一种坩埚自动夹取装置的制作方法

本技术属于物料上下料设备的，尤其涉及一种坩埚自动夹取装置。

背景技术：

1、碳化硅（sic）作为一种重要的宽禁带半导体材料，具有高击穿电场、高电子迁移率、高热导率等优异特性，在高频、高压、高功率、高速以及抗辐射等领域展现出巨大的应用潜力。

2、常见的上下料由工人人工搬运碳化硅长晶坩埚进入设备，或手动上下料，或靠设备端的安装特制的工装，再利用设备端的上下及旋转模组实现坩埚的半自动上下料，必要时还需要依赖人工参与对齐等工作，存在生产效率低下、难以满足大规模生产需求的特性。

3、因此，亟需设计一种坩埚自动夹取装置，解决以上提到的问题。

技术实现思路

1、为解决背景技术中提及的手动上下料和人工参与对齐存在生产效率低下、难以满足大规模生产需求的技术问题，提供一种坩埚自动夹取装置，以解决坩埚自动上下料的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型的坩埚自动夹取装置的具体技术方案如下：

3、一种坩埚自动夹取装置，由agv小车带动工业臂在工作台和石墨轴之间移动，视觉相机对工作台上的坩埚进行第一次识别，工业臂通过夹爪组件夹取坩埚，视觉相机对石墨轴进而第二次识别，通过夹爪组件将坩埚放置在石墨轴上，夹爪组件包括第一夹臂、第二夹臂和电动夹爪，电动夹爪上间隔连接有第一夹臂和第二夹臂，电动夹爪驱动第一夹臂和第二夹臂转动，以使第一夹臂和第二夹臂相对靠近或远离；第一夹臂和第二夹臂上分别通过导向柱连接有第一夹爪手和第二夹爪手，第一夹爪手和第二夹爪手分别通过滚珠与第一夹臂和第二夹臂抵接，以使第一夹爪手和第二夹爪手夹取坩埚时沿导向柱移动。

4、进一步，沿第一夹臂和第二夹臂的长度方向对称开设有限位槽，第一夹爪手和第二夹爪手分别通过导向柱设置在第一夹臂和第二夹臂的限位槽上。

5、进一步，第一夹臂和第二夹臂远离电动夹爪一侧分别开设有限位孔，第一夹爪手和第二夹爪手上分别设有导向孔，导向柱依次穿过限位孔和导向孔，以使第一夹爪手和第二夹爪手设置在第一夹臂和第二夹臂远离电动夹爪一侧夹取坩埚。

6、进一步，导向柱端部螺接有螺母，以使导向柱固定设置在第一夹臂和第二夹臂上。

7、进一步，沿第一夹臂和第二夹臂的长度方向分别对称设置有多个导向柱。

8、进一步，第一夹爪手和第二夹爪手上均间隔设有多个滚珠，滚珠分别抵接在第一夹臂和第二夹臂的限位槽上，以使第一夹爪手和第二夹爪手夹取坩埚时沿导向柱的长度方向移动。

9、进一步，第一夹爪手和第二夹爪手导向孔的直径大于导向柱的直径，以使第一夹爪手和第二夹爪手夹取坩埚时沿导向柱的径向移动。

10、进一步，电动夹爪远离第一夹臂和第二夹臂一侧连接在工业臂上。

11、进一步，电动夹爪上连接有视觉相机，视觉相机根据坩埚位置，控制电动夹爪驱动第一夹臂和第二夹臂夹取坩埚。

12、进一步，第一夹臂和第二夹臂整体呈圆弧形。

13、本实用新型的坩埚自动夹取装置具有以下优点：

14、（1）、本申请通过自适应调整的夹爪组件，使坩埚在安放时与石墨轴若有些许的不同心，或上下提拉模组与旋转模组有不同步带动坩埚上下移动时，可通过夹爪组件进行自动调整，避免了安装时石墨轴上的应力集中或工业臂的负载上升，从而损坏石墨件或工业臂。

15、（2）、本申请通过将可自调整的夹爪组件设置在agv小车上，使整体自动化方案落地可行，使坩埚上下料流程从坩埚搬运到设备上的安装拆卸均实现自动，不再依赖人工参与，实现大规模量产的可能。

16、（3）、本申请通过agv小车、工业臂等设备实现坩埚的快速、准确搬运和放置，大大提高了操作速度和精度；同时，可以在相对封闭和洁净的环境中运行，减少了外界污染物的引入，有利于保证长晶环境的稳定性，提高产品质量。

1.一种坩埚自动夹取装置，由agv小车带动工业臂在工作台和石墨轴之间移动，视觉相机对工作台上的坩埚进行第一次识别，工业臂通过夹爪组件夹取坩埚，视觉相机对石墨轴进而第二次识别，通过夹爪组件将坩埚放置在石墨轴上，其特征在于，夹爪组件包括第一夹臂、第二夹臂和电动夹爪，电动夹爪上间隔连接有第一夹臂和第二夹臂，电动夹爪驱动第一夹臂和第二夹臂转动，以使第一夹臂和第二夹臂相对靠近或远离；第一夹臂和第二夹臂上分别通过导向柱连接有第一夹爪手和第二夹爪手，第一夹爪手和第二夹爪手分别通过滚珠与第一夹臂和第二夹臂抵接，以使第一夹爪手和第二夹爪手夹取坩埚时沿导向柱移动。

2.根据权利要求1所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，沿第一夹臂和第二夹臂的长度方向对称开设有限位槽，第一夹爪手和第二夹爪手分别通过导向柱设置在第一夹臂和第二夹臂的限位槽上。

3.根据权利要求1所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，第一夹臂和第二夹臂远离电动夹爪一侧分别开设有限位孔，第一夹爪手和第二夹爪手上分别设有导向孔，导向柱依次穿过限位孔和导向孔，以使第一夹爪手和第二夹爪手设置在第一夹臂和第二夹臂远离电动夹爪一侧夹取坩埚。

4.根据权利要求3所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，导向柱端部螺接有螺母，以使导向柱固定设置在第一夹臂和第二夹臂上。

5.根据权利要求1所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，沿第一夹臂和第二夹臂的长度方向分别对称设置有多个导向柱。

6.根据权利要求2所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，第一夹爪手和第二夹爪手上均间隔设有多个滚珠，滚珠分别抵接在第一夹臂和第二夹臂的限位槽上，以使第一夹爪手和第二夹爪手夹取坩埚时沿导向柱的长度方向移动。

7.根据权利要求3所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，第一夹爪手和第二夹爪手导向孔的直径大于导向柱的直径，以使第一夹爪手和第二夹爪手夹取坩埚时沿导向柱的径向移动。

8.根据权利要求1所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，电动夹爪远离第一夹臂和第二夹臂一侧连接在工业臂上。

9.根据权利要求8所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，电动夹爪上连接有视觉相机，视觉相机根据坩埚位置，控制电动夹爪驱动第一夹臂和第二夹臂夹取坩埚。

10.根据权利要求9所述的坩埚自动夹取装置，其特征在于，第一夹臂和第二夹臂整体呈圆弧形。