一种用于电离室的氦气检漏工装的制作方法

本技术属于真空检漏，具体涉及一种用于电离室的氦气检漏工装。

背景技术：

1、氦质谱检漏技术具有灵敏度极高、结果准确可靠的优点，被广泛应用于对真空密封性能要求苛刻的各类元器件和结构件的生产与质检环节。电离室作为高能物理、辐射探测等领域的关键核心部件，其内部必须长期维持高真空状态。任何微小的泄漏都会导致空气渗入，不仅会改变其内部工作介质，更会严重影响其探测精度、稳定性乃至使用寿命。因此，对电离室进行严格、高效的氦气密封性检测，是保障其性能与可靠性的至关重要的生产工序。

2、常见的检漏工装或系统，在结构上通常只提供某一固定尺寸的检测腔体及其真空接口，这种单一腔体的设计在面对不同尺寸、不同规格的待测电离室时，适应性差。由于每次检测均需对腔体进行抽真空操作，在频繁更换待测电离室或腔体容积不匹配导致无效空间增大时，会显著延长抽真空时间，降低整体检测效率。

3、另外，现有的装置功能较为单一，其净化气源和关键的示踪气源(氦气)通常均为独立的外置设备，这使得整个检漏系统由多个分散的部件和复杂的连接管路构成，现场布置杂乱，集成度低。此外，这种依赖于多个外部分散设备的系统结构，使得其移动和部署不便，难以作为一个功能完整的整体设备应用于实验室、生产线或现场检测等场合中。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种用于电离室的氦气检漏工装。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

2、本实用新型提供了一种用于电离室的氦气检漏工装，包括：壳体；检测模块，包括多个并列设置于所述壳体内的氦气检测腔体，多个所述氦气检测腔体的内部容积不同，每个所述氦气检测腔体均通过一条独立的检测支路连接至汇总管路，所述汇总管路上设有用于连接外部氦质谱仪的检测接口，每条所述检测支路上均设有检测控制阀；气源模块，设置于所述壳体内，包括空气压缩机和氦气储罐，所述空气压缩机通过内部冲洗管路连接至所述汇总管路，用于向所述氦气检测腔体以及对应的检测支路与汇总管路中引入冲洗气体；外部作业模块，包括设置于所述壳体内的外部冲洗管路和外部喷氦管路，所述内部冲洗管路上设有内部冲洗阀，所述外部冲洗管路的一端靠近所述空气压缩机，并连接在所述内部冲洗阀的上游，另一端连接至所述壳体上的外部冲洗接口；所述外部喷氦管路的一端连接所述氦气储罐，另一端连接至所述壳体上的外部喷氦接口。

3、在本实用新型的一个实施例中，多个所述氦气检测腔体的内部容积互不相同，每个所述氦气检测腔体均设有可启闭的密封端盖。

4、在本实用新型的一个实施例中，所述汇总管路上靠近所述检测接口的上游设有总控制阀。

5、在本实用新型的一个实施例中，所述外部作业模块还包括内部氦气支路，所述内部氦气支路一端连接所述外部喷氦管路，另一端连接至所述汇总管路。

6、在本实用新型的一个实施例中，所述内部氦气支路上设有备用阀，所述备用阀远离所述氦气储罐，并设置于所述内部氦气支路与所述外部喷氦管路的连接节点下游。

7、在本实用新型的一个实施例中，外部作业模块还包括至少两条扩展接口管路，每条所述扩展接口管路的一端均设有扩展接口，另一端连接所述汇总管路，且每条所述扩展接口管路上均设有扩展控制阀。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述扩展接口管路设置有两条，两条所述扩展接口管路上的所述扩展接口均设置于所述壳体外部。

9、在本实用新型的一个实施例中，所述扩展接口包括kf25快卸法兰接口或g1/4压力螺纹接口。

10、在本实用新型的一个实施例中，所述外部冲洗接口用于连接外部冲洗除尘枪；所述外部喷氦接口用于连接外部喷氦枪。

11、在本实用新型的一个实施例中，所述空气压缩机和所述氦气储罐分别通过支架固定于所述壳体的内部底板上。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

13、本实用新型的用于电离室的氦气检漏工装，将多个并列设置的氦气检测腔体、空气压缩机与氦气储罐，以及外部冲洗管路与外部喷氦管路，集成于同一壳体内。通过多个不同容积腔体，使得工装能够灵活与不同尺寸的待测电离室适配，通过选择最匹配的腔体进行检测，有效减少了无效空间，显著缩短了抽真空时间，提高了检测效率。同时，将气源内置于工装中，彻底避免了传统方案中外接分散设备带来的现场布置杂乱、管线连接复杂的问题。外部作业模块中的外部冲洗接口与外部喷氦接口，为外部吹扫清洁与外部喷氦定位提供了便捷的物理端口，使得检漏流程的切换与执行更为高效、可靠。

14、本实用新型的用于电离室的氦气检漏工装，还通过与汇总管路相连的扩展接口，进一步增强了工装的适应性与扩展性。这些扩展接口使得工装能够方便地连接外部尺寸更大或结构更特殊的专用检测腔室，不仅提高了单个工装的功能上限，也使其能够作为核心单元融入更复杂的检测系统中。

15、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

1.一种用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，多个所述氦气检测腔体的内部容积互不相同，每个所述氦气检测腔体均设有可启闭的密封端盖。

3.根据权利要求1所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述汇总管路上靠近所述检测接口的上游设有总控制阀。

4.根据权利要求1所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述外部作业模块还包括内部氦气支路，所述内部氦气支路一端连接所述外部喷氦管路，另一端连接至所述汇总管路。

5.根据权利要求4所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述内部氦气支路上设有备用阀，所述备用阀远离所述氦气储罐，并设置于所述内部氦气支路与所述外部喷氦管路的连接节点下游。

6.根据权利要求1所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述外部作业模块还包括至少两条扩展接口管路，每条所述扩展接口管路的一端均设有扩展接口，另一端连接所述汇总管路，且每条所述扩展接口管路上均设有扩展控制阀。

7.根据权利要求6所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述扩展接口管路设置有两条，两条所述扩展接口管路上的所述扩展接口均设置于所述壳体外部。

8.根据权利要求6所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述扩展接口包括kf25快卸法兰接口或g1/4压力螺纹接口。

9.根据权利要求1所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述外部冲洗接口用于连接外部冲洗除尘枪；所述外部喷氦接口用于连接外部喷氦枪。

10.根据权利要求1所述的用于电离室的氦气检漏工装，其特征在于，所述空气压缩机和所述氦气储罐分别通过支架固定于所述壳体的内部底板上。