检查装置的制作方法

本技术涉及一种检查装置。

背景技术：

1、以往，提出了检查圆偏振板有无缺陷的检查装置。例如，若以专利文献1所公开的检查装置的一个实施方式为例，则向作为检查对象的圆偏振板照射光，使其透过光被反射构件正反射而返回到圆偏振板。此时，在圆偏振板的正常部中，由反射构件反射的光无法透过圆偏振板，但若圆偏振板存在缺陷，则在该缺陷部中偏振状态被扰乱，因此在由反射构件正反射的光中包含透过圆偏振板的成分。因此，当圆偏振板存在缺陷时，该缺陷在黑色的观察视野中以亮点的形式被观察到。

2、在该检查装置中，虽然能够进行大致的缺陷检测，但在应检测的缺陷为几nm等级的相位差的差异的情况下，容易遗漏该缺陷。但是，若为了弥补这一点而使用拍摄装置、解析装置，则检查装置变得大型化。在此，在专利文献2所公开的检查装置中，虽然结构比较简单，但是通过使偏振滤光片旋转而使偏振滤光片的光轴的方向与适于检查的方向一致，从而成功地提高了缺陷的检测精度。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2019－53057号公报

6、专利文献2：日本实用新型登记第3228809号公报

技术实现思路

1、实用新型要解决的课题

2、但是，在专利文献2的检查装置中，也存在因检查光所包含的扩散光的影响而难以视觉辨认缺陷的情况。因此，本实用新型的目的在于提供一种更高精度地检测缺陷的检查装置。

3、用于解决课题的手段

4、本实用新型提供一种检查装置，其用于以具备圆偏振板的膜状的被检查物为对象来检查圆偏振板有无缺陷，其中，所述检查装置具备：偏振滤光片；光源，其配置于偏振滤光片的一侧；旋转构件，其能够以偏振滤光片与光源排列的方向为轴线方向使偏振滤光片在其面内方向上旋转；滑动支援机构，其配置于偏振滤光片的另一侧，在检查时对使被检查物在与轴线方向大致正交的方向上沿其面内方向滑动进行支援；以及制作平行光的构件，其设置于偏振滤光片与滑动支援机构之间，从光源发出并透过了偏振滤光片的光中去除扩散光。

5、在使用该检查装置检查圆偏振板有无缺陷时，通过利用旋转构件使偏振滤光片旋转，能够使偏振滤光片的光轴的方向与适于检查的方向一致。然后，通过一边被滑动支援机构支援一边使被检查物滑动来进行检查。在此，在圆偏振板存在光学缺陷的情况下，在滑动的过程中该缺陷看起来被强调为残留图像。即使缺陷是几nm等级的相位差的差异，该被强调的残留图像也能够用肉眼充分判别，因此即使不使用特别的检测装置，也能够减少缺陷的遗漏。另外，光源发出的光通过制作平行光的构件去除扩散光，因此能够使光源的光从正面入射到被检查物，能够提高检查的精度。

6、优选的是，该检查装置在制作平行光的构件与滑动支援机构之间还具备对厚度方向的相位差进行补偿的相位差补偿板。在被检查物具备具有厚度方向的相位差的由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜等由于某种原因在观察视野内产生厚度方向的相位差的影响的情况下，如果检查装置具备相位差补偿板，则能够对观察视野内的倾斜方向的相位差进行补偿，能够在较大范围内正确地进行观察。

7、优选的是，该检查装置在制作平行光的构件与相位差补偿板之间还具备聚光透镜。如果检查装置在该位置具备聚光透镜，则能够抑制通过了制作平行光的构件的光扩散。

8、优选的是，该检查装置在偏振滤光片与光源之间还具备反射型偏振片。由此，能够提高光源发出的光的利用效率。

9、在该检查装置中，制作平行光的构件具有：内部空间，其供光源发出的光朝向被检查物通过；以及贯通孔，其将内部空间与制作平行光的构件的外部连通，将光源发出的光中的不朝向被检查物的光向外部引导。由此，扩散光的去除变得高效，能够使更整齐的平行光朝向被检查物。

10、优选的是，滑动支援机构具有：载置台，其以载置面与偏振滤光片的面大致平行的方式配置；以及引导件，其以在载置面上沿一个方向延伸的方式配置，载置台设置有窗部，该窗部使光源发出并透过了偏振滤光片的光通过。如果具有该载置台和引导件，则容易使被检查物沿一个方向滑动。

11、优选的是，滑动支援机构还具有可动板，该可动板的厚度部分能够与引导件抵接，并且该可动板能够在载置面上沿引导件的延伸方向滑动，可动板设置有窗部，该窗部使光源发出并透过偏振滤光片且通过了载置台的窗部的光通过。如果具有该可动板，则容易使被检查物沿着引导件滑动。

12、优选的是，在被检查物具备相对于圆偏振板贴合的具有相位差的剥离膜的情况下，偏振滤光片构成为在俯视时具有光轴的方向互不相同的两个区域。由此，能够进行如下检查步骤：在检查前操作旋转构件，找到能够利用偏振滤光片的一个区域的光轴与剥离膜的光轴的关系消除剥离膜的相位差的角度来固定偏振滤光片的角度，在检查时保持该角度不变地使用偏振滤光片的另一个区域进行检查。

13、圆偏振板可以具备由聚合性液晶化合物形成的相位差膜。由聚合性液晶化合物形成的相位差膜通常厚度比通过其他方法形成的相位差膜薄。即使是这样厚度薄的相位差膜所存在的由几nm左右的相位差值变化引起的颜色不均缺陷，根据本实用新型的检查装置，能够减少颜色不均缺陷的遗漏。

14、实用新型效果

15、根据本实用新型，能够提供一种结构比较简单并且能够减少缺陷的遗漏的检查装置。

1.一种检查装置，其用于以具备圆偏振板的膜状的被检查物为对象来检查所述圆偏振板有无缺陷，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的检查装置，其特征在于，