一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置的制作方法

本技术属于化工纯化，具体涉及一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置。

背景技术：

1、全氟聚醚是一种具有特殊性质的化学材料，常用于半导体行业中的热管理应用，尤其是 作为导热介质或冷却液。由于其独特的化学稳定性、低挥发性和良好的热稳定性，全氟聚醚 在高温和极端环境下表现出卓越的性能，适用于要求严格的半导体设备。

2、然而，在生产、运输和使用过程中，全氟聚醚极易引入金属离子、固体颗粒物、溶解气 体及微量水分等杂质。这些杂质会显著降低其绝缘性能，在电场作用下引起电迁移，导致半 导体元件的金属线路腐蚀、短路，并会在发热表面形成隔热层，严重影响散热效率，最终导致芯片性能下降甚至失效，因此需要对全氟聚醚进行纯化处理。

3、现有的纯化装置对全氟聚醚纯化处理时，由于工艺复杂或者需要多次处理，纯化流程长， 效率低，且各单元分散，易在转移过程中引入二次污染，同时长时间的处理不仅降低了生产 效率，还会对全氟聚醚的物理性质产生不利影响，尤其是在批量生产的情况下，会影响整体 的生产周期和成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，实现纯化步骤集成于一 体且能连续运行纯化，减少中间转移、降低能量损耗、避免二次污染，且高效纯化生产。

2、本实用新型采取的技术方案具体如下：

3、一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，包括原料罐，所述原料罐的一侧设置有至少两级 过滤器，所述过滤器与原料罐之间通过管道连通，所述过滤器的一侧设置有脱气罐，所述脱 气罐的一侧设置有收集罐且与相邻过滤器连通，所述脱气罐一侧的底部安装有输送泵，所述 输送泵的输液端通过管道连通于收集罐的顶部，所述输送泵的抽液端通过管道连通于脱气罐 的底部，所述脱气罐的前侧安装有抽真空泵，所述抽真空泵通过管道连通于脱气罐的顶部， 所述脱气罐的内部安装有布液器和填料。

4、优选的，所述脱气罐的表面套设有夹套，所述夹套的内壁连接有加热管，所述加热管呈 螺旋状缠绕在脱气罐的表面。

5、优选的，两级所述过滤器分为粗过滤器和精过滤器，所述粗过滤器的过滤精度为1-5 μm， 所述精过滤器的过滤精度为 0.1-0.5 μm。

6、优选的，所述收集罐的顶部连接有金属离子检测仪，所述金属离子检测仪的底端贯穿至 收集罐的内部。

7、优选的，所述填料呈蜂窝状，所述填料位于布液器的底部。

8、优选的，所述原料罐的顶部连通有加液管，所述加液管的顶部合页安装有盖板。

9、优选的，所述收集罐的前侧设置有观察窗，所述观察窗为防爆玻璃材质。

10、本实用新型取得的技术效果为：

11、本实用新型中在对全氟聚醚原料进行纯化时，可以输送泵将原料罐内的原料输送到过滤 器的内部，并由串联的粗过滤器与精过滤器进行二级过滤处理，多级过滤处理使得过滤过程 更加分步和可控，防止过滤器过早堵塞，延长每个过滤器的使用寿命，对原料过滤后会再通 过管道抽送到脱气罐的内部，原料液体通过布液器在脱气罐内均匀分布，再向下流经填料， 形成巨大比表面积的液膜，同时加热管对脱气罐进行加热，抽真空泵将脱气罐内溶解液体中 的气体和微量水分迅速逸出并被真空泵抽出，进而达到与原料进行快速纯化的效果，纯化完 成后的全氟聚醚液体会被输送泵输送到收集罐内，整个纯化过程更加高效。

1.一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：包括原料罐（1），所述原料罐（1）的一侧设置有至少两级过滤器（2），所述过滤器（2）与原料罐（1）之间通过管道连通，所 述过滤器（2）的一侧设置有脱气罐（3），所述脱气罐（3）的一侧设置有收集罐（4）且与相 邻过滤器（2）连通，所述脱气罐（3）一侧的底部安装有输送泵（5），所述输送泵（5）的输 液端通过管道连通于收集罐（4）的顶部，所述输送泵（5）的抽液端通过管道连通于脱气罐 （3）的底部，所述脱气罐（3）的前侧安装有抽真空泵（6），所述抽真空泵（6）通过管道连 通于脱气罐（3）的顶部，所述脱气罐（3）的内部安装有布液器（301）和填料（302）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：所述脱气罐（3）的表面套设有夹套（701），所述夹套（701）的内壁连接有加热管（702），所述加热 管（702）呈螺旋状缠绕在脱气罐（3）的表面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：两级所述过滤器（2）分为粗过滤器和精过滤器，所述粗过滤器的过滤精度为 1-5 μm，所述精过滤器的过滤精度为 0.1-0.5 μm。

4.根据权利要求1所述的一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：所述收集罐（4）的顶部连接有金属离子检测仪（8），所述金属离子检测仪（8）的底端贯穿至收集罐

5.根据权利要求1所述的一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：所述填料

6.根据权利要求1所述的一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：所述原料罐（1）的顶部连通有加液管（9），所述加液管（9）的顶部合页安装有盖板。

7.根据权利要求1所述的一种半导体导热用全氟聚醚纯化装置，其特征在于：所述收集罐（4）的前侧设置有观察窗（10），所述观察窗（10）为防爆玻璃材质。