一种掩模版检测卡盘的制作方法

本技术涉及掩模版检测装置,特别是涉及一种掩模版检测卡盘。

背景技术：

1、在半导体光刻工艺中，掩模版作为核心部件，其表面质量直接决定芯片的制造良率。掩模版表面若存在划痕、颗粒等微小缺陷，会在光刻过程中转移至晶圆表面，导致芯片功能失效或性能下降，造成严重的产品损失。因此，在掩模版投入使用前，需通过专用掩模版检测设备进行缺陷筛查，以确保其表面质量符合工艺要求。

2、在掩模版检测过程中，实现掩模版的稳定、精准固定是保障检测精度的前提条件，该任务由夹持装置（行业内通常称为chuck，即卡盘）承担。卡盘的夹持效果直接影响掩模版的定位精度，若夹持过程中掩模版出现位置偏移、水平度偏差或表面形变等问题，会导致检测设备对缺陷的识别准确性下降，具体表现为缺陷位置误判、微小缺陷漏判等情况，进而影响掩模版质量评价的可靠性。

3、随着半导体芯片向高集成度、小制程方向发展，掩模版的尺寸精度和表面质量要求持续提升，相应地对掩模版检测设备的精度要求也同步提高，这进一步对夹持卡盘的性能提出了更高标准。当前，夹持卡盘需同时满足稳定性强、平整度高、定位精度准，以及夹持过程中不对掩模版造成过度挤压和污染等多重要求。

4、然而，现有掩模版夹持方式多采用单一的机械夹持式、真空吸附式或静电卡盘式，均存在各自的技术缺陷，难以满足夹持检测的需求：

5、机械夹持式：通过夹爪直接对掩模版边缘进行夹持，夹持过程中易因夹爪施力不均导致掩模版翘起，破坏待检测掩模版的水平度，从而影响检测系统的光学成像精度；同时，为保证夹持稳定性所需的较大夹持力可能导致掩模版表面产生压痕或发生塑性形变，损坏掩模版功能区域。

6、真空吸附式：依靠负压吸附作用将掩模版固定在卡盘表面，但其无法对掩模版进行主动的定位归正，掩模版的最终位置完全依赖外部机械手的放置精度。由于机械手放置过程中不可避免存在微小偏差，难以保证检测过程中掩模版的位置识别精度，易引发缺陷定位误差。

7、静电卡盘式：利用静电吸附力实现掩模版固定，同样缺乏有效的位置规正功能，无法修正掩模版的初始放置偏差。

8、综上，现有单一夹持方式均存在难以克服的技术瓶颈，无法满足掩模版检测对夹持装置的综合性能要求，因此，亟需研发一种新型掩模版夹持装置，以解决现有技术中存在的检测定位精度不足、易损伤掩模版等问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种掩模版检测卡盘，且可实现对掩模版在检测过程中的稳定夹持，同时不会对掩模版造成损坏。

2、本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

3、一种掩模版检测卡盘，包括基板和至少两个用于挤压掩模版的夹持组件，所述基板的一侧开设有置物槽，所述置物槽具有四个槽壁，且其中相互垂直的两个槽壁分别为第一夹持面和第二夹持面，所述基板还开设有多个均连通所述置物槽槽底的吸附孔，各个所述吸附孔均用于连通负压产生器，各个所述夹持组件均固定于所述基板，并分布于与所述第一夹持面和所述第二夹持面相对的位置。

4、本实用新型的有益效果是：检测过程中，掩模版被放置于置物槽内，掩模版对吸附孔进行遮挡，各个夹持组件将掩模版同时压紧于第一夹持面和第二夹持面，与此同时，启动负压产生器，通过吸附孔对掩模版产生负压吸附，从而利用机械夹持与负压吸附相结合的方式对掩模版进行定位和检测过程中的固定，可保证掩模版位置的稳定性，可实现对掩模版在检测过程中的稳定夹持，同时不会对掩模版造成损坏。

