一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置的制作方法

本技术涉及纳米薄膜修补，尤其涉及一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置。

背景技术：

1、纳米薄膜材料在半导体芯片、柔性电子、光学元件及新能源器件等高端制造领域的应用日益广泛。然而，在纳米薄膜的制备、运输和使用过程中，不可避免地会产生如针孔、划痕、污染等微观缺陷，这些缺陷会严重影响器件的性能与可靠性。因此，需要对有缺陷的纳米薄膜进行精准修复，以挽回损失、提高良率。

2、但现有技术中，其基材固定与运动平台通常是为特定尺寸所设计的，无法适用于不同尺寸的基材，为此提出的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，包括操作台，所述操作台的一侧固定连接有两个l型安装柱，两个所述l型安装柱的顶端共同固定连接有控制器，所述操作台的上表面开设有两个第一移动槽，所述操作台的底部固定连接有两个固定板，所述操作台上设有固定结构，所述操作台的一侧开设有第二移动槽，所述第二移动槽内设有移动结构；

3、所述固定结构包括转动连接在两个固定板相对的一侧的双向螺纹杆，其中一个所述固定板的一侧固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴与双向螺纹杆的一端固定连接，所述第一伺服电机与控制器电性连接，控制器控制第一伺服电机启动，第一伺服电机带动双向螺纹杆转动。

4、作为上述技术方案的进一步描述：

5、每个所述第一移动槽内均固定连接有滑动杆，两个所述滑动杆上共同滑动连接有两个第一移动框，两个所述第一移动框分别与双向螺纹杆对应的螺纹段螺纹连接，每个所述第一移动框的上表面均固定连接有夹板，两个所述夹板的内部均安装有多个第一压力传感器，每个所述压力传感器均与控制器电性连接，向螺纹杆的相反螺纹段带动两个第一移动框在两个滑动杆上滑动，并相靠近，第一移动框带动对应的夹板移动，使夹板夹持在基材的两侧，当压力达到阈值时，第一压力传感器将信号传递到控制器内，通过控制器控制第一伺服电机停止。

6、作为上述技术方案的进一步描述：

7、每个所述夹板的一侧均开设有两个第三移动槽，每个所述第三移动槽内均固定连接有滑动柱，位于同一侧的两个所述滑动柱上共同滑动连接有第二移动框，每个所述第二移动框的一侧均固定连接有压条，每个所述压条的内部均安装有多个第二压力传感器，每个所述第二压力传感器均与控制器电性连接，第二移动框带动压条压在基材的上表面，对基材进行下压固定，当压力达到阈值时，第二压力传感器将信号传递到控制器内，通过控制器控制两个第二伺服电机停止。

8、作为上述技术方案的进一步描述：

9、每个所述夹板的一侧均固定连接有第一连接板和第二连接板，每个所述第一连接板的底部均贯穿转动连接有第一螺纹杆，每个所述第一螺纹杆的一端均与对应的第二连接板的上表面转动连接，每个所述第一螺纹杆均贯穿并螺纹连接在对应的第二移动框的一侧，每个所述第一连接板的上表面均固定连接有第二伺服电机，每个所述第二伺服电机的输出轴均与对应的第一螺纹杆的一端固定连接，控制器控制两个第二伺服电机启动，第二伺服电机带动第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动第二移动框在对应的滑动柱上向下移动。

10、作为上述技术方案的进一步描述：

11、所述移动结构包括转动连接在第二移动槽内的第二螺纹杆，所述操作台的一侧固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴与第二螺纹杆的一端固定连接，所述第三伺服电机与控制器电性连接，所述第二螺纹杆上螺纹连接有移动块，所述移动块滑动连接在第二移动槽内，所述移动块的一侧固定连接有l型支撑柱，所述l型支撑柱的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆与控制器电性连接，所述电动推杆的活塞端固定连接有移动柱，所述移动柱的一侧固定连接有两个安装块，两个所述安装块的一侧共同固定连接有激光扫描器，所述激光扫描器与控制器电性连接，第二螺纹杆带动移动块移动，移动块带动l型支撑柱移动，使l型支撑柱下方的激光修复器横向移动，同时带动激光扫描器对基材进行扫描，将基材需要修复的位置信息传递到控制器内。

12、作为上述技术方案的进一步描述：

13、所述移动柱的底部开设有滑动槽，所述滑动槽内转动连接有第三螺纹杆，所述移动柱的一端固定连接有第四伺服电机，所述第四伺服电机的输出轴与第三螺纹杆的一端固定连接，所述第四伺服电机与控制器电性连接，控制器控制第四伺服电机启动，第四伺服电机带动第三螺纹杆转动。

14、作为上述技术方案的进一步描述：

15、所述第三螺纹杆上螺纹连接有滑动块，所述滑动块滑动连接在滑动槽内，所述滑动块的底部固定连接有激光修复器，所述激光修复器与控制器电性连接，第三螺纹杆带动滑动块移动，滑动块带动激光修复器纵向移动，通过激光扫描器传递的精准位置信息，激光修复器被移动至待修复位置并执行修复操作。

