湿制程加工设备及其磁吸夹具的推动结构的制作方法

本发明与湿制程中用于让磁吸夹具启闭的结构有关，特别是指一种湿制程加工设备及其磁吸夹具的推动结构。

背景技术：

1、关于对立式的基板进行湿制程加工的湿制程加工设备，通常是将待加工的基板通过磁吸夹具夹持而直立吊挂，以利于对吊挂后的基板朝一预定输送路径输送，并于输送路径上对基板进行湿制程加工。

2、然而，磁吸夹具主要是在其夹持端设置磁铁，以利用磁铁能彼此磁性吸附的原理，让原本处于全开状态的夹持端能因为二个磁铁异磁性相吸而瞬间夹合成闭合状态，从全开直接到夹合的夹持动能偏大，对于较为脆弱的基板而言，例如玻璃基板，就会造成基板被夹裂或被夹碎的情形，早为人所诟病已久，更何况磁吸夹具所夹持的位置又是基板较为脆弱的边缘部分，所以更易于被夹裂或被夹碎。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种湿制程加工设备及其磁吸夹具的推动结构，主要在于能让磁吸夹具的夹持分两阶段进行，以减弱磁吸夹具的夹持动能，达成避免夹裂或夹碎基板的效果。

2、为了达成上述目的，本发明提供一种磁吸夹具的推动结构，用以被一对驱动单元驱动而操控至少一磁吸夹具启闭，所述磁吸夹具具有一磁吸夹持端和一另端，该推动结构包括：一对基座，连接且被各所述驱动单元驱动而彼此相对移动，每一该基座具有对应所述至少一磁吸夹具配置的至少一设置部位；以及一对凸块组件，分别设置于该对基座，每一该凸块组件包含至少一第一凸块和至少一第二凸块，各该至少一第一凸块对应所述磁吸夹具的所述磁吸夹持端凸设于各该基座的该设置部位，各该至少一第二凸块对应所述磁吸夹具的所述另端凸设于各该基座的该设置部位；其中，各所述驱动单元驱动各该基座带着各该凸块组件一起移动，各该凸块组件的该第一凸块推动所述磁吸夹持端进行夹合并相对使所述另端能从一闭合位置张开至一全开位置，各该凸块组件的该第二凸块则在所述闭合位置与所述全开位置之间挡止住所述另端。

3、可选地，所述设置部位设置为复数而包含有至少一奇数部位和至少一偶数部位，各所述凸块组件凸设在各所述基座的所述奇数部位或所述偶数部位。

4、可选地，还包含有二个定位组件，每一所述定位组件包含二个定位件，各所述定位组件的二个所述定位件经由彼此靠近移动而相对合围。

5、可选地，每一所述定位组件的各所述定位件具有彼此相对的一叉口部，各所述定位件的所述叉口部经由彼此交错而合围。

6、本发明另提供一种湿制程加工设备，配置有多个驱动单元，所述湿制程加工设备包括：一载具，包含一框架、一上横杆和一下横杆，该上横杆和该下横杆跨接于该框架内且均设置有至少一磁吸夹具，每一该磁吸夹具具有一磁吸夹持端和一另端；以及二个推动结构，分别对应该上横杆和该下横杆配置，每一该推动结构包含：一对基座，连接所述驱动单元且被所述驱动单元驱动而彼此相对移动，每一该基座具有对应该至少一磁吸夹具配置的至少一设置部位；和一对凸块组件，分别设置于该对基座，每一该凸块组件包含至少一第一凸块和至少一第二凸块，各该至少一第一凸块对应该磁吸夹具的该磁吸夹持端凸设于各该基座的该设置部位，各该至少一第二凸块对应该磁吸夹具的该另端凸设于各该基座的该设置部位；其中，各所述驱动单元驱动各该基座带着各该凸块组件一起移动，各该凸块组件的该第一凸块推动该磁吸夹持端进行夹合并相对使该另端能从一闭合位置张开至一全开位置，各该凸块组件的该第二凸块则在该闭合位置与该全开位置之间挡止住该另端。

7、可选地，所述磁吸夹具设置为复数，所述设置部位亦设置为复数而包含有至少一奇数部位和至少一偶数部位，各所述凸块组件凸设在各所述基座的所述奇数部位或所述偶数部位。

8、可选地，对应于所述下横杆的所述推动结构还包含有二个定位组件，所述下横杆的两端被悬吊在所述框架内，且所述下横杆具有邻近所述两端的二个定位段，每一所述定位组件包含二个定位件，各所述定位组件的二个所述定位件经由彼此靠近移动而相对束住各所述定位段。

9、可选地，每一所述定位组件的各所述定位件具有彼此相对的一叉口部，各所述定位件的所述叉口部经由彼此交错而合围并束住所述下横杆的所述定位段。

10、可选地，每一所述推动结构还包含多个平移单元，各所述平移单元带动各所述定位件平移。

11、相较于先前技术，本发明具有以下功效：借由让磁吸夹具的夹持分两阶段进行，第一阶段先控制磁吸夹具处于半开半夹状态，第二阶段再控制磁吸夹具从半开半夹状态开始进行对基板的夹持，如此就能减弱磁吸夹具的夹持动能，达成避免夹裂或夹碎基板的效果。

1. 一种磁吸夹具的推动结构，用以被一对驱动单元驱动而操控至少一磁吸夹具启闭，所述磁吸夹具具有一磁吸夹持端和一另端，其特征在于，所述推动结构包括：

2.如权利要求1所述的磁吸夹具的推动结构，其特征在于，所述设置部位设置为复数而包含有至少一奇数部位和至少一偶数部位，各所述凸块组件凸设在各所述基座的所述奇数部位或所述偶数部位。

3.如权利要求1所述的磁吸夹具的推动结构，其特征在于，还包含有二个定位组件，每一所述定位组件包含二个定位件，各所述定位组件的二个所述定位件经由彼此靠近移动而相对合围。

4.如权利要求3所述的磁吸夹具的推动结构，其特征在于，每一所述定位组件的各所述定位件具有彼此相对的一叉口部，各所述定位件的所述叉口部经由彼此交错而合围。

5. 一种湿制程加工设备，配置有多个驱动单元，其特征在于，所述湿制程加工设备包括：

6.如权利要求5所述的湿制程加工设备，其特征在于，所述磁吸夹具设置为复数，所述设置部位亦设置为复数而包含有至少一奇数部位和至少一偶数部位，各所述凸块组件凸设在各所述基座的所述奇数部位或所述偶数部位。

7.如权利要求5所述的湿制程加工设备，其特征在于，对应于所述下横杆的所述推动结构还包含有二个定位组件，所述下横杆的两端被悬吊在所述框架内，且所述下横杆具有邻近所述两端的二个定位段，每一所述定位组件包含二个定位件，各所述定位组件的二个所述定位件经由彼此靠近移动而相对束住各所述定位段。

8.如权利要求7所述的湿制程加工设备，其特征在于，每一所述定位组件的各所述定位件具有彼此相对的一叉口部，各所述定位件的所述叉口部经由彼此交错而合围并束住所述下横杆的所述定位段。

9.如权利要求7所述的湿制程加工设备，其特征在于，每一所述推动结构还包含多个平移单元，各所述平移单元带动各所述定位件平移。