5、在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

6、进一步，各个所述夹持组件均包括固定安装于所述基板的直线驱动件和一端传动连接于所述直线驱动件的夹持推杆，所述夹持推杆的另一端用于挤压掩模版。

7、进一步，各个所述夹持组件均还包括固定连接于所述夹持推杆另一端的夹爪，各个所述夹爪的夹持面均呈弧面结构。

8、进一步，各个所述夹持组件均还包括转接杆，各个所述转接杆的一端均可拆卸连接于对应的所述直线驱动件的驱动端，另一端均可拆卸连接于对应的所述夹持推杆的一端，同一个夹持组件的所述直线驱动件和所述夹持推杆并排设置，且各个所述夹持推杆均滑动连接于所述基板。

9、进一步，所述置物槽的槽底开设有多个吸附槽，且各个所述吸附孔分别连通各个所述吸附槽的槽底。

10、进一步，所述基板还开设有多个均用于连通抽尘器的抽尘孔，各个所述抽尘孔均用于连通所述置物槽的槽壁，且所述置物槽开设有多个均连通所述基板一侧的抽尘槽。

11、进一步，所述基板安装有两个检测光电，两个所述检测光电相对设置于所述置物槽相对的两个槽壁处。

12、进一步，所述置物槽的槽底中部贯通形成检测口。

13、进一步，所述基板的一侧开设有多个避让槽，各个所述避让槽均连通所述置物槽。

14、进一步，所述基板涂覆有防静电镀层。

1.一种掩模版检测卡盘，其特征在于，包括基板（1）和至少两个用于挤压掩模版的夹持组件（2），所述基板（1）的一侧开设有置物槽（11），所述置物槽（11）具有四个槽壁，且其中相互垂直的两个槽壁分别为第一夹持面（111）和第二夹持面（112），所述基板（1）还开设有多个均连通所述置物槽（11）槽底的吸附孔（12），各个所述吸附孔（12）均用于连通负压产生器，各个所述夹持组件（2）均固定于所述基板（1），并分布于与所述第一夹持面（111）和所述第二夹持面（112）相对的位置。

2.根据权利要求1所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，各个所述夹持组件（2）均包括固定安装于所述基板（1）的直线驱动件（21）和一端传动连接于所述直线驱动件（21）的夹持推杆（22），所述夹持推杆（22）的另一端用于挤压掩模版。

3.根据权利要求2所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，各个所述夹持组件（2）均还包括固定连接于所述夹持推杆（22）另一端的夹爪（23），各个所述夹爪（23）的夹持面均呈弧面结构。

4.根据权利要求2所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，各个所述夹持组件（2）均还包括转接杆（24），各个所述转接杆（24）的一端均可拆卸连接于对应的所述直线驱动件（21）的驱动端，另一端均可拆卸连接于对应的所述夹持推杆（22）的一端，同一个夹持组件（2）的所述直线驱动件（21）和所述夹持推杆（22）并排设置，且各个所述夹持推杆（22）均滑动连接于所述基板（1）。

5.根据权利要求1所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，所述置物槽（11）的槽底开设有多个吸附槽（121），且各个所述吸附孔（12）分别连通各个所述吸附槽（121）的槽底。

6.根据权利要求1所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，所述基板（1）还开设有多个均用于连通抽尘器的抽尘孔（14），各个所述抽尘孔（14）均用于连通所述置物槽（11）的槽壁，且所述置物槽（11）开设有多个均连通所述基板（1）一侧的抽尘槽（141）。

7.根据权利要求1-6任一项所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，所述基板（1）安装有两个检测光电（3），两个所述检测光电（3）相对设置于所述置物槽（11）相对的两个槽壁处。

8.根据权利要求1-6任一项所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，所述置物槽（11）的槽底中部贯通形成检测口（113）。

9.根据权利要求1-6任一项所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，所述基板（1）的一侧开设有多个避让槽（114），各个所述避让槽（114）均连通所述置物槽（11）。

10.根据权利要求1-6任一项所述一种掩模版检测卡盘，其特征在于，所述基板（1）涂覆有防静电镀层。