一种钢珠密封性测试工装的制作方法

本发明涉及半导体设备测试，具体涉及一种钢珠密封性测试工装。

背景技术：

1、在半导体设备装配生产过程中，阀体内部需要装配 2 颗钢珠实现气路密封，钢珠的密封性能直接决定阀体整体工作可靠性。现有技术缺少专用工装对阀体内部钢珠的密封性能开展检测，阀体装配完成后钢珠密封好坏难以快速验证；常规检测方式在各个通孔直接插入堵头，各个通孔处堵头没有压紧，测试过程中容易出现漏气现象，测试稳定性差，或者对各个堵头分别用不同工具进行压紧，整体性差，不利于快速完成阀体钢珠密封性能检测。因此，亟需一种新的技术方案解决以上至少一个技术问题。

技术实现思路

1、本发明目的是提供一种钢珠密封性测试工装，解决现有半导体阀体内部钢珠密封性能缺少专用检测工装、测试稳定性差的技术问题。

2、为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本发明所采用的技术方案是：1.一种钢珠密封性测试工装，其特征在于，包括框架、可移动插设于所述框架一侧的第一调节压紧组件、可移动插设于框架另一侧的第二调节压紧组件、插设于所述框架又一侧的气管接头，所述框架内可分离设置有阀体，所述阀体的外侧设置有多个堵头，所述第一调节压紧组件和第二调节压紧组件用于压紧对应的堵头，所述阀体内设置有气路，所述钢珠设置于所述气路，所述气管接头与所述气路连通。

3、作为优选的技术方案，所述第一调节压紧组件包括至少 1 个第一调节螺栓、设置于所述第一调节螺栓一端的第一压紧垫片，所述第一调节螺栓插设于所述框架上侧。

4、作为优选的技术方案，所述第二调节压紧组件包括至少 1 个第二调节螺栓、设置于所述第二调节螺栓一段的第二压紧垫片，所述第二调节螺栓插设于所述框架竖向一侧。

5、作为优选的技术方案，所述阀体上侧开设有第一上通孔、第二上通孔、第三上通孔和第四上通孔，所述第一上通孔至第四上通孔内分别插设有第一上密封堵头、第二上密封堵头、第三上密封堵头、第四上密封堵头，所述第一调节压紧组件用于压紧第一上密封堵头至第四上密封堵头。

6、作为优选的技术方案，所述阀体竖向两侧分别设置有第一侧通孔和第二侧通孔，所述第一侧通孔与所述第二侧通孔内分别设置有第一侧堵头和第二侧堵头，所述第二调节压紧组件用于压紧所述第一侧堵头，所述第二侧堵头与所述框架内侧相抵。

7、作为优选的技术方案，所述阀体底侧开设有底通孔，所述底通孔内设置有底密封堵头。

8、作为优选的技术方案，所述底密封堵头与所述框架内底侧之间设置有底垫片，所述底垫片上下两侧分别与所述底密封堵头和框架内底侧相抵。

9、作为优选的技术方案，所述框架竖向另一侧贯穿设置有供气管接头和其中 1 个钢珠通过的第一安装孔，所述气管接头插设于所述第一安装孔。

10、作为优选的技术方案，所述框架底侧贯穿设置有供另 1 个钢珠通过的第二安装孔。

11、本发明的有益效果是：

12、1）、本工装采用整体式框架结构，将压紧调节组件、气管接头全部集成在同一框架本体上，构成一体化工装单元，无需零散部件现场拼接，阀体放入框架内部即可实现堵头压紧密封和气路接口对接，装配步骤少，整体性强，阀体可分离放置在框架内部，第一调节压紧组件、第二调节压紧组件可以分别对阀体对应位置的堵头实施压紧固定，保证各个通孔位置密封可靠，气管接头接入气源后，能够对阀体内气路中两颗钢珠开展密封性检测，工装拆装方便，测试稳定性好；

13、2）、第一调节螺栓配合第一压紧垫片可以对阀体上侧各个上密封堵头均匀施压，第二调节螺栓配合第二压紧垫片压紧侧向堵头，压紧力可控，防止堵头松动造成漏气，保障测试精度；

14、3）、阀体第二侧堵头直接抵靠框架内侧，和第二调节压紧组件形成双向夹持，阀体在框架内部定位牢靠；

15、4）、底垫片设置在底密封堵头与框架底部之间，缓冲压力，改善底部密封效果；

16、5）、框架设置第一安装孔、第二安装孔，便于安装两颗待测钢珠；

17、6）、整体工装结构简单，整体性好，阀体取放便捷，适合半导体阀体钢珠密封性能快速批量检测。

1.一种钢珠密封性测试工装，其特征在于，包括框架、可移动插设于所述框架一侧的第一调节压紧组件、可移动插设于框架另一侧的第二调节压紧组件、插设于所述框架又一侧的气管接头，所述框架内可分离设置有阀体，所述阀体的外侧设置有多个堵头，所述第一调节压紧组件和第二调节压紧组件用于压紧对应的堵头，所述阀体内设置有气路，所述钢珠设置于所述气路，所述气管接头与所述气路连通。

2.根据权利要求 1 所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述第一调节压紧组件包括至少 1 个第一调节螺栓、设置于所述第一调节螺栓一端的第一压紧垫片，所述第一调节螺栓插设于所述框架上侧。

3.根据权利要求 2 所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述第二调节压紧组件包括至少 1 个第二调节螺栓、设置于所述第二调节螺栓一段的第二压紧垫片，所述第二调节螺栓插设于所述框架竖向一侧。

4.根据权利要求 1 所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述阀体上侧开设有第一上通孔、第二上通孔、第三上通孔和第四上通孔，所述第一上通孔至第四上通孔内分别插设有第一上密封堵头、第二上密封堵头、第三上密封堵头、第四上密封堵头，所述第一调节压紧组件用于压紧第一上密封堵头至第四上密封堵头。

5.根据权利要求 1 所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述阀体竖向两侧分别设置有第一侧通孔和第二侧通孔，所述第一侧通孔与所述第二侧通孔内分别设置有第一侧堵头和第二侧堵头，所述第二调节压紧组件用于压紧所述第一侧堵头，所述第二侧堵头与所述框架内侧相抵。

6.根据权利要求1所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述阀体底侧开设有底通孔，所述底通孔内设置有底密封堵头。

7.根据权利要求6所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述底密封堵头与所述框架内底侧之间设置有底垫片，所述底垫片上下两侧分别与所述底密封堵头和框架内底侧相抵。

8.根据权利要求 3 所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述框架竖向另一侧贯穿设置有供气管接头和其中 1 个钢珠通过的第一安装孔，所述气管接头插设于所述第一安装孔。

9.根据权利要求 8 所述的钢珠密封性测试工装，其特征在于，所述框架底侧贯穿设置有供另 1 个钢珠通过的第二安装孔。