一种载具及镀膜设备的制作方法

本申请涉及半导体制备，具体涉及一种载具及镀膜设备。

背景技术：

1、在对电池片进行边缘钝化的应用中，先将电池片整体钝化后，将电池片切割，然后再对电池片切割侧的单侧边缘进行钝化，通常利用特定载具将堆叠好的电池片放入反应区域整体镀膜，以在电池片的侧边缘形成镀膜，其中，载具对该应用的影响非常大。

2、由于现有的载具仅能够对电池片的单个切割面进行钝化，效率较低，并且，容易产生绕镀和粘片的问题。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种载具及镀膜设备，通过该载具承载电池片，在镀膜设备内能够对电池片的周向各侧的侧壁进行镀膜钝化，提升电池片的镀膜效率，进而提升生产效率，并且还能够有效改善绕镀和粘片的问题。

2、为解决上述技术问题，本申请提供一种载具，包括第一压板、第二压板和连接部，所述连接部连接于所述第一压板和所述第二压板之间，所述第一压板和所述第二压板之间形成容纳区，所述容纳区用于容纳叠片组件，且所述第一压板和所述第二压板能够分别贴合于所述叠片组件两端的电池片；所述容纳区的周侧环绕有气流空间，所述气流空间用于流通反应气体。

3、可选地，所述连接部包括沿所述容纳区周向设置的连接壁，所述连接壁在所述第一压板和所述第二压板之间围合形成容纳腔，所述连接壁的至少一侧呈敞口结构，所述容纳区位于所述容纳腔内，且所述连接壁与所述容纳区之间设有预设间隙以形成所述气流空间。

4、可选地，所述预设间隙在1mm-20mm范围内。

5、可选地，所述第一压板朝向所述容纳区的一侧壁以及所述第二压板朝向所述容纳区的一侧壁，还分别设有隔热层。

6、可选地，所述隔热层是与所述第一压板或所述第二压板连接的垫板，所述垫板为氧化铝陶瓷板、氧化锆陶瓷板、石英玻璃板、聚酰亚胺板、四氟板、气凝胶板或耐火陶瓷纤维板中的一种。

7、可选地，所述隔热层与所述第一压板一体成型；

8、和/或，所述隔热层与所述第二压板一体成型。

9、可选地，所述第一压板朝向所述容纳区的一侧壁设有隔热涂层，所述隔热涂层形成所述隔热层；

10、和/或，第二压板朝向所述容纳区的一侧壁设有隔热涂层，所述隔热涂层形成所述隔热层。

11、可选地，所述第一压板朝向所述容纳区的一侧沿所述容纳区的周向还设有环形凸起部，和/或，所述第二压板朝向所述容纳区的一侧沿所述容纳区的周向还设有环形凸起部。

12、可选地，所述第一压板和所述第二压板中，至少一者还连接有压接板，所述压接板与所述第一压板或所述第二压板之间连接有弹性件。

13、可选地，所述弹性件内套设有导杆，所述导杆的一端与所述压接板连接，所述导杆的另一端穿设于所述第一压板或第二压板，并可相对于所述第一压板或第二压板沿所述导杆的轴向移动。

14、可选地，所述连接部和所述第一压板固定或一体成型。

15、可选地，所述第一压板相对设置的两个侧边分别设有第一限位件和限位弹簧，所述连接部对应设有与所述第一限位件相适配的第二限位件，所述第一限位件能够在所述限位弹簧的作用下与所述第二限位件限位配合，以限制所述第一压板与所述连接部脱离。

16、可选地，所述第二限位件为设于所述连接部的限位柱，所述限位柱设有卡槽，所述第一压板设有与所述限位柱卡接配合的配合口，所述第一限位件能够在所述限位弹簧的作用下移动至与所述卡槽卡接配合。

17、可选地，所述限位柱由所述配合口伸出所述第一压板远离所述连接部的一侧；所述连接部朝向所述第二压板的一侧端还设有与所述限位柱相适配的导向槽，或者，所述第二压板设有与所述限位柱相适配的导向槽。

18、可选地，所述第一限位件与所述第一压板之间还连接有转轴，所述第一限位件的一端与所述限位弹簧连接、所述第一限位件的另一端能够与所述第二限位件限位卡接，所述第一限位件能够在所述限位弹簧的作用下相对于所述第一压板绕所述转轴转动至与所述第二限位件限位卡接。

19、可选地，所述第一压板远离所述容纳区的一侧沿周向还设有挡板，所述挡板设有台阶结构，所述台阶结构的台阶面用于支撑位于上方的所述载具。

20、可选地，所述台阶结构的立面以及所述第二压板的周侧壁中，至少一者设有导向面。

21、可选地，所述第一压板还设有第一定位件，所述第二压板还设有第二定位件，所述第一定位件用于与相邻所述载具的第二压板的第二定位件定位配合。

22、本申请还提供了一种镀膜设备，包括设有反应腔室的壳体以及如上所述的载具，所述载具设于所述反应腔室内。

23、本申请所提供的载具及镀膜设备，相较于现有技术来说，具有如下技术效果：

24、用于放置叠片组件的放置区的周侧环绕有气流空间，气流空间用于流通反应气体，镀膜钝化过程中，反应气体流经叠片组件周侧的气流空间，能够在叠片组件的周向各侧面分别形成镀膜，以实现电池片的边缘钝化。电池片在镀膜时，可将周向各侧边均为切割面的电池片进行钝化，有效提高边缘钝化效率，进而提升生产效率。

25、由于第一压板和第二压板能够压紧叠片组件，减少电池片之间的缝隙，从而改善绕镀情况，进而减少电池片之间由于绕镀而造成的粘连的情况，提升产品质量。

1.一种载具，其特征在于，包括第一压板（1）、第二压板（2）和连接部（3），所述连接部（3）连接于所述第一压板（1）和所述第二压板（2）之间，所述第一压板（1）和所述第二压板（2）之间形成容纳区（4），所述容纳区（4）用于容纳叠片组件（200），且所述第一压板（1）和所述第二压板（2）能够分别贴合于所述叠片组件（200）两端的电池片；

2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述连接部（3）包括沿所述容纳区（4）周向设置的连接壁（31），所述连接壁（31）在所述第一压板（1）和所述第二压板（2）之间围合形成容纳腔（6），所述连接壁（31）的至少一侧呈敞口结构，所述容纳区（4）位于所述容纳腔（