多腔室连续镀膜设备的制作方法

本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种多腔室连续镀膜设备。

背景技术：

1、随着真空镀膜设备行业发展，市面上对制作各光学产品的镀膜设备的要求也越来越严格，行业内的核查项目包括但不限于设备的生产效率、生产产品良率、产品镀膜的均匀性以及设备内部维护清洁的难易程度等。伴随着不断变化的市场环境和行业竞争性，上述要求不断提升，提高生产节拍与产能更是重中之重。

2、为实现多种薄膜的连续自动化镀膜，一般采用包括进片室、镀膜室和出片室在内的多腔室连续镀膜设备。现有技术中存在直线性排列的多腔室设备，但该类设备对放置空间的要求较高，且需要配备较长的外部自动化线。现有技术中也存在具有拐角的多腔室布局，但拐角处的搬送机构一般需进行特殊设计，限制了拐角处相邻腔室的同步搬送，显著影响了多腔室镀膜设备的整体搬送效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种多腔室连续镀膜设备。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、多腔室连续镀膜设备，包括：

4、多个功能腔室，多个所述功能腔室依次连接，相邻两个所述功能腔室之间选择性地设置有阻断机构，所述阻断机构用于控制位于所述阻断机构两侧的功能腔室之间的通断；所述功能腔室用于设置搬送单元，所述搬送单元用于搬送基片挂载单元；

5、多个所述功能腔室包括进片腔室、第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和出片腔室；所述进片腔室和所述第一镀膜腔室位于第一直线，所述出片腔室和所述第二镀膜腔室位于第二直线，所述第一镀膜腔室和所述第二镀膜腔室位于第三直线；

6、所述第一直线与所述第三直线呈夹角设置，所述第二直线与所述第三直线呈夹角设置，所述第一镀膜腔室和所述第二镀膜腔室之间设置有中间缓存室；或，所述第一直线与所述第二直线两者之一与所述第三直线呈夹角设置，另一个与所述第三直线重合。

7、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述夹角设置为直角。

8、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，当所述第一直线与所述第三直线呈夹角设置，所述第二直线与所述第三直线呈夹角设置，所述第一镀膜腔室和所述第二镀膜腔室之间设置有中间缓存室时，所述进片腔室和所述出片腔室位于所述第三直线的同侧。

9、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述搬送单元包括底部导轮单元，所述底部导轮单元包括导轮组件，至少部分所述导轮组件选择性地升降；所述导轮组件升起以与所述基片挂载单元的底部抵接，所述导轮组件能选择性地移动所述基片挂载单元至相邻的所述底部导轮单元上。

10、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述第一镀膜腔室和/或所述第二镀膜腔室的底部导轮单元包括两个所述导轮组件，两个所述导轮组件能分别沿非平行的两个方向移动所述基片挂载单元。

11、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述导轮组件包括多个滚动轮和导向驱动件，所述基片挂载单元的移动方向与所述滚动轮的转动方向相切，多个所述滚动轮沿所述基片挂载单元的移动方向间隔设置，所述导向驱动件能控制所述滚动轮转动。

12、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，当所述底部导轮单元包括可选择性升降的所述导轮组件时，所述底部导轮单元还包括抬升气缸，所述抬升气缸的输出端与所述导轮组件的底部连接，所述抬升气缸的输出端能伸缩以控制所述导轮组件升降。

13、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述基片挂载单元包括外层架和用于挂载基片的筒状旋转毂架，所述外层架用于与所述搬送单元抵接，所述筒状旋转毂架置于所述外层架的内部，所述筒状旋转毂架与所述外层架转轴连接；

14、所述多腔室连续镀膜设备还包括定位旋转交接单元，所述定位旋转交接单元与所述功能腔室一一对应设置，所述定位旋转交接单元包括定位组件和旋转组件；所述筒状旋转毂架的转轴顶部设置有上对接槽，所述定位组件包括定位驱动件和上中心轴，所述定位驱动件设置于所述功能腔室的顶部，所述定位驱动件选择性地控制所述上中心轴同轴置于所述上对接槽；所述旋转组件用于驱动所述筒状旋转毂架转动。

15、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述筒状旋转毂架的转轴顶部外圈设置有齿轮部，所述旋转组件包括旋转驱动件和齿轮轴，所述旋转驱动件设置于所述功能腔室的顶部，当所述上中心轴置于所述上对接槽时，所述旋转驱动件能控制所述齿轮轴与所述齿轮部啮合传动；

16、或，所述筒状旋转毂架的转轴底部设置有下对接槽，所述旋转组件包括旋转驱动件和下中心轴，所述旋转驱动件设置于所述搬送单元，所述下中心轴能置于所述下对接槽，所述旋转驱动件能控制下中心轴带动所述筒状旋转毂架同轴转动。

