一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置的制作方法

本技术属于光学检测，具体涉及一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置。

背景技术：

1、随着lcd屏、oled屏、micro led屏分辨率逐步提高，对其检测设备检测精度的要求随之提高，而随着检测设备检测精度的提高，其检测头的景深随之变小，检测平台无法使产品在检测过程中的平整度都达到检测头景深范围内时，要求检测头具有跟踪对焦能力。为了提高检测效果，检测头一般采用线扫镜头，只能使用离轴跟踪对焦装置。

2、如图1所示，已有的离轴跟踪对焦装置利用激光三角测距来探测产品相对检测头的高度变化量反馈给控制器控制检测头做相应运动。但是这种现有技术的缺点是精度无法满足更高检测精度的要求，容易受到制程的干扰，不平整的位置会出现聚焦偏移。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的。

2、具体的，本实用新型提供了一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，包括：

3、面阵相机、第一远心镜头、第一反射镜由上到下顺序垂直布置，形成一侧光路；led光源、聚光镜、结构模板、第二远心镜头、第二反射镜由上到下顺序垂直布置，形成另一侧光路；

4、所述一侧光路和另一侧光路相对于检测头的位置对称布置，所述检测头包括成像镜头。

5、进一步地，所述检测头还包括tdi相机。

6、进一步地，所述led光源发出的光，依次经过聚光镜、结构模板、第二远心镜头、第二反射镜后，照向待测玻璃表面，经过待测玻璃表面的反射后，再依次经过第一反射镜、第一远心镜头，射向面阵相机，通过面阵相机成像得到结构模板的图像。

7、进一步地，两个所述远心镜头的倍率是2倍倍率。

8、进一步地，所述结构模板，是在玻璃上面刻上有一定规律不透光的线对。

9、进一步地，所述规律为编码循环。

10、进一步地，所述装置进一步包括与所述面阵相机连接的基于fpga的高帧率实时自动跟焦系统，所述系统包括：

11、fpga芯片、mcu芯片；其中fpga芯片对图像进行分析计算，计算出偏移量并发送给mcu芯片，mcu控制z轴电机调节检测头和所述离轴跟踪对焦装置的高度；

12、fpga芯片、mcu芯片、面阵相机的cmos芯片位于同一个pcb板上。

13、本实用新型的优点在于：解决更高检测精度的要求，不受制程影响，不平整的位置不会出现聚焦偏移。

1.一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，

7.根据权利要求1或2所述的一种基于结构光的离轴跟踪对焦装置，其特征在于，