方硅芯退火取放设备的制作方法

本技术涉及方硅芯加工，具体为方硅芯退火取放设备。

背景技术：

1、方硅芯退火是其制备过程中关键的后处理工艺，核心 目的是消除切割、 磨削等加工环节产生的机械应力，同时优化晶体结构与电学均匀性，为后续 在还原炉中作为 “籽晶 ” 承载多晶硅沉积提供稳定的物理与化学基础。

2、中国专利公开了一种方硅芯退火支撑工装，公开号为：cn217733355u， 尤其涉及包括置物架和位于置物架底部的支腿，置物架包括多个自下而上堆 叠的支撑框架，支撑框架包括两根平行放置的支撑杆，两个支撑杆之间设置 有横撑，每相邻两个支撑框架之间设置有支撑块，支撑块的上表面设置有定 位凸起，支撑块的下表面设置有与定位凸起的尺寸相匹配的插接孔，通过在 多层支撑框架之间增设支撑块，增加两个支撑框架的之间的间隔，避免上层 的支撑框架对下层支撑架上放置的方硅芯进行挤压，以此来避免方硅芯发生崩边或者表面磨损的问题，提升方硅芯的生产良率。

3、但是还是包括以下缺点：方硅芯在退火前，需要在轨道车上码垛；退火 之后，也需要将方硅芯从轨道车上取下，由于方硅芯较脆，磕碰后极易损坏， 目前的取放方式是人工一根一根的取放；存在的问题不仅是效率低下，而且 在退火后人工往下取时，需要待硅芯温度降到一定程序后才能进行，从而影 响后续已完成退火作业轨道车的存放。

4、为此，我们提出了方硅芯退火取放设备来解决这个问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供方硅芯退火取放设备，以解决上述背景技术 中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：方硅芯退火取放设备，

3、包括推车，所述推车顶面设置有取放机构和移动机构；

4、所述取放机构包括支撑组件与取放组件，支撑组件位于取放组件侧面；

5、支撑组件包括两个第一支撑板，两个所述第一支撑板顶面卡接分别设置 若干个第一竖板，若干个所述第一竖板底面分别与两个第一支撑板顶面通过 若干个螺栓固定安装，若干个所述第一竖板外表面分别滑动设置有若干个第 一移动板、若干个第二移动板，若干个所述第一移动板底面、若干个第二移 动板底面均固定安装有第一卡块，若干个所述第二移动板顶面分别贯通开设 有第一卡槽，若干个所述第一卡槽内壁分别与若干个第一卡块外表面卡接设 置，两个所述第一支撑板顶面分别贯通开设有第二卡槽，两个所述第二卡槽 内壁分别与若干个位于下方的第一卡块外表面卡接设置；

6、取放组件包括两个固定板，两个所述固定板侧面分别与推车侧面固定连 接，位于左侧的所述固定板侧面设置有第一转动杆，所述第一转动杆外表面 贯穿位于左侧的固定板侧面并延伸至位于右侧的固定板内部侧面，所述第一 转动杆右端面与位于右侧的固定板内部侧面通过轴承座转动连接，所述第一 转动杆前端面固定套设有转轴。

7、进一步改进在于，所述移动机构包括两个双头螺纹杆，所述推车顶面贯 通开设有两个第一通槽，两个所述第一通槽内壁分别与两个双头螺纹杆后端 面通过轴承座转动连接，两个所述双头螺纹杆外表面分别贯穿推车内部侧面 并延伸至推车侧面。

8、进一步改进在于，两个所述双头螺纹杆外表面分别螺纹套设有两个第一 滑块，四个所述第一滑块侧面分别与两个第一支撑板两侧面固定连接，两个 所述第一支撑板顶面分别与推车顶面接触设置，两个所述双头螺纹杆前端面 分别固定套设有第二锥齿轮。

9、进一步改进在于，所述第一转动杆外表面固定套设有两个第一锥齿轮， 两个所述第一锥齿轮侧面分别与两个第二锥齿轮侧面相互啮合，所述推车顶

10、面通过若干个螺栓固定安装有若干个第二支撑板，若干个所述第二支撑板顶 面分别卡接设置有若干个第二竖板。

11、进一步改进在于，若干个所述第二竖板顶面分别滑动设置有若干个第三 移动板、若干个第四移动板，若干个所述第三移动板底面、若干个第四移动 板底面均固定安装有第二卡块，若干个所述第四移动板顶面分别贯通开设有 第三卡槽。

12、进一步改进在于，若干个所述第三卡槽内壁分别与若干个第二卡块外表 面卡接设置，若干个所述第二支撑板顶面分别贯通开设有第四卡槽，若干个 所述第四卡槽内壁分别与若干个位于下方的第二卡块外表面卡接设置。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该方硅芯退火取放设备， 通过设置取放机构，通过转动第一转动杆进行带动第一锥齿轮与第二锥齿轮 进行啮合，从而带动两侧的第一支撑板进行移动，根据方硅芯的不同宽度尺 寸进行快速调节，从而便于快速拿取操作；

14、同时通过设置移动机构，通过设置多个第一移动板、第二移动板，从而 根据方硅芯的不同高度进行调整两侧间距，同时内部设置有第一卡块、第一 卡槽进行快速卡接安装，从而有效的进行定位，避免方硅芯上下侧受到挤压， 从而避免产生磨损。

1.方硅芯退火取放设备，包括推车（1），其特征在于：所述推车（1）顶 面设置有取放机构（2）和移动机构（3）；

2.根据权利要求 1 所述的方硅芯退火取放设备，其特征在于：所述移动 机构（3）包括两个双头螺纹杆（301），所述推车（1）顶面贯通开设有两个 第一通槽，两个所述第一通槽内壁分别与两个双头螺纹杆（301）后端面通过 轴承座转动连接，两个所述双头螺纹杆（301）外表面分别贯穿推车（1）内 部侧面并延伸至推车（1）侧面。

3.根据权利要求2 所述的方硅芯退火取放设备，其特征在于：两个所述 双头螺纹杆（301）外表面分别螺纹套设有两个第一滑块（302），四个所述第 一滑块（302）侧面分别与两个第一支撑板（201）两侧面固定连接，两个所 述第一支撑板（201）顶面分别与推车（1）顶面接触设置，两个所述双头螺 纹杆（301）前端面分别固定套设有第二锥齿轮（303）。

4.根据权利要求 3 所述的方硅芯退火取放设备，其特征在于：所述第一 转动杆（207）外表面固定套设有两个第一锥齿轮（304），两个所述第一锥齿 轮（304）侧面分别与两个第二锥齿轮（303）侧面相互啮合，所述推车（1） 顶面通过若干个螺栓固定安装有若干个第二支撑板（305），若干个所述第二 支撑板（305）顶面分别卡接设置有若干个第二竖板（306）。

5.根据权利要求 4 所述的方硅芯退火取放设备，其特征在于：若干个所 述第二竖板（306）顶面分别滑动设置有若干个第三移动板、若干个第四移动 板（307），若干个所述第三移动板底面、若干个第四移动板（307）底面均固 定安装有第二卡块，若干个所述第四移动板（307）顶面分别贯通开设有第三 卡槽。

6.根据权利要求 5 所述的方硅芯退火取放设备，其特征在于：若干个所 述第三卡槽内壁分别与若干个第二卡块外表面卡接设置，若干个所述第二支 撑板（305）顶面分别贯通开设有第四卡槽，若干个所述第四卡槽内壁分别与 若干个位于下方的第二卡块外表面卡接设置。