辅助装料装置及用于光子晶体生成的设备的制作方法

本申请涉及半导体生产辅助设备，特别是涉及一种辅助装料装置及用于光子晶体生成的设备。

背景技术：

1、在化合物半导体晶体材料生产过程中，通常需要将原料装入特定规格的石英管中，在高真空或受控气氛下进行晶体生长，能够减少杂质污染并适应材料的物理化学特性要求。

2、为将原料装入到石英管中，通常需要人工将石英管以一定高度好角度握持，另一人通过推杆工具将原料从石英管的管口推入；装料后的石英管重量较重，容易出现危险情况。

技术实现思路

1、基于此，本申请实施例提供了一种辅助装料装置及用于光子晶体生成的设备，能够对装料容器进行夹持支撑，降低了装料过程中的危险情况，提升了作业人员的安全性。

2、一方面，本申请实施例提供了一种辅助装料装置，适用于固定化合物半导体材料的装料容器，包括：

3、支撑立柱；

4、夹持部件，设于支撑立柱，且夹持部件至少可相对于支撑立柱转动；夹持部件设有夹持位，夹持位用于夹持装料容器；

5、夹持部件和支撑立柱中的至少一者设有限位结构，限位结构与夹持部件和支撑立柱中的另一者配合，以限定夹持部件的延伸方向与支撑立柱之间的夹角。

6、在一种实现方式中，限位结构包括多个，多个限位结构绕夹持部件相对于支撑立柱的转动方向间隔排布；相邻两个限位结构之间具有预设转动角度。

7、在一种实现方式中，支撑立柱上设有第一安装座，第一安装座与支撑立柱活动连接；

8、夹持部件设有第一转动座，第一转动座和第一安装座中的其中一者设有第一转轴，第一转动座和第一安装座中的另一者设有第一轴孔，第一转轴穿设于第一轴孔，并可在第一轴孔内绕自身轴线转动，第一转轴的轴线沿水平方向延伸，以使夹持部件相对于支撑立柱在竖直平面转动；

9、限位结构设于第一安装座和第一转动座中的至少一者。

10、在一种实现方式中，限位结构包括插销，插销至少可沿第一转轴的径向相对于第一转轴移动，插销沿第一转轴的径向与第一转轴配合，以限定夹持部件的延伸方向与支撑立柱之间的夹角。

11、在一种实现方式中，支撑立柱设有驱动部件，驱动部件的驱动方向与支撑立柱的延伸方向一致；

12、驱动部件与第一安装座传动连接，驱动部件驱动第一安装座沿支撑立柱的延伸方向相对于支撑立柱移动。

13、在一种实现方式中，驱动部件包括：

14、驱动件，驱动件设于支撑立柱；

15、传动件，传动件与驱动件连接，传动件沿支撑立柱的延伸方向延伸，第一安装座与传动件连接。

16、在一种实现方式中，传动件包括丝杠，第一安装座设有丝杠螺母，丝杠螺母与套设于丝杠，并与丝杠丝扣连接。

17、在一种实现方式中，支撑立柱设有第二安装座和第三安装座，第二安装座和第三安装座沿支撑立柱的延伸方向相对设置；驱动部件设于第二安装座和第三安装座。

18、在一种实现方式中，支撑立柱上设有导向结构，导向结构的延伸方向与支撑立柱的延伸方向一致；

19、第一安装座与导向结构滑动连接。

20、在一种实现方式中，夹持部件包括：

21、夹持基座，夹持位设于夹持基座，夹持基座与支撑立柱活动连接；

22、多个固定搭扣，沿夹持基座的延伸方向并排排布，每个固定搭扣的一端可转动地设于夹持基座，且固定搭扣位于夹持基座设有夹持位的一侧；固定搭扣的另一端用于与夹持基座配合，以固定位于夹持位的装料容器。

