一种具有高利用率的靶材结构生产组件的制作方法

本技术涉及靶材结构，特别是涉及一种具有高利用率的靶材结构生产组件。

背景技术：

1、物理气相沉积（pvd）技术应用于很多领域，其利用溅射靶材组件可提供带有原子级光滑表面的具有精确厚度的薄膜材料沉积物。靶材组件是由符合溅射性能的靶材基体和适于与靶材基体结合并具有一定强度的靶材背板构成。

2、现有靶材结构采用背板和靶坯进行焊接连接在一起，在使用的过程中一旦靶坯出现损坏，则需要对整体进行更换，导致靶材结构使用利用率大大降低，从而增加一定经济成本，为了解决这一难题，因此提出一种具有高利用率的靶材结构生产组件。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是靶坯出现损坏，则需要对整体进行更换，导致靶材结构使用利用率大大降低，从而增加一定经济成本。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种具有高利用率的靶材结构生产组件，包括背板和靶坯，所述背板的表面上固定连接有圆环，所述圆环的表面上贯穿开设有两个通口，两个所述通口的内部均安装有移动杆，两个所述移动杆相对一端固定连接有卡环，两个所述卡环的表面一侧均固定连接有卡块，所述靶坯的表面上对称开设有两个卡口，所述背板的底部固定连接有连接管，所述连接管的内部设置有驱动组件；

3、所述驱动组件的表面一侧设置有转盘，所述转盘的表面上开设有开槽，所述开槽的内部设置有固定组件，所述连接管的内侧壁开设有多个连接口，所述连接管的外部设置有连接组件。

4、优选的，所述连接组件包括两个通槽，两个所述通槽贯穿开设在背板的表面上，两个所述通槽的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块的一端与移动杆的底部固定连接，所述滑块的相对表面上固定连接有两个连杆，两个所述连杆一端贯穿滑动连接至连接管的内部，利用移动杆的移动可驱动滑块带动连杆进行驱动，操作的过程中更加便捷。

5、优选的，所述驱动组件包括转板，所述转板转动连接在背板的表面上，所述转板与两个连杆之间安装有两个斜杆，所述转板与转盘之间通过连轴相连接，通过转板转动便于驱动斜杆进行转动，便于实现对连杆进行驱动。

6、优选的，两个所述斜杆的两端分别与连杆的表面和转板的表面转动连接。

7、优选的，所述固定组件包括移动板，所述移动板嵌入滑动安装至开槽的内侧壁，所述开槽的内侧壁转动连接有螺杆，所述螺杆的一端贯穿螺纹连接至移动板的内部，所述移动板的一端固定连接有定位块，通过螺杆的转动便于驱动移动板进行移动，在移动板的移动下实现对定位块进行驱动，操作的过程中更加方便。

8、优选的，所述定位块与相对应连接口相匹配，所述定位块的一端安装至相对应连接口的内部。

9、优选的，所述卡块与相对应卡口相匹配，所述卡块的一端安装至相对应卡口的内部。

10、优选的，所述螺杆的外部套设固定连接有驱动盘，通过设置的驱动盘便于实现对螺杆进行驱动，操作的过程中更加便捷。

11、本实用新型的有益效果如下：

12、本实用新型通过设置上述结构，能够在转板驱动斜杆的作用实现对连杆的驱动，连杆在移动过程中实现将滑块驱动移动杆进行移动，方便在卡环和卡块的作用下对靶坯进行快速安装，避免以往采用焊接方式与背板连接一起损坏后无法更换的难题，降低经济上损失，也提高靶材结构整体的利用率，实用性更强。

1.一种具有高利用率的靶材结构生产组件，包括背板（6）和靶坯（1），其特征在于：所述背板（6）的表面上固定连接有圆环（5），所述圆环（5）的表面上贯穿开设有两个通口（16），两个所述通口（16）的内部均安装有移动杆（17），两个所述移动杆（17）相对一端固定连接有卡环（3），两个所述卡环（3）的表面一侧均固定连接有卡块（4），所述靶坯（1）的表面上对称开设有两个卡口（2），所述背板（6）的底部固定连接有连接管（14），所述连接管（14）的内部设置有驱动组件；

2.根据权利要求1所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：所述连接组件包括两个通槽（7），两个所述通槽（7）贯穿开设在背板（6）的表面上，两个所述通槽（7）的内部均滑动连接有滑块（11），两个所述滑块（11）的一端与移动杆（17）的底部固定连接，所述滑块（11）的相对表面上固定连接有两个连杆（15），两个所述连杆（15）一端贯穿滑动连接至连接管（14）的内部。

3.根据权利要求2所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：所述驱动组件包括转板（8），所述转板（8）转动连接在背板（6）的表面上，所述转板（8）与两个连杆（15）之间安装有两个斜杆（13），所述转板（8）与转盘（21）之间通过连轴相连接。

4.根据权利要求3所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：两个所述斜杆（13）的两端分别与连杆（15）的表面和转板（8）的表面转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：所述固定组件包括移动板（10），所述移动板（10）嵌入滑动安装至开槽（20）的内侧壁，所述开槽（20）的内侧壁转动连接有螺杆（18），所述螺杆（18）的一端贯穿螺纹连接至移动板（10）的内部，所述移动板（10）的一端固定连接有定位块（9）。

6.根据权利要求5所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：所述定位块（9）与相对应连接口（12）相匹配，所述定位块（9）的一端安装至相对应连接口（12）的内部。

7.根据权利要求1所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：所述卡块（4）与相对应卡口（2）相匹配，所述卡块（4）的一端安装至相对应卡口（2）的内部。

8.根据权利要求5所述的一种具有高利用率的靶材结构生产组件，其特征在于：所述螺杆（18）的外部套设固定连接有驱动盘（19）。