16、本实用新型具有如下有益效果：

17、1、与现有技术相比，该可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，通过设置滑动杆、第一移动框、双向螺纹杆、第一伺服电机、夹板、第三移动槽、滑动柱、第二移动框、压条、第一连接板、第二连接板、第一螺纹杆、第二伺服电机等，将基材放置在操作台上，控制器控制第一伺服电机启动，第一伺服电机带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆的相反螺纹段带动两个第一移动框在两个滑动杆上滑动，并相靠近，第一移动框带动对应的夹板移动，使夹板夹持在基材的两侧，当压力达到阈值时，第一压力传感器将信号传递到控制器内，通过控制器控制第一伺服电机停止，然后控制器控制两个第二伺服电机启动，第二伺服电机带动第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动第二移动框在对应的滑动柱上向下移动，使第二移动框带动压条压在基材的上表面，对基材进行下压固定，当压力达到阈值时，第二压力传感器将信号传递到控制器内，通过控制器控制两个第二伺服电机停止，该结构适用不同尺寸的基材，提高使用的灵活性。

18、2、与现有技术相比，该可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，通过设置第三伺服电机、第二螺纹杆、移动块、l型支撑柱、电动推杆、移动柱、安装块、激光扫描器、第三螺纹杆、第四伺服电机、滑动块、激光修复器等，电动推杆的活塞端带动移动柱向下移动，移动柱通过安装块带动激光扫描器移动到适当位置，然后控制器控制第三伺服电机启动，第三伺服电机带动第二螺纹杆转动，第二螺纹杆带动移动块移动，移动块带动l型支撑柱移动，使l型支撑柱下方的激光修复器横向移动，同时带动激光扫描器对基材进行扫描，将基材需要修复的位置信息传递到控制器内，通过控制器控制第四伺服电机启动，第四伺服电机带动第三螺纹杆转动，第三螺纹杆带动滑动块移动，滑动块带动激光修复器纵向移动，通过激光扫描器传递的精准位置信息，激光修复器被移动至待修复位置并执行修复操作，有效提高了修复的效率和精准度。

1.一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)的一侧固定连接有两个l型安装柱(2)，两个所述l型安装柱(2)的顶端共同固定连接有控制器(3)，所述操作台(1)的上表面开设有两个第一移动槽(4)，所述操作台(1)的底部固定连接有两个固定板(5)，所述操作台(1)上设有固定结构(6)，所述操作台(1)的一侧开设有第二移动槽，所述第二移动槽内设有移动结构(7)；

2.根据权利要求1所述的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，其特征在于：每个所述第一移动槽(4)内均固定连接有滑动杆(601)，两个所述滑动杆(601)上共同滑动连接有两个第一移动框(602)，两个所述第一移动框(602)分别与双向螺纹杆(603)对应的螺纹段螺纹连接，每个所述第一移动框(602)的上表面均固定连接有夹板(605)，两个所述夹板(605)的内部均安装有多个第一压力传感器，每个所述压力传感器均与控制器(3)电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，其特征在于：每个所述夹板(605)的一侧均开设有两个第三移动槽(606)，每个所述第三移动槽(606)内均固定连接有滑动柱(607)，位于同一侧的两个所述滑动柱(607)上共同滑动连接有第二移动框(608)，每个所述第二移动框(608)的一侧均固定连接有压条(609)，每个所述压条(609)的内部均安装有多个第二压力传感器，每个所述第二压力传感器均与控制器(3)电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，其特征在于：每个所述夹板(605)的一侧均固定连接有第一连接板(610)和第二连接板(611)，每个所述第一连接板(610)的底部均贯穿转动连接有第一螺纹杆(612)，每个所述第一螺纹杆(612)的一端均与对应的第二连接板(611)的上表面转动连接，每个所述第一螺纹杆(612)均贯穿并螺纹连接在对应的第二移动框(608)的一侧，每个所述第一连接板(610)的上表面均固定连接有第二伺服电机(613)，每个所述第二伺服电机(613)的输出轴均与对应的第一螺纹杆(612)的一端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，其特征在于：所述移动结构(7)包括转动连接在第二移动槽内的第二螺纹杆(702)，所述操作台(1)的一侧固定连接有第三伺服电机(701)，所述第三伺服电机(701)的输出轴与第二螺纹杆(702)的一端固定连接，所述第三伺服电机(701)与控制器(3)电性连接，所述第二螺纹杆(702)上螺纹连接有移动块(703)，所述移动块(703)滑动连接在第二移动槽内，所述移动块(703)的一侧固定连接有l型支撑柱(704)，所述l型支撑柱(704)的一端固定连接有电动推杆(705)，所述电动推杆(705)与控制器(3)电性连接，所述电动推杆(705)的活塞端固定连接有移动柱(706)，所述移动柱(706)的一侧固定连接有两个安装块(707)，两个所述安装块(707)的一侧共同固定连接有激光扫描器(708)，所述激光扫描器(708)与控制器(3)电性连接。

6.根据权利要求5所述的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，其特征在于：所述移动柱(706)的底部开设有滑动槽，所述滑动槽内转动连接有第三螺纹杆(709)，所述移动柱(706)的一端固定连接有第四伺服电机(710)，所述第四伺服电机(710)的输出轴与第三螺纹杆(709)的一端固定连接，所述第四伺服电机(710)与控制器(3)电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种可适配多尺寸基材的纳米薄膜修补装置，其特征在于：所述第三螺纹杆(709)上螺纹连接有滑动块(711)，所述滑动块(711)滑动连接在滑动槽内，所述滑动块(711)的底部固定连接有激光修复器(712)，所述激光修复器(712)与控制器(3)电性连接。