光学洁净舱及其控制方法和控制系统与流程

本发明涉及光学零件的测试与维修领域，尤其涉及一种光学洁净舱及其控制方法和控制系统。

背景技术：

1、大型复杂光学系统在整个使用生命周期过程，会面临原位维修的需求，原位维修需要建立的洁净环境，常用办法是通过搭建小型洁净棚满足局部空间的洁净需求。相关小型清洁棚难以实现对湿度或灰尘密度的准确控制，导致能耗过大。

技术实现思路

1、本发明提供一种光学洁净舱及其控制方法和控制系统，用于解决如何对湿度或灰尘密度进行准确控制，从而降低光学洁净舱能耗的技术问题。

2、本发明实施例第一方面提供一种光学洁净舱，该光学洁净舱包括舱体，包围形成洁净空间；除湿装置，与所述洁净空间连通；测试激光发生装置，用于向所述洁净空间内发射测试激光；光强传感器，位于所述洁净空间内，与所述测试激光发生装置的出光口间隔设置，能够检测所述测试激光在所述洁净空间内传播后的所述测试激光的光强。

3、在一些实施方式中，所述光强传感器具有多个，多个所述光强传感器在所述洁净空间内间隔排布。

4、在一些实施方式中，所述光学洁净舱还包括：除尘装置，与所述洁净空间连通。

5、在一些实施方式中，所述舱体包括：舱体框架，具有开口；密封帘幕，位于所述开口内，与所述舱体框架滑动连接，用于封堵所述开口，所述密封帘幕和所述舱体框架包围形成所述洁净空间。

6、在一些实施方式中，所述除湿装置通过软管与所述洁净空间连通，所述软管与所述舱体可拆卸地连接。

7、本发明实施例第二方面提供一种光学洁净舱的控制方法，该控制方法应用于如上实施例第一方面提供的光学洁净舱，该控制方法包括：由所述光强传感器获取所述测试激光在所述洁净空间内传播后的光强数据；基于由出光口发出的测试激光的光强与所述光强数据之间的差值确定所述洁净空间内的激光衰减程度；在所述激光衰减程度大于衰减阈值的状态下，控制所述除湿装置开启直至所述激光衰减程度小于所述衰减阈值。

8、本发明实施例第三方面提供一种光学洁净舱的控制系统，该控制方法应用于如上实施例第一方面提供的光学洁净舱，所述控制方法包括：由所述光强传感器获取所述测试激光在所述洁净空间内传播后的光强数据；基于由出光口发出的测试激光的光强与所述光强数据之间的差值确定所述洁净空间内的激光衰减程度；在所述激光衰减程度大于衰减阈值的状态下，控制所述除尘装置开启直至所述激光衰减程度小于所述衰减阈值。

9、在一些实施方式中，所述由所述光强传感器获取所述测试激光在所述洁净空间内传播后的光强数据包括：获取各所述光强传感器的单位置光强数据，将各所述单位置光强数据的均值作为所述光强数据。

10、本发明实施例第四方面提供一种光学洁净舱的控制系统，该控制方法应用于如上实施例第一方面提供的光学洁净舱，所述控制方法包括：获取各所述光强传感器的单位置光强数据，并基于各所述单位置光强得到光强分布数据；基于所述光强分布数据与标准光强分布对比得到激光折射程度；在所述激光折射程度超过折射程度阈值的状态下，控制所述除湿装置开启直至所述激光折射程度低于所述折射程度阈值。

11、本发明实施例第五方面提供一种光学洁净舱的控制系统，该控制系统应用于如上实施例第一方面提供的光学洁净舱，所述控制系统包括：获取模块，用于由所述光强传感器获取所述测试激光在所述洁净空间内传播后的光强数据；处理模块，用于基于由出光口发出的测试激光的光强与所述光强数据之间的差值确定所述洁净空间内的激光衰减程度；湿度控制模块，用于在所述激光衰减程度大于衰减阈值的状态下，控制所述除湿装置开启直至所述激光衰减程度小于所述衰减阈值。

12、本发明实施例提供一种光学洁净舱，该光学洁净舱包括包围形成洁净空间的舱体，与洁净空间连通的除湿装置，测试激光发生装置，以及位于洁净空间内并与测试激光发生装置的出光口间隔设置的光强传感器；通过设置测试激光发生装置向光学洁净舱内发射测试激光并通过光强传感器获取在光学洁净舱内传播一段距离后的激光强度，由于悬浮的液滴会使激光在传播过程中使激光发生衰减，从而使光强传感器获取的激光强度降低，基于测试激光的衰减程度能够直接反映出洁净舱内悬浮的液滴对激光强度的影响，从而更加准确地反映液滴对激光强度的影响，基于这种实际影响对除湿装置进行更加准确地反馈控制，降低了除湿装置的启停次数，从而降低了光学洁净舱的能量消耗。

1.一种光学洁净舱，其特征在于，所述光学洁净舱包括：

2.根据权利要求1所述的光学洁净舱，其特征在于，所述光强传感器具有多个，多个所述光强传感器在所述洁净空间内间隔排布。

3.根据权利要求1或2所述的光学洁净舱，其特征在于，所述光学洁净舱还包括：

4.根据权利要求1所述的光学洁净舱，其特征在于，所述舱体包括：

5.根据权利要求1或4所述的光学洁净舱，其特征在于，所述除湿装置通过软管与所述洁净空间连通，所述软管与所述舱体可拆卸地连接。

6.一种光学洁净舱的控制方法，其特征在于，所述控制方法应用于如权利要求1至5中任一项所述的光学洁净舱的所述光学洁净舱，所述控制方法包括：

7.一种光学洁净舱的控制方法，其特征在于，所述控制方法应用于如权利要求3至5中任一项所述的光学洁净舱的所述光学洁净舱，所述控制方法包括：

8.根据权利要求7所述的光学洁净舱的控制方法，其特征在于，所述由所述光强传感器获取所述测试激光在所述洁净空间内传播后的光强数据包括：

9.一种光学洁净舱的控制方法，其特征在于，所述控制方法应用于如权利要求2至5中任一项所述的光学洁净舱的所述光学洁净舱，所述控制方法包括：

10.一种光学洁净舱的控制系统，其特征在于，所述控制系统应用于如权利要求1至5中任一项所述的光学洁净舱的所述光学洁净舱，所述控制系统包括：