一种阴极装置及气相沉积设备的制作方法

本技术涉及光伏电池的，尤其涉及一种阴极装置及气相沉积设备。

背景技术：

1、物理气相沉积(physical vapor deposition，以下简称pvd)是指用物理的方法例如蒸发、溅射等使镀膜材料气化，在基体表面沉积成膜的技术。pvd工艺属于物理反应，主机工艺腔室在高真空环境下，外加电场并通入高纯度的工艺气体，气体分子在电场作用下形成等离子体，气体离子在电场作用下轰击靶材表面，将靶材原子撞出并产生二次电子，靶材原子撞出后沉积到载板上硅片的表面形成透明导电薄膜，二次电子受到电场和靶材阴极表面磁棒产生的磁场共同作用下，被束缚在靠近靶材表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的气体离子来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。

2、目前，现有的阴极装置都是将控制发射离子流发射的磁棒朝向靶材设置，从而持续对靶材进行攻击。但是，在实际生产过程中，经常会有载板不装载硅片在主机工艺腔室空传的情况。例如，当靶材消耗完，更换复机时，会使用功率从低到高进行炼靶。由于保养时载板在大气环境存放，炼靶结束后需再进行载板空传去除水汽；再例如，清洗返厂的新载板或者全新载板导入腔室时，需进行表面预热，在机台内部空传再启用进行生产；还例如，3、工艺实验会使用少量载板进行生产验证，其余载板禁用，但禁用的载板会随着实验载板在机台内空传。

3、但是，空传时载板表面也会受到离子流轰击从而沉积膜层导致载板寿命的浪费，增加运营成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供了一种阴极装置及气象沉积设备，以解决现有技术中空传时载板表面也会受到离子流轰击从而沉积膜层导致载板寿命的浪费，增加运营成本的技术问题。

2、第一方面，本实用新型提供的一种阴极装置，包括固定板、磁棒、磁棒转动组件和靶材；

3、所述磁棒沿水平方向设置于固定板的下方，所述磁棒转动组件固定于所述固定板，并与所述磁棒传动连接，以带动所述磁棒绕自身轴向转动，所述靶材中空设置，并沿所述磁棒延伸方向套设于所述磁棒。

4、进一步地，所述磁棒转动组件包括安装架、第一驱动件、第一传动带、第一主动轮、第一从动轮；

5、所述安装架固定于所述固定板的上方，所述第一驱动件固定于所述安装架，所述第一驱动件与所述第一主动轮传动连接，所述第一从动轮套设于所述磁棒，并与所述磁棒传动连接，所述第一传动带分别套设于所述第一主动轮和所述第一从动轮。

6、进一步地，所述阴极装置还包括靶材转动组件，所述靶材转动组件包括第二驱动件、第二传动带、第二主动轮、第二从动轮；

7、所述第二驱动件固定于所述安装架，所述第二驱动件与所述第二主动轮传动连接，所述第二从动轮套设于所述磁棒，并与所述磁棒传动连接，所述第二传动带分别套设于所述第二主动轮和所述第二从动轮。

8、进一步地，所述阴极装置还包括防护罩；

9、所述防护罩扣设于所述固定板的顶部，所述防护罩内设置容纳空腔，所述安装架、所述第一驱动件、所述第一主动轮、所述第二驱动件和所述第二主动轮均设置于所述容纳空腔。

10、进一步地，所述磁棒、所述磁棒转动组件、所述靶材和所述靶材转动组件围设形成阴极组，两个所述阴极组并列设置于所述固定板。

11、进一步地，所述阴极装置还包括固定端头；

12、两个所述固定端头分别设置于所述固定板的两端，所述磁棒的一端转动设置于所述固定端头，所述磁棒的另一端转动设置于另一个所述固定端头。

13、第二方面，本实用新型还提供了一种气相沉积设备，包括上述的阴极装置。

14、与现有技术相比，本实用新型提供的一种阴极装置，包括固定板、磁棒、磁棒转动组件和靶材；磁棒沿水平方向设置于固定板的下方，磁棒转动组件固定于固定板，并与磁棒传动连接，以带动磁棒绕自身轴向转动，靶材中空设置，并沿磁棒延伸方向套设于磁棒；通过在固定板上设置磁棒转动组件，从而带动磁棒转动，改变磁棒朝向，以使载板空传进行炼靶时，离子流会想背离载板的方向溅射，避免离子流溅射到载板上产生高温导致载板变形，解决了现有技术中空传时载板表面也会受到离子流轰击从而沉积膜层导致载板寿命的浪费，增加运营成本的技术问题，消除载板空传时无效寿命的增加，载板清洗次数减少，降低了设备运营成本。

1.一种阴极装置，其特征在于，包括固定板、磁棒、磁棒转动组件和靶材；

2.根据权利要求1所述的阴极装置，其特征在于，所述磁棒转动组件包括安装架、第一驱动件、第一传动带、第一主动轮、第一从动轮；

3.根据权利要求2所述的阴极装置，其特征在于，所述阴极装置还包括靶材转动组件，所述靶材转动组件包括第二驱动件、第二传动带、第二主动轮、第二从动轮；

4.根据权利要求3所述的阴极装置，其特征在于，所述阴极装置还包括防护罩；

5.根据权利要求3所述的阴极装置，其特征在于，所述磁棒、所述磁棒转动组件、所述靶材和所述靶材转动组件围设形成阴极组，两个所述阴极组并列设置于所述固定板。

6.根据权利要求1-4任一项所述的阴极装置，其特征在于，所述阴极装置还包括固定端头；

7.一种气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1-5中任一项所述的阴极装置。