一种单晶主加热器用脚板的制作方法

本技术涉及单晶炉，尤其是涉及一种单晶主加热器用脚板。

背景技术：

1、单晶炉石墨加热器脚板起支撑石墨发热区作用，脚板的发热往往被忽视。由于加热器脚板电阻与发热区电阻差异大，造成发热区与脚板在高温下变形量不一致造成发热区开裂，同时由于加热器脚板宽度较大，与单晶炉保温桶间距小，复投期间容易因溅硅及硅粉造成加热器脚板与保温筒打火的问题。

技术实现思路

1、本实用新型为解决上述技术问题，提供了一种单晶主加热器用脚板，将加热器脚板由串联改为并联，减小加热器脚板与发热区电阻差异，同时增大脚板与保温筒间的气流流动空间，减少加热器脚板与保温筒间的打火。

2、本实用新型采用的技术方案是：

3、一种单晶主加热器用脚板，包括：

4、连接板，其一端与主加热器连接，所述连接板上设置有气体流动开口；

5、固定板，设置在所述连接板的另一端一侧，当所述固定板与所述连接板连接后形成l形结构；

6、其中，当脚板上设置有所述气体流动开口后，所述脚板与主加热器并联。

7、可选地，所述连接板与所述固定板为一体成型结构。

8、可选地，所述连接板的厚度小于所述固定板的厚度。

9、可选地，所述气体流动开口从所述连接板的底部朝向所述连接板的顶部延伸。

10、可选地，所述连接板与主加热器连接处设置有连接开口，所述连接开口的开口尺寸与主加热器的厚度相匹配，所述连接开口设置有位于所述气体流动开口的上方。

11、可选地，所述固定板上设有与所述气体流动开口连通的辅助开口。

12、可选地，所述气体流动开口和所述辅助开口的转角处均设置有倒圆角。

13、可选地，所述连接板朝向坩埚的一侧为弧面结构。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

15、将加热器脚板由串联改为并联，减小加热器脚板与发热区电阻差异，同时增大脚板与保温筒间的气流流动空间，减少加热器脚板与保温筒间的打火。

1.一种单晶主加热器用脚板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述连接板与所述固定板为一体成型结构。

3.根据权利要求1或2所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述连接板的厚度小于所述固定板的厚度。

4.根据权利要求1所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述气体流动开口从所述连接板的底部朝向所述连接板的顶部延伸。

5.根据权利要求1或4所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述连接板与主加热器连接处设置有连接开口，所述连接开口的开口尺寸与主加热器的厚度相匹配，所述连接开口设置有位于所述气体流动开口的上方。

6.根据权利要求1所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述固定板上设有与所述气体流动开口连通的辅助开口。

7.根据权利要求6所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述气体流动开口和所述辅助开口的转角处均设置有倒圆角。

8.根据权利要求1所述的单晶主加热器用脚板，其特征在于，所述连接板朝向坩埚的一侧为弧面结构。