拾取装置及测试分选机的制作方法

本申请涉及半导体测试，特别是涉及一种拾取装置及测试分选机。

背景技术：

1、测试分选机用于将盛放于用户托盘的半导体器件装载到测试托盘，并将半导体器件随测试托盘移送至测试装置，等测试结束之后将半导体器件从测试托盘卸载到用户托盘。

2、测试分选机的拾取装置通过真空吸嘴吸起半导体器件，以从测试托盘取放半导体器件。目前的拾取装置通过多个真空吸嘴同时吸取多个半导体器件，一个真空吸嘴对应设置一个伸缩机构以驱动真空吸嘴靠近或者远离测试托盘，采用多个伸缩机构的设置方式增加了拾取装置的制造成本。

技术实现思路

1、鉴于背景技术中存在的问题，本申请的目的在于提供了一种拾取装置及测试分选机，克服了上述问题或者至少部分地解决了上述问题。

2、根据本申请的第一方面，提供一种拾取装置，包括第一安装座、第二安装座、活塞杆、多个连接管和多个真空吸嘴。第一安装座设有活塞腔、第一通道、第一接口、第二通道、第二接口、多个第三接口和多个第三通道，活塞腔沿第一方向延伸设置，活塞腔包括沿第一方向相对设置的第一端部和第二端部，第一通道的两端分别连通第一端部和第一接口，第二通道的两端分别连通第二端部和第二接口，一第三接口与一第三通道的一端连通。第二安装座设有多个第四通道。活塞杆包括相连接的活塞部和杆部，活塞部滑动设于活塞腔，杆部远离活塞部的一端穿设于第一安装座并固定于第二安装座。一连接管的两端分别与一第三通道的另一端和一第四通道的一端连通，连接管的一端沿第一方向滑动设于一第三通道的另一端，连接管的另一端固定于第二安装座。多个真空吸嘴设于第二安装座，一真空吸嘴与一第四通道的另一端连通。

3、在以上一个或多个可选的实施方式中，活塞杆包括第一密封圈、第一轴套和第二密封圈，活塞部的外壁设有沿第一方向依次排列的第一环形槽、第二环形槽和第三环形槽，第一密封圈设于第一环形槽，第一轴套设于第二环形槽，第二密封圈设于第三环形槽。

4、在以上一个或多个可选的实施方式中，包括导杆，导杆的一端沿第一方向滑动设于第一安装座，导杆的另一端固定于第二安装座。

5、在以上一个或多个可选的实施方式中，第二端部设有第一开口，第一开口设有第一密封套，杆部穿设于第一密封套，第一密封套的外壁设有第四环形槽，第四环形槽设有第三密封圈，第三密封圈用于将第一密封套的外壁和第一开口的内壁之间的缝隙密封，第一密封套的内壁设有第五环形槽，第五环形槽设有第四密封圈，第四密封圈用于将第一密封套的内壁和杆部的外壁之间的缝隙密封。

6、在以上一个或多个可选的实施方式中，第三通道的另一端设有第二开口，第二开口设有第二密封套，连接管穿设于第二密封套，第二密封套的外壁设有第六环形槽，第六环形槽设有第五密封圈，第五密封圈用于将第二密封套的外壁和第二开口的内壁之间的缝隙密封，第二密封套的内壁设有第七环形槽，第七环形槽设有第六密封圈，第六密封圈用于将第二密封套的内壁和连接管的外壁之间的缝隙密封。

7、在以上一个或多个可选的实施方式中，第一安装座和第二安装座沿第一方向相对设置，第一端部和第二端部沿第一安装座往第二安装座的方向依次排列设置。活塞部背向杆部的一端设有第一止挡，第一止挡用于沿第二端部往第一端部的方向抵接于第一端部的内壁，和/或第二安装座朝向第一安装座的表面设有第二止挡，第二止挡用于沿第二端部往第一端部的方向抵接于第一安装座朝向第二安装座的表面。

8、在以上一个或多个可选的实施方式中，第二安装座包括第一座体、第二座体和第七密封圈，第一座体沿第一方向可拆卸对接固定于第二座体，杆部远离活塞部的一端和连接管的另一端固定于第一座体，多个真空吸嘴均设于第二座体。第四通道包括第一部分、第二部分和连接部分，第一部分设于第一座体，第一部分与连接管的另一端连通，第二部分设于第二座体，真空吸嘴设于第二座体并与第二部分连通，第一座体和第二座体相对的表面共同围合形成连接部分，连接部分将第一部分和第二部分连通，第七密封圈设于第一座体和第二座体相对的表面之间且环绕设于连接部分的周围，第七密封圈用于将连接部分密封。

9、在以上一个或多个可选的实施方式中，第七密封圈的数量为多个，第一座体朝向第二座体的表面设有多个第一凹槽，一第一凹槽与第二座体共同围合形成一连接部分，一第七密封圈环绕设于一第一凹槽周围；和/或第七密封圈的数量为多个，第二座体朝向第一座体的表面设有多个第二凹槽，一第二凹槽与第一座体共同围合形成一连接部分，一第七密封圈环绕设于一第二凹槽周围。

10、在以上一个或多个可选的实施方式中，第一座体朝向第二座体的表面设有第一定位槽，第二座体朝向第一座体的表面设有第二定位槽，第二安装座包括定位套筒，沿第一方向，第一定位槽和第二定位槽相对齐，定位套筒相对的两端分别设于第一定位槽和第二定位槽。第一定位槽的槽底设有螺纹孔，第二定位槽的槽底设有螺栓孔，螺栓孔沿第一座体往第二座体的方向贯穿第二座体，第二安装座还包括安装螺栓，沿第二座体往第一座体的方向，安装螺栓穿过螺栓孔和定位套筒后螺接固定于螺纹孔。

11、根据本申请的第二方面，提供一种测试分选机，包括上述的拾取装置。

12、本申请实施例的有益效果是：本申请实施例提供的拾取装置，在应用于测试分选机时，通过气体驱动活塞杆相对第一安装座滑动，从而带动第二安装座相对第一安装座在与第一方向平行的方向往复移动，进而能够同时带动设于第二安装座上的多个真空吸嘴一同移动。相较于现有技术中同时采用多个驱动机构分别一一对应驱动多个真空吸嘴的方式，整体结构更加简单，有利于减少拾取装置的制造成本。

1.一种拾取装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的拾取装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的拾取装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的拾取装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的拾取装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的拾取装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的拾取装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的拾取装置，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的拾取装置，其特征在于，

10.一种测试分选机，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的拾取装置。