23、在一种实现方式中，夹持位包括设于夹持基座上的凹陷部，凹陷部的内壁与装料容器的外壁适配；

24、凹陷部的内壁设有防滑件，防滑件用于与装料容器的外壁抵接。

25、在一种实现方式中，沿夹持基座的延伸方向，凹陷部贯穿夹持基座的两端；

26、夹持部件还包括挡板，沿夹持基座的延伸方向，挡板设于夹持基座的其中一端，挡板用于与装料容器的端部抵接。

27、在一种实现方式中，辅助装料装置还包括：

28、底座，用于支撑于工作台面，底座设于支撑立柱长度方向的一端，底座至少具有沿第一方向的延伸部，第一方向与支撑立柱相交；

29、在夹持部件夹持装料容器的情况下，装料容器的重心沿支撑立柱的延伸方向在底座的投影位于延伸部。

30、另一方面，本申请实施例提供了一种用于光子晶体生成的设备，包括：

31、装料容器，呈筒状结构，用于容纳光子晶体生成的化合物半导体材料；

32、支撑立柱；

33、夹持部件，设于支撑立柱，且夹持部件可相对于支撑立柱转动；夹持部件设有夹持位，夹持位用于夹持装料容器；

34、夹持部件和支撑立柱中的至少一者设有限位结构，限位结构与夹持部件和支撑立柱中的另一者配合，以实现夹持部件上夹持支撑的装料容器的筒状结构中心轴线相对水平线倾斜设置。

35、在一种可选的实现方式中，夹持部件为悬臂结构，且夹持部件的主体为半敞开式的u形。

36、本申请实施例提供的辅助装料装置及用于光子晶体生成的设备，通过在支撑立柱上设置夹持部件，夹持部件至少可相对于支撑立柱转动，并且夹持部件上设置有夹持位；如此，在将物料向装料容器中装入的过程中，可以通过夹持部件的夹持位将装料容器夹持固定住，并通过支撑立柱将支撑部件支撑在一定高度，无需人工将装料容器托举在特定高度，降低了装料过程中的危险性。

37、另外，通过在夹持部件和支撑立柱中的至少一者设置限位结构，限位结构与夹持部件和支撑立柱中的另一者配合，限定夹持部件的延伸方向与支撑立柱之间的夹角。如此，可以通过限位结构将夹持部件限定在特定角度，便于向装料容器中装入物料。无需人工将装料容器保持在特定角度，降低了装料过程中的危险性。

1.一种辅助装料装置，适用于固定化合物半导体材料的装料容器(60)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的辅助装料装置，其特征在于，所述限位结构包括多个，多个所述限位结构绕所述夹持部件(20)相对于所述支撑立柱(10)的转动方向间隔排布；相邻两个所述限位结构之间具有预设转动角度。

3.根据权利要求2所述的辅助装料装置，其特征在于，所述支撑立柱(10)上设有第一安装座(11)，所述第一安装座(11)与所述支撑立柱(10)活动连接；

4.根据权利要求3所述的辅助装料装置，其特征在于，所述限位结构包括插销(111)，所述插销(111)至少可沿所述第一转轴的径向相对于所述第一转轴移动，所述插销(111)沿所述第一转轴的径向与所述第一转轴配合，以限定所述夹持部件(20)的延伸方向与所述支撑立柱(10)之间的夹角。

5.根据权利要求3所述的辅助装料装置，其特征在于，所述支撑立柱(10)设有驱动部件(30)，所述驱动部件(30)的驱动方向与所述支撑立柱(10)的延伸方向一致；

6.根据权利要求5所述的辅助装料装置，其特征在于，所述驱动部件(30)包括：

7.根据权利要求6所述的辅助装料装置，其特征在于，所述传动件(32)包括丝杠，所述第一安装座(11)设有丝杠螺母，所述丝杠螺母与套设于所述丝杠，并与所述丝杠丝扣连接。

8.根据权利要求6所述的辅助装料装置，其特征在于，所述支撑立柱(10)设有第二安装座(12)和第三安装座(13)，所述第二安装座(12)和所述第三安装座(13)沿所述支撑立柱(10)的延伸方向相对设置；所述驱动部件(30)设于所述第二安装座(12)和所述第三安装座(13)。

9.根据权利要求5所述的辅助装料装置，其特征在于，所述支撑立柱(10)上设有导向结构(14)，所述导向结构(14)的延伸方向与所述支撑立柱(10)的延伸方向一致；

10.根据权利要求1-9任一项所述的辅助装料装置，其特征在于，所述夹持部件(20)包括：

11.根据权利要求10所述的辅助装料装置，其特征在于，所述夹持位(21)包括设于所述夹持基座(23)上的凹陷部(211)，所述凹陷部(211)的内壁与所述装料容器(60)的外壁适配；

12.根据权利要求11所述的辅助装料装置，其特征在于，沿所述夹持基座(23)的延伸方向，所述凹陷部(211)贯穿所述夹持基座(23)的两端；

13.根据权利要求1-9任一项所述的辅助装料装置，其特征在于，所述辅助装料装置还包括：

14.一种用于光子晶体生成的设备，其特征在于，包括：

15.根据权利要求14所述的设备，其特征在于，所述夹持部件(20)为悬臂结构，且所述夹持部件(20)的主体为半敞开式的u形。