一种蒸发舟及蒸发系统的制作方法

本申请涉及锂电池，具体而言，涉及一种蒸发舟及蒸发系统。

背景技术：

1、真空蒸发镀膜是在真空条件下通过加热蒸发源，使蒸发源中的金属汽化蒸发，蒸汽原子或分子沉积到基片上凝结后形成薄膜。现有技术通常是在蒸发舟的两端接入电源作为蒸发源的主要结构形式。目前大多数蒸发舟是将舟的上表面或在舟的上表面设计凹槽作为蒸发池，蒸镀金属在蒸发池内完成蒸发。

2、相关技术中，送丝机构将待蒸金属丝送到蒸发舟上方，金属丝熔化后滴落到蒸发池再汽化，对基片镀膜。当送丝机构由于送丝不稳或蒸汽原因或金属熔化导致金属丝抖动时，金属熔液滴落到蒸发舟时位置产生变动，则会产生飞溅。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种蒸发舟及蒸发系统，能够解决目前金属丝在蒸发过程中飞溅的技术问题。

2、本申请实施例提供一种蒸发舟，包括：

3、蒸发舟本体，具有位于沿长度方向两端的第一端部和第二端部；

4、熔池蒸发区，位于所述蒸发舟本体的上侧且位于所述第一端部和第二端部之间，所述熔池蒸发区形成为沿所述蒸发舟本体高度方向上预设深度的凹槽；

5、防蔓延区，包括位于所述第一端部的第一防蔓延凸起和位于所述第二端部的第二防蔓延凸起，所述第一防蔓延凸起和所述第二防蔓延凸起用于防止所述熔池蒸发区内的熔液向所述第一端部和所述第二端部之外蔓延；

6、送丝通道，包括贯通所述第一防蔓延凸起的第一送丝通道和贯通所述第二防蔓延凸起的第二送丝通道，且所述第一送丝通道的出口和所述第二送丝通道的出口的下边缘到所述凹槽的底部的距离小于所述凹槽的所述预设深度。

7、在一些实施例中，所述第一送丝通道的出口和所述第二送丝通道的出口至少之一与所述凹槽的底部相切。

8、在一些实施例中，所述第一送丝通道的出口和所述第二送丝通道的出口至少之一在所述凹槽的宽度方向上，到所述凹槽两侧的距离相等。

9、在一些实施例中，所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一在所述第一防蔓延凸起或所述第二防蔓延凸起内倾斜设置，且所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一的入口高于出口。

10、在一些实施例中，所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一的入口到所述第一防蔓延凸起或所述第二防蔓延凸起顶部的距离为6mm-14mm。

11、在一些实施例中，所述第一防蔓延凸起和所述第二防蔓延凸起至少之一在朝向所述熔池蒸发区的一侧为一个斜面。

12、在一些实施例中，所述斜面的倾斜角度大于所述第一送丝通道和所述第二送丝通道的倾斜角度。

13、在一些实施例中，所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一的孔径与所述凹槽的预设深度相等。

14、在一些实施例中，所述熔池蒸发区的凹槽为矩形、椭圆形或长条形。

15、本申请实施例还提供一种蒸发系统，包括：金属丝以及如上任意一项所述的蒸发舟，其中，所述金属丝沿所述第一送丝通道和第二送丝通道伸入所述熔池蒸发区进行蒸发。

16、与现有技术相比，本申请实施例具有如下的技术效果：

17、本申请通过在蒸发舟的熔池蒸发区两端设置防蔓延区，能够防止熔池蒸发区内的熔液向蒸发舟第一端部和第二端部之外蔓延；且，通过使送丝通道的出口的下边缘到凹槽的底部的距离小于凹槽的预设深度，从而使得金属丝通过送丝通道能够直接送到熔池蒸发区底部，金属丝在送丝通道出口与金属溶池直接接触融化，避免了送丝抖动问题，从而解决由于送丝抖动导致的熔液飞溅问题。

1.一种蒸发舟，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一送丝通道的出口和所述第二送丝通道的出口至少之一与所述凹槽的底部相切。

3.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一送丝通道的出口和所述第二送丝通道的出口至少之一在所述凹槽的宽度方向上，到所述凹槽两侧的距离相等。

4.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一在所述第一防蔓延凸起或所述第二防蔓延凸起内倾斜设置，且所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一的入口高于出口。

5.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一的入口到所述第一防蔓延凸起或所述第二防蔓延凸起顶部的距离为6mm-14mm。

6.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一防蔓延凸起和所述第二防蔓延凸起至少之一在朝向所述熔池蒸发区的一侧为一个斜面。

7.根据权利要求6所述的蒸发舟，其特征在于，所述斜面的倾斜角度大于所述第一送丝通道和所述第二送丝通道的倾斜角度。

8.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述第一送丝通道和所述第二送丝通道至少之一的孔径与所述凹槽的预设深度相等。

9.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述熔池蒸发区的凹槽为矩形、椭圆形或长条形。

10.一种蒸发系统，其特征在于，包括：