用于测量设备的浮动装置的制作方法

本技术涉及精密测量与定位，尤其涉及用于测量设备的浮动装置。

背景技术：

1、在精密测量、半导体检测、光学对位及微型元器件装配等领域，常常需要将工件或探针在三维空间内进行精密的定位与微动调整。为了满足这一需求，现有技术中多采用组合多个直线模组或精密滑台的方式来实现xyz三轴运动。然而，这类方案普遍存在以下缺陷：多个独立运动单元的串联叠加，导致装置整体体积庞大、高度增加，难以集成到对安装空间有严格要求的小型设备或紧凑型治具中。为实现三个自由度的完整运动控制，往往需要为每个方向配备单独的驱动和精密导向系统，结构复杂，制造成本和维护成本较高。使用普通滑动导轨或部分滚珠导轨时，在微小位移区间存在较大的静摩擦力或“爬行”现象，导致装置的浮动不够灵敏顺滑，难以实现高精度的自适应微调。多数精密定位装置不具备自动中心复位能力，当外力导致位置偏移后，需借助额外的传感器或手动操作才能恢复初始状态，不适用于需要频繁、快速复位的自动化应用场景。因此，需要一种结构精巧、浮动阻力小、能自动复位且成本可控的三向精密浮动装置。

技术实现思路

1、为克服上述缺点，本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、浮动灵敏、具备良好自动复位能力的用于测量设备的浮动装置，以同时满足x、y、z三个方向的精密微动调整需求。

2、本实用新型中的一种用于测量设备的浮动装置，所述浮动装置包括：

3、底座；

4、第一方向移动组件，设置于所述底座上，包括与底座通过第一滑轨组滑动连接的第一浮动板，所述第一浮动板与底座之间设有第一浮动组件；

5、第二方向移动组件，设置于所述第一方向移动组件之上，包括与第一浮动板通过第二滑轨组滑动连接的第二浮动板，所述第二浮动板与第一浮动板之间设有第二浮动组件，其中，所述第一滑轨组与第二滑轨组的滑动方向相互垂直；

6、第三方向移动组件，设置于所述第二浮动板上，包括固定板、滑轨安装板、竖直设置的滑轨以及与滑轨滑动配合的滑块，所述第三方向移动组件还包括可沿第三方向浮动的第三浮动组件，所述第三浮动组件和所述滑块用于放置待测工件或治具。

7、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第一浮动组件包括沿第一方向固定设置于底座侧部的第一限位块，所述第一限位块的上部沿第一方向开设有通孔，所述通孔内固定设有第一限位杆，所述第一限位杆的两端均设有第一挡块，所述第一挡块安装于所述第一浮动板的侧部。

8、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第二浮动组件包括沿第二方向固定设置于第二浮动板侧部的第二限位块，所述第二限位块的上部沿第二方向开设有通孔，所述通孔内固定设有第二限位杆，所述第二限位杆的两端均设有第二挡块，所述第二挡块安装于所述第一浮动板的侧部。

9、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第三浮动组件包括连接块、滑杆、调节块、缓冲件、调节螺栓以及固定块，其中，所述滑杆沿第三方向固定设置于所述第二浮动板上，所述调节块滑动设置于所述滑杆上；

10、所述固定块固定于所述滑轨安装板上，所述调节螺栓沿第三方向设置，其一端与所述固定块连接，另一端与所述连接块连接；

11、所述连接块滑动设置于所述滑杆上，且位于所述调节块的下方；

12、所述缓冲件套设于所述滑杆上，并位于所述调节块与所述连接块之间。

13、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述滑杆、调节块、缓冲件和调节螺栓均设有两组，分别安装于所述滑轨安装板的两侧。

14、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第一滑轨组和第二滑轨组均设有至少两组，所述第一滑轨组和第二滑轨组是型号为e-crv3075的交叉滚子滑轨。

15、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第一限位杆的两端均设有弹簧，所述弹簧可与两侧第一挡块抵接。

16、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第二限位杆的两侧均设有弹簧，所述弹簧可与两侧第二挡块抵接。

17、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述第一方向移动组件沿第一方向滑动，所述第二方向移动组件沿垂直于第一方向的第二方向滑动，所述第三方向移动组件沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向滑动。

18、本实用新型的有益效果是：本实用新型通过层叠式设计集成xyz三向浮动机构，极大节省了安装空间，特别适用于小型设备；xy方向采用摩擦系数极低的交叉滚子滑轨，响应迅速，运动平稳，无爬行现象，适合高精度微量调整；交叉滚子滑轨提供高刚性，第三方向z通过滑轨导向及对称的缓冲机构，确保了浮动过程的稳定性和直线度。

19、本实用新型中三个运动方向均设置有独立的弹簧复位机构，外力撤消后装置可自动恢复至中心初始位置，操作简便。第三方向z可通过调节螺栓进行初始高度微调，并通过第三浮动组件提供额外的弹性浮动与缓冲，适应性更强。

1.一种用于测量设备的浮动装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第一浮动组件包括沿第一方向固定设置于底座（100）侧部的第一限位块（203），所述第一限位块（203）的上部沿第一方向开设有通孔，所述通孔内固定设有第一限位杆（204），所述第一限位杆（204）的两端均设有第一挡块（205），所述第一挡块（205）安装于所述第一浮动板（201）的侧部。

3.根据权利要求1所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第二浮动组件包括沿第二方向固定设置于第二浮动板（301）侧部的第二限位块（303），所述第二限位块（303）的上部沿第二方向开设有通孔，所述通孔内固定设有第二限位杆（304），所述第二限位杆（304）的两端均设有第二挡块（305），所述第二挡块（305）安装于所述第一浮动板（201）的侧部。

4.根据权利要求1所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第三浮动组件包括连接块（405）、滑杆（406）、调节块（407）、缓冲件（408）、调节螺栓（409）以及固定块（410），其中，所述滑杆（406）沿第三方向固定设置于所述第二浮动板（301）上，所述调节块（407）滑动设置于所述滑杆（406）上；

5.根据权利要求4所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述滑杆（406）、调节块（407）、缓冲件（408）和调节螺栓（409）均设有两组，分别安装于所述滑轨安装板（402）的两侧。

6.根据权利要求4所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第一滑轨组（202）和第二滑轨组（302）均设有至少两组，所述第一滑轨组（202）和第二滑轨组（302）是型号为e-crv3075的交叉滚子滑轨。

7.根据权利要求2所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第一限位杆（204）的两端均设有弹簧，所述弹簧可与两侧第一挡块（205）抵接。

8.根据权利要求3所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第二限位杆（304）的两侧均设有弹簧，所述弹簧可与两侧第二挡块（305）抵接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述用于测量设备的浮动装置，其特征在于，所述第一方向移动组件（200）沿第一方向（x）滑动，所述第二方向移动组件（300）沿垂直于第一方向（x）的第二方向（y）滑动，所述第三方向移动组件（400）沿垂直于第一方向（x）和第二方向（y）的第三方向（z）滑动。