磁场检测装置的制作方法
本发明涉及一种具备磁阻效应元件的磁场检测装置。
背景技术:
1、迄今为止,已经提出了一些使用磁阻效应元件的磁场检测装置。例如在专利文献1中,公开了沿着导体的电流流动方向的中心线的方向与沿着磁阻效应元件的长方向的中心线的方向不同的磁场检测装置(例如参照专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1:日本特开2016-1118号公报
技术实现思路
1、然而,对于这样的磁场检测装置,要求进一步小型化。
2、因此,期望提供一种适合小型化同时保持高可靠性的磁场检测装置。
3、作为本发明的一种实施方式的磁场检测装置,具有基板、第一凸部、第二凸部、第一磁阻效应膜、第二磁阻效应膜、第一布线、第二布线和1个以上的图案。基板包括平坦面。第一凸部和第二凸部各自包括第一斜面和第二斜面,并且各自设置在平坦面上,第一斜面对平坦面倾斜,第二斜面对平坦面和第一斜面的双方倾斜。第一磁阻效应膜设置在第一斜面上,第二磁阻效应膜设置在第二斜面上。第一布线连接设置在第一凸部的第一斜面上的第一磁阻效应膜与设置在第二凸部的第一斜面上的第一磁阻效应膜,第二布线连接设置在第一凸部的第二斜面上的第二磁阻效应膜与设置在第二凸部的第二斜面上的第二磁阻效应膜。第一凸部与第二凸部以使第一凸部的第一斜面与第二凸部的第二斜面在第一方向上对向的方式,相邻配置在第一方向上。1个以上的图案设置在互相对向的第一凸部的第一斜面和第二凸部的第二斜面的至少一方上。
4、根据作为本发明的一种实施方式的磁场检测装置,在小型化的同时能够避免第一布线与第二布线之间的短路,发挥高的动作可靠性。再有,本发明的效果并不限定于此,也可以是以下所述的任何一个效果。
1.一种磁场检测装置,具备:
2.根据权利要求1所述的磁场检测装置,其中,
3.根据权利要求2所述的磁场检测装置,其中,
4.根据权利要求3所述的磁场检测装置,其中,
5.根据权利要求2所述的磁场检测装置,其中,
6.根据权利要求5所述的磁场检测装置,其中,
7.根据权利要求2所述的磁场检测装置,其中,
8.根据权利要求2至权利要求7中的任一项所述的磁场检测装置,其中,
9.根据权利要求8所述的磁场检测装置,其中,
10.根据权利要求1至权利要求9中的任一项所述的磁场检测装置,其中,
11.一种磁场检测装置,具备:
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