17、作为多腔室连续镀膜设备的可选技术方案，所述多腔室连续镀膜设备还包括大气转换平台，所述大气转换平台的两端分别设置有上料位和下料位。

18、本实用新型的有益效果：

19、本实用新型所提供的多腔室连续镀膜设备包括多个功能腔室和基片挂载单元，多个功能腔室依次连接，相邻两个功能腔室之间选择性地设置有阻断机构，阻断机构用于控制位于阻断机构两侧的功能腔室之间的通断，通过阻断机构灵活地使各个功能腔室之间连通或隔离，保证基片挂载单元在不同的功能腔室能够独立地进行例如上下料、镀膜前中后等各个工艺步骤的工作，以及工作后的传输。每个功能腔室对应设置有搬送单元，用于搬送基片挂载单元。每个功能腔室对应可以进行一项工艺步骤，多腔室连续镀膜机通过结构的变换，可改变各个功能腔室的摆放位置，多个功能腔室可以进行多样性地组合，布局所占的空间不同，基片挂载单元的运动路径不同。其中，多个功能腔室包括进片腔室、第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和出片腔室，分别对应承担不同的功能；进片腔室和第一镀膜腔室位于第一直线，出片腔室和第二镀膜腔室位于第二直线，第一镀膜腔室和第二镀膜腔室位于第三直线。

20、若第一直线与第三直线呈夹角设置，第二直线与第三直线呈夹角设置，第一镀膜腔室和第二镀膜腔室之间设置有中间缓存室，以存在至少5间腔室布局，至每一节拍至可至少保证有两个基片挂载单元同时进行镀膜工序或至少三个基片挂载单元同时移动；中间缓存室的存在可改善第一镀膜腔室和第二镀膜腔室之间因镀膜时间不一致，导致基片挂载单元等待时间过长，功能腔室利用不充分等问题，有效节省等待搬送时间。若仅选择第一直线与第二直线两者之一与第三直线呈夹角设置，另一个与第三直线重合，形成类似l型的腔室布局，以存在至少4间腔室布局，同时采用减少一个折角布局的设计，以确保至少两个基片挂载单元可以同时进行移动。上述两种方案避免了多腔室连续镀膜设备在拐角处产生相邻腔室同步搬送的限制，提高了多腔室镀膜设备的整体搬送效率。

1.多腔室连续镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述夹角设置为直角。

3.根据权利要求1所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，当所述第一直线与所述第三直线呈夹角设置，所述第二直线与所述第三直线呈夹角设置，所述第一镀膜腔室（103）和所述第二镀膜腔室（104）之间设置有中间缓存室（105）时，所述进片腔室（101）和所述出片腔室（102）位于所述第三直线的同侧。

4.根据权利要求1所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述搬送单元包括底部导轮单元（120），所述底部导轮单元（120）包括导轮组件（121），至少部分所述导轮组件（121）选择性地升降；所述导轮组件（121）升起以与所述基片挂载单元（200）的底部抵接，所述导轮组件（121）能选择性地移动所述基片挂载单元（200）至相邻的所述底部导轮单元（120）上。

5.根据权利要求4所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述第一镀膜腔室（103）和/或所述第二镀膜腔室（104）的底部导轮单元（120）包括两个所述导轮组件（121），两个所述导轮组件（121）能分别沿非平行的两个方向移动所述基片挂载单元（200）。

6.根据权利要求4所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述导轮组件（121）包括多个滚动轮（1211）和导向驱动件（1212），所述基片挂载单元（200）的移动方向与所述滚动轮（1211）的转动方向相切，多个所述滚动轮（1211）沿所述基片挂载单元（200）的移动方向间隔设置，所述导向驱动件（1212）能控制所述滚动轮（1211）转动。

7.根据权利要求4所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，当所述底部导轮单元（120）包括可选择性升降的所述导轮组件（121）时，所述底部导轮单元（120）还包括抬升气缸（1213），所述抬升气缸（1213）的输出端与所述导轮组件（121）的底部连接，所述抬升气缸（1213）的输出端能伸缩以控制所述导轮组件（121）升降。

8.根据权利要求1所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述基片挂载单元（200）包括外层架（210）和用于挂载基片的筒状旋转毂架（220），所述外层架（210）用于与所述搬送单元抵接，所述筒状旋转毂架（220）置于所述外层架（210）的内部，所述筒状旋转毂架（220）与所述外层架（210）转轴连接；

9.根据权利要求8所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述筒状旋转毂架（220）的转轴顶部外圈设置有齿轮部（222），所述旋转组件（320）包括旋转驱动件（321）和齿轮轴（322），所述旋转驱动件（321）设置于所述功能腔室（100）的顶部，当所述上中心轴（312）置于所述上对接槽（221）时，所述旋转驱动件（321）能控制所述齿轮轴（322）与所述齿轮部（222）啮合传动；

10.根据权利要求1-9任一项所述的多腔室连续镀膜设备，其特征在于，所述多腔室连续镀膜设备还包括大气转换平台（130），所述大气转换平台（130）的两端分别设置有上料位（131）和下料位（132）。