一种CP测试探针台探卡测试打点装置的制作方法

本发明属于半导体，尤其涉及一种cp测试探针台探卡测试打点装置。

背景技术：

1、当前在半导体制造领域中，进行芯片的cp测试时，针对不良的芯粒需要进行打墨点操作，从而实现标记的功能，而现有技术中，上述操作必须在测试完成后进行，因此需要进行二次装配，过程包括拆掉探卡后安装打墨机构，然后通过调试来校正打墨点的位置，具有如下缺点：

2、操作效率低：需人工根据货物尺寸更换专用夹具，单次更换耗时 20-40 分钟，且需手动校准打磨针位置，操作流程繁琐；

3、成本较高：专用夹具需单独设计生产，单套成本 9000-15000 元，多规格夹具配置导致设备整体成本增加 10% 以上；

4、上述缺陷导致现有探针台适用性受限，难以满足测试行业 高效、低成本、低损耗的发展需求，因此，亟需一种可简单安装的组合体方案，基于上述原因，本实用新型设计了一种cp测试探针台探卡测试打点装置。

技术实现思路

1、本发明的目的是解决现有技术中的问题，而提出的一种cp测试探针台探卡测试打点装置。

2、一种cp测试探针台探卡测试打点装置，包括以下部分：

3、测试基板，所述测试基板连接至固定部分并位于晶圆的上方；

4、所述测试基板开设有针卡开口，所述针卡开口处设置有测试针，用于测试晶圆上的多个芯粒；

5、所述针卡开口位于测试针的后方设置有安装在测试基板上的打点装置，所述打点装置与测试针分别作用于不同芯粒上。

6、在上述装置中，所述晶圆通过平台上的工作台活动，所述工作台内置有使其可以进行xyz三轴移动的驱动部分。

7、在上述装置中，所述固定部分包括固定柱，所述固定柱焊接在平台上，所述固定柱的顶部开设有与测试基板配合的卡槽，所述测试基板的底部连接有支座，所述支座通过多个螺栓分别与测试基板和固定柱固定。

8、在上述装置中，所述打点装置包括位于后侧的墨囊和位于前侧的打点针，所述打点针安装在墨囊上，所述墨囊通过外侧的环形套连接在固定台上，所述固定台通过螺栓安装在测试基板上。

9、在上述装置中，所述环形套通过转轴与固定部分转动连接，所述转轴连接至转动组件。

10、在上述装置中，所述测试针至少包括两组。

11、在上述装置中，所述转动组件包括舵机。

12、本发明的有益效果为：

13、本实用新型通过将打墨点装置集成在测试基板上，可以有效解决测试和打墨点两种工作方案的结合，可在不拆探卡的同时，进行打墨点操作，保证后续操作的便利性同时，并且可以同时完成测试和打墨点操作，利用机构改进，实现装置的模块化，减少调试时间，方便部件的装载和拆卸。

1.一种cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，包括以下部分：

2.根据权利要求1所述cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，所述晶圆（3）通过平台（6）上的工作台（7）活动，所述工作台（7）内置有使其可以进行xyz三轴移动的驱动部分。

3.根据权利要求1所述cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，所述固定部分（2）包括固定柱（21），所述固定柱（21）焊接在平台（6）上，所述固定柱（21）的顶部开设有与测试基板（1）配合的卡槽（22），所述测试基板（1）的底部连接有支座（23），所述支座（23）通过多个螺栓分别与测试基板（1）和固定柱（21）固定。

4.根据权利要求1所述cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，所述打点装置（5）包括位于后侧的墨囊（51）和位于前侧的打点针（52），所述打点针（52）安装在墨囊（51）上，所述墨囊（51）通过外侧的环形套（53）连接在固定台（9）上，所述固定台（9）通过螺栓安装在测试基板（1）上。

5.根据权利要求4所述cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，所述环形套（53）通过转轴（54）与固定台（9）转动连接，所述转轴（54）连接至转动组件。

6.根据权利要求2所述cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，所述测试针（8）至少包括两组。

7.根据权利要求5所述cp测试探针台探卡测试打点装置，其特征在于，所述转动组件包括舵机。