一种精密测试探针的制作方法

本技术涉及测试，具体涉及一种精密测试探针。

背景技术：

1、精密测试探针就把宏观测试系统缩小到微米甚至纳米尺度，却仍保持原系统精度与可靠性的微型桥梁，广泛应用于半导体、新能源、生物医学、材料科学等高端制造与科研场景。然而，由于精密测试探针体积小，给生产制备探针增加了难度，如何简化精密测试探针的结构，降低生产制造探针的难度，仍是目前要解决的技术问题。

技术实现思路

1、为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种精密测试探针，结构简单，能降低生产制造探针的难度。

2、为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是一种精密测试探针，包括套管，所述套管为柱状结构，所述套管的上端和下端直径相等，在所述套管的轴向方向设置有容纳腔，所述容纳腔内依次设置针头、弹簧和连接线；

3、在所述套管上设置有凹凸部，所述凹凸部包括凹陷部和凸起部，在所述套管的外表面上形成向套管中心线方向凹陷的凹陷部，同时，在所述容纳腔内，所述套管的内壁上形成了向套管中心线的方向凸起的凸起部；

4、所述凹凸部包括第一凹凸部，第一凹凸部设置于套管靠近下端的位置，并和所述弹簧的端部位置相适配。

5、通过设置第一凹凸部对弹簧进行限位限位作用，套管的下端不用收口设置，针管的首端和下端直径相等，更容易加工制造，减少了制备精密测试探针的难度；由于在容纳腔内，凸起部向中心轴方向凸起设置，连接线和凸起部在通过焊接连接的过程中，焊接更加容易，降低焊接的难度；凹陷部由于在套管外表面向内凹陷，套管外表面整体还是平滑的结构，在将精密测试探针安装在固定治具上时，探针更容易安装。因此，只需要在套管上设置凹凸部对弹簧进行限位，结构简单，生产制造更加容易。

6、进一步地，所述第一凹凸部设置两个，以套管中心轴为对称轴，分布在套管的两侧，所述第一凹凸部在所述套管周向方向的宽度小于套管周向长度的1/4。

7、进一步地，所述套管的外径为0.20mm~0.30mm，内径为0.15~0.25mm。

8、进一步地，所述针头包括连接件，所述连接件位于所述套管的上端，用于和外部探针连接，在所述连接件的端部，设置沿套管轴向方向凹陷的定位槽，所述针头和外部探针连接时，外部探针能容纳于所述定位槽内。

9、进一步地，所述针头包括第一传导件，所述第一传导件位于针头的另一端，和位于容纳腔内的弹簧连接；在所述第一传导件和所述连接件之间，设置第二传导件，所述第二传导件为柱状结构，直径小于所述第一传导件的直径，在所述第一传导件和所述第二传导件连接处形成台阶。

10、进一步地，所述凹凸部包括第二凹凸部，所述第二凹凸部靠近套管的上端设置，并且和所述台阶的位置相适配。

11、进一步地，所述第二传导件的长度和所述针头长度的比值为1/3~2/3，所述弹簧的长度和所述套管的长度的比值为1/3~2/3。

12、进一步地，在所述第一传导件靠近所述弹簧的一端，设置导向件，所述弹簧的端部套设在所述导向件上。

13、进一步地，所述导向件为圆锥体，圆锥体的底部和所述第一传导件一体连接。

14、进一步地，所述导向件为柱状结构，所述连接件、所述第二传导件、所述第一传导件、所述导向件一体连接。

1.一种精密测试探针，其特征在于，包括套管（1），所述套管（1）为柱状结构，所述套管（1）的上端（11）和下端（12）直径相等，在所述套管（1）的轴向方向设置有容纳腔（13），所述容纳腔（13）内依次设置针头（2）、弹簧（3）和连接线（4）；

2.根据权利要求1所述的精密测试探针，其特征在于，所述第一凹凸部（51）设置两个，以套管（1）中心轴为对称轴，分布在套管（1）的两侧，所述第一凹凸部（51）在所述套管（1）周向方向的宽度小于套管（1）周向长度的1/4。

3.根据权利要求1所述的精密测试探针，其特征在于，所述套管（1）的外径为0.20mm~0.30mm，内径为0.15~0.25mm。

4.根据权利要求1所述的精密测试探针，其特征在于，所述针头（2）包括连接件（21），所述连接件（21）位于所述套管（1）的上端（11），用于和外部探针连接，在所述连接件（21）的端部，设置沿套管轴向方向凹陷的定位槽（211），所述针头（2）和外部探针连接时，外部探针能容纳于所述定位槽（211）内。

5.根据权利要求4所述的精密测试探针，其特征在于，所述针头（2）包括第一传导件（22），所述第一传导件（22）位于针头（2）的另一端，和位于容纳腔（13）内的弹簧（3）连接；在所述第一传导件（22）和所述连接件（21）之间，设置第二传导件（23），所述第二传导件（23）为柱状结构，直径小于所述第一传导件（22）的直径，在所述第一传导件（22）和所述第二传导件（23）连接处形成台阶。

6.根据权利要求5所述的精密测试探针，其特征在于，所述凹凸部（5）包括第二凹凸部（52），所述第二凹凸部（52）靠近套管（1）的上端（11）设置，并且和所述台阶的位置相适配。

7.根据权利要求5所述的精密测试探针，其特征在于，所述第二传导件（23）的长度和所述针头（2）长度的比值为1/3~2/3，所述弹簧（3）的长度和所述套管（1）的长度的比值为1/3~2/3。

8.根据权利要求5所述的精密测试探针，其特征在于，在所述第一传导件（22）靠近所述弹簧（3）的一端，设置导向件（24），所述弹簧（3）的端部套设在所述导向件（24）上。

9.根据权利要求8所述的精密测试探针，其特征在于，所述导向件（24）为圆锥体，圆锥体的底部和所述第一传导件（22）一体连接。

10.根据权利要求8所述的精密测试探针，其特征在于，所述导向件（24）为柱状结构，所述连接件（21）、所述第二传导件（23）、所述第一传导件（22）、所述导向件（24）一体连接。