一种立式高温蒸镀蒸发源的制作方法

本技术涉及真空蒸镀，尤其涉及一种立式高温蒸镀蒸发源。

背景技术：

1、立式高温蒸镀蒸发源是物理气相沉积技术体系中的核心功能装置，主要用于在高温环境下将固态蒸镀原料（如金属、金属氧化物、半导体材料等）加热至蒸发或升华状态，形成高纯度蒸汽，并通过特定结构引导蒸汽定向沉积到待镀膜基材表面，最终在基材上形成均匀、致密薄膜。

2、传统蒸发源的原料供给模式单一，即需打开设备腔体将固态原料直接加入蒸发坩埚或喷管内，完成一次蒸镀周期后需停机补料，难以满足不同原料特性、生产节奏及工艺场景的需求，降低了设备适用性和生产效率，其次，传统蒸发源多采用单一加热方式，热量传导路径长、效率低，保温性能有限，难以满足高纯度、高精度薄膜的蒸镀要求，基于此，特提出一种立式高温蒸镀蒸发源用于改进。

技术实现思路

1、鉴于上述现有原料供给模式单一，难以适配多样化需求和单一加热方式热量传导路径长、效率低，保温性能有限的问题，提出了本实用新型。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种立式高温蒸镀蒸发源，包括水冷壳，所述水冷壳内部设有高温喷管，所述高温喷管一侧设有若干个喷头，所述高温喷管表面固定套接有套管，所述高温喷管和套管之间设有加热带，且所述加热带以螺旋线轨迹缠绕于高温喷管外表面，所述水冷壳顶端设有自动供料仓，所述自动供料仓输出端贯穿于水冷壳顶端并与高温喷管相连通，所述高温喷管底端通过第一法兰连接有储料锅，所述储料锅外部套设有加热器。

3、作为一种优选方案，其中：所述套管一侧设有半矩形保温壳，所述套管另一侧设有半圆形保温壳，所述半矩形保温壳和半圆形保温壳的对接边缘通过螺栓相连接，所述套管嵌合于半矩形保温壳和半圆形保温壳之间。

4、作为一种优选方案，其中：所述半矩形保温壳和半圆形保温壳均由三层保温板组成，且三层保温板互不接触，相邻两层保温板之间形成空腔。

5、作为一种优选方案，其中：所述加热器外部设有第二法兰，所述第二法兰通过螺栓固定安装于水冷壳底端。

6、作为一种优选方案，其中：若干个所述喷头一端贯穿于套管内壁并延伸至半圆形保温壳外部，若干个所述喷头延伸至半圆形保温壳外部的一端设于水冷壳一侧通槽内。

7、作为一种优选方案，其中：所述水冷壳一侧对称设有接头，所述接头分别与加热带两端相连接。

8、作为一种优选方案，其中：所述自动供料仓上设有控制阀，所述加热器内部呈圆周分布有加热丝。

9、与现有技术相比，本实用新型至少具有如下有益效果：

10、1、本实用新型通过自动供料仓与控制阀实现快速、连续补料，适合大规模连续生产；底部通过拆卸第二法兰、第一法兰可直接取出储料锅加料，便于处理特殊原料或进行设备内部清洁维护，双模式切换满足不同原料特性、生产节奏及工艺场景的需求，提升了设备适用性和生产效率。

11、2、本实用新型通过加热带对高温喷管直接加热，配合加热器对储料锅进行辅助加热，形成双层加热，不仅能快速将高温喷管升温至目标温度，更能通过储料锅的热量传导持续补充能量，有效避免单一加热方式的温度波动，确保1000℃高温稳定维持，保障原料蒸发速率均匀，提升蒸镀膜层质量一致性。

12、3、本实用新型通过半矩形保温壳与半圆形保温壳的三层空腔结构形成高效保温屏障，大幅减少加热带与高温喷管的热量散失，降低能耗；同时，水冷壳通过内部冷却水带走设备外层多余热量，避免外壳温度过高，既保护设备外部结构及周边环境，又为操作人员提供安全的操作条件，实现高温核心区保温和外围低温防护的双重控温效果。

1.一种立式高温蒸镀蒸发源，包括水冷壳（1），其特征在于：所述水冷壳（1）内部设有高温喷管（2），所述高温喷管（2）一侧设有若干个喷头（21），所述高温喷管（2）表面固定套接有套管（4），所述高温喷管（2）和套管（4）之间设有加热带（3），且所述加热带（3）以螺旋线轨迹缠绕于高温喷管（2）外表面，所述水冷壳（1）顶端设有自动供料仓（6），所述自动供料仓（6）输出端贯穿于水冷壳（1）顶端并与高温喷管（2）相连通，所述高温喷管（2）底端通过第一法兰（7）连接有储料锅（8），所述储料锅（8）外部套设有加热器（9）。

2.根据权利要求1所述的一种立式高温蒸镀蒸发源，其特征在于：所述套管（4）一侧设有半矩形保温壳（5），所述套管（4）另一侧设有半圆形保温壳（51），所述半矩形保温壳（5）和半圆形保温壳（51）的对接边缘通过螺栓相连接，所述套管（4）嵌合于半矩形保温壳（5）和半圆形保温壳（51）之间。

3.根据权利要求2所述的一种立式高温蒸镀蒸发源，其特征在于：所述半矩形保温壳（5）和半圆形保温壳（51）均由三层保温板组成，且三层保温板互不接触，相邻两层保温板之间形成空腔。

4.根据权利要求1所述的一种立式高温蒸镀蒸发源，其特征在于：所述加热器（9）外部设有第二法兰（10），所述第二法兰（10）通过螺栓固定安装于水冷壳（1）底端。

5.根据权利要求1所述的一种立式高温蒸镀蒸发源，其特征在于：若干个所述喷头（21）一端贯穿于套管（4）内壁并延伸至半圆形保温壳（51）外部，若干个所述喷头（21）延伸至半圆形保温壳（51）外部的一端设于水冷壳（1）一侧通槽内。

6.根据权利要求1所述的一种立式高温蒸镀蒸发源，其特征在于：所述水冷壳（1）一侧对称设有接头（11），所述接头（11）分别与加热带（3）两端相连接。

7.根据权利要求1所述的一种立式高温蒸镀蒸发源，其特征在于：所述自动供料仓（6）上设有控制阀（61），所述加热器（9）内部呈圆周分布有加热丝（91）。