压电泵和电子设备的制作方法

本申请涉及压电泵，更具体地，涉及一种压电泵和电子设备。

背景技术：

1、现有压电泵通常依靠压电振子振动改变腔体容积，配合单向阀实现流体输送。然而，现有压电泵的振板通常通过独立设置的支撑连接层与壳体连接，导致结构层级增多，进而造成装配复杂、内部空间利用率低的问题。而且受限于振板的连接结构和支撑方式，压电陶瓷的有效振动区域面积与泵体整体体积之间存在固有矛盾，即在有限的泵体空间内难以同时兼顾振动区域的最大化配置与泵送能力的有效提升。

技术实现思路

1、本申请提供一种压电泵的新技术方案，至少能够解决现有压电泵因设置独立支撑连接层而导致的结构层级多的问题。

2、本申请还提供了一种电子设备的新技术方案。

3、根据本申请的第一方面，提供了一种压电泵，包括：盖板，所述盖板设有出气口；底座，所述底座设有进气口，所述盖板与所述底座围合形成容置腔，所述出气口与所述进气口均与所述容置腔连通；振动组件，所述振动组件包括振板和弹片，所述振板的第一侧朝向所述底座，所述振板的第一侧设有环形槽，所述环形槽内设有第一通孔，所述弹片设于所述振板的第一侧，所述弹片设有第二通孔；所述振板位于所述环形槽外轮廓之外的区域形成固定区，所述弹片与所述振板夹设固定在所述盖板与所述底座之间；所述振板位于所述环形槽内轮廓的之内的区域形成凸起部，所述凸起部与所述弹片之间存在间隙。

4、可选地，所述振动组件还包括：压电陶瓷，所述压电陶瓷设于所述振板的第二侧，所述第一通孔位于所述压电陶瓷的外轮廓之外。

5、可选地，所述环形槽内设有多个第一通孔，多个所述第一通孔环形阵列于所述压电陶瓷外周。

6、可选地，所述环形槽的深度为所述振板厚度的10%~40%。

7、可选地，所述第一通孔的孔径为所述振板直径的2%~10%。

8、可选地，所述压电泵还包括：柔性电路板和垫圈，所述柔性电路板与所述垫圈被夹设固定于所述盖板与所述振板之间；所述垫圈位于所述振板与所述柔性电路板之间，所述柔性电路板与所述压电陶瓷电连接。

9、可选地，所述固定区的侧壁设有伸出部，所述伸出部与所述压电陶瓷靠近所述振板的一侧电连接，所述柔性电路板与所述压电陶瓷背离所述振板的一侧电连接。

10、可选地，所述压电陶瓷靠近所述振板的一侧设有第一电极和第二电极，所述压电泵还包括：柔性电路板，所述柔性电路板被夹设固定于所述压电陶瓷与所述振板之间，所述第一电极和所述第二电极分别与所述柔性电路板电连接。

11、可选地，所述柔性电路板粘接固定在所述压电陶瓷与所述振板之间。

12、可选地，所述弹片粘接在所述固定区与所述底座之间；和/或，所述凸起部与所述弹片之间的距离为5μm-20μm。

13、根据本申请的第二方面，提供了一种电子设备，包括上述任一项所述的压电泵。

14、根据本申请的压电泵，通过在振板开设环形槽，将振板一体式划分出固定区与振动区，振板借助自身固定区与弹片一同被夹紧装配于底座和盖板之间，无需额外增设连接层，可以简化整体结构层级，从而释放压电泵内部装配空间，在满足同等泵送流量、压力性能的前提下，能够缩减压电泵整体外形体积，实现小型化设计，同时保障充足的泵送能力。此外，振板在工作频率下可形成类边缘固支振动模态，该振动模态为无节圆模态，振动能量集中于振动区，减少了边界处的能量损耗，提升整体振动响应效率，使得作用腔压力变化更剧烈且可控，能够有效提升整体泵送效率。

15、通过以下参照附图对本申请的示例性实施例的详细描述，本申请的其它特征及其优点将会变得清楚。

1.一种压电泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，所述振动组件（30）还包括：

3.根据权利要求2所述的压电泵，其特征在于，所述环形槽（311）内设有多个第一通孔（312），多个所述第一通孔（312）环形阵列于所述压电陶瓷（33）外周。

4.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，所述环形槽（311）的深度为所述振板（31）厚度的10%~40%。

5.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，所述第一通孔（312）的孔径为所述振板（31）直径的2%~10%。

6.根据权利要求2所述的压电泵，其特征在于，所述压电泵还包括：

7.根据权利要求6所述的压电泵，其特征在于，所述固定区的侧壁设有伸出部（313），所述伸出部（313）与所述压电陶瓷（33）靠近所述振板（31）的一侧电连接，所述柔性电路板（40）与所述压电陶瓷（33）背离所述振板（31）的一侧电连接。

8.根据权利要求2所述的压电泵，其特征在于，所述压电陶瓷（33）靠近所述振板（31）的一侧设有第一电极（331）和第二电极（332），所述压电泵还包括：

9.根据权利要求8所述的压电泵，其特征在于，所述柔性电路板（40）粘接固定在所述压电陶瓷（33）与所述振板（31）之间。

10.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于，所述弹片（32）粘接在所述固定区与所述底座（20）之间；和/或，所述凸起部与所述弹片（32）之间的距离为5μm-20μm。

11.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1-10任一项所述的压电泵。