标签:
化学
机械
温度控制
cmp
2022-02-22
一种晶圆固定环及具有其的CMP设备的制作方法
一种晶圆固定环及具有其的cmp设备技术领域本发明涉及半导体cmp加工技术领域,具体涉及一种晶圆固定环及具有其的cmp设备。
标签:
晶圆
设备
半导体
加工
cmp
2022-02-19
一种智能抛光液桶的制作方法
本实用新型属于cmp抛光技术领域,具体涉及一种智能抛光液桶。
标签:
智能
抛光液
cmp
2021-12-08
圆盘的区段设计的制作方法
本发明大体上涉及用于制造半导体的设备。更具体来说,本发明涉及一种用于化学机械平坦化(cmp)的垫修整器。
标签:
平坦
化学
机械
半导体设备
cmp
2021-11-18
HVCMOSCMP方法与流程
hv cmos cmp方法技术领域本发明涉及集成电路领域,特别是涉及一种hv cmos cmp方法。
标签:
方法
集成电路
hv
cmos
cmp
2021-11-15
氧化硅膜研磨用浆料组合物及使用其的研磨方法与流程
本发明涉及一种cmp用浆料组合物及使用其的研磨方法。
标签:
组合
浆料
研磨
方法
cmp
2021-10-27
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