一种大载重悬臂桨自动调平机构的制作方法

本技术涉及大载重悬臂桨调平，尤其是一种大载重悬臂桨自动调平机构。

背景技术：

1、在半导体行业内通常会应用到氧化扩散炉、退火炉等设备对集成电路、分立器件、mems等不同尺寸晶圆的扩散、薄膜氧化、退火、合金等工艺的生产加工。为了配合这些设备的使用，悬臂桨是承载和传输石英舟（晶圆载体）的核心载体，其结构特点是像一只手臂一样，一端固定在送料机构上，另一端（承载石英舟的部分）悬空伸入长长的炉管内。

2、为了防止悬臂桨在生产过程中出现倾斜，申请号为202522374211.8的中国实用新型专利公开了一种悬臂桨自动调平结构，包括悬臂桨，悬臂桨的端部配合安装有夹持固定组件，夹持固定组件上铰接安装有底板，夹持固定组件的上配合安装有电缸，电缸上配合安装有压力传感器，电缸的输出端与底板相连接。

3、上述技术方案通过电缸的直接推力来调整固定座与底板之间的角度的方式，对悬臂桨进行调平。由于电缸的推力有限，在针对大载重的悬臂桨进行调平时，存在推力不足，调整精度不高的问题，导致现有技术方案对电缸体积和推力需求较大，难以适应对高精度、大负载调节的需求。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中所存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种大载重悬臂桨自动调平机构。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种大载重悬臂桨自动调平机构，包括悬臂桨，所述悬臂桨的端部配合安装有夹持固定组件，所述夹持固定组件的底部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部铰接安装有固定架，所述支撑架靠近悬臂桨的一端铰接安装有连杆，所述连杆的上端固定安装有凸轮部，所述凸轮部与固定架的顶面抵接，所述固定架的底部配合安装有电缸，所述电缸的输出端与连杆相连接。

3、进一步，所述支撑架的底部远离悬臂桨的一端固定安装有第一连接架，所述第一连接架上转动安装有第二连接架，所述第二连接架固定安装在固定架上，所述支撑架的底部靠近悬臂桨的一端固定安装有第三连接架，所述连杆转动安装在第三连接架上。

4、进一步，所述固定架的底部固定安装有支撑座，所述支撑座上滑动安装有推杆，所述推杆与电缸的输出端相连接，所述推杆远离电缸的一端设有连接头，所述连接头上固定安装有连接轴，所述固定架上开设有位置与连杆位置相对应的让位槽，所述连杆的下端穿过让位槽延伸至固定架的下方，所述连杆的下端开设有腰型孔，所述连接轴滑动安装在腰型孔内。

5、进一步，所述电缸的尾端配合安装有压力传感器，所述电缸采用伺服电动缸。

6、进一步，所述夹持固定组件包括固定座，所述固定座的顶部固定安装有夹持座，所述固定座与夹持座之间夹持固定安装有防护套，所述防护套配合安装在悬臂桨的端部。

7、进一步，所述固定架的侧部固定安装有连接板。

8、本实用新型的有益效果是，本实用新型设计方案通过将电缸的推力转化为凸轮部的旋转角度，利用凸轮的物理特性实现对悬臂桨的调平，使得电缸的推力得到有效的放大，即使是小推力、小体积的电缸也能驱动大载重悬臂桨进行精确调整。

1.一种大载重悬臂桨自动调平机构，包括悬臂桨（1），其特征在于：所述悬臂桨（1）的端部配合安装有夹持固定组件，所述夹持固定组件的底部固定安装有支撑架（2），所述支撑架（2）的底部铰接安装有固定架（3），所述支撑架（2）靠近悬臂桨（1）的一端铰接安装有连杆（4），所述连杆（4）的上端固定安装有凸轮部（41），所述凸轮部（41）与固定架（3）的顶面抵接，所述固定架（3）的底部配合安装有电缸（5），所述电缸（5）的输出端与连杆（4）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种大载重悬臂桨自动调平机构，其特征在于，所述支撑架（2）的底部远离悬臂桨（1）的一端固定安装有第一连接架（6），所述第一连接架（6）上转动安装有第二连接架（7），所述第二连接架（7）固定安装在固定架（3）上，所述支撑架（2）的底部靠近悬臂桨（1）的一端固定安装有第三连接架（8），所述连杆（4）转动安装在第三连接架（8）上。

3.根据权利要求2所述的一种大载重悬臂桨自动调平机构，其特征在于，所述固定架（3）的底部固定安装有支撑座（9），所述支撑座（9）上滑动安装有推杆（10），所述推杆（10）与电缸（5）的输出端相连接，所述推杆（10）远离电缸（5）的一端设有连接头（101），所述连接头（101）上固定安装有连接轴（102），所述固定架（3）上开设有位置与连杆（4）位置相对应的让位槽（31），所述连杆（4）的下端穿过让位槽（31）延伸至固定架（3）的下方，所述连杆（4）的下端开设有腰型孔（42），所述连接轴（102）滑动安装在腰型孔（42）内。

4.根据权利要求1所述的一种大载重悬臂桨自动调平机构，其特征在于，所述电缸（5）的尾端配合安装有压力传感器（51），所述电缸（5）采用伺服电动缸。

5.根据权利要求1所述的一种大载重悬臂桨自动调平机构，其特征在于，所述夹持固定组件包括固定座（11），所述固定座（11）的顶部固定安装有夹持座（12），所述固定座（11）与夹持座（12）之间夹持固定安装有防护套（13），所述防护套（13）配合安装在悬臂桨（1）的端部。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种大载重悬臂桨自动调平机构，其特征在于，所述固定架（3）的侧部固定安装有连接板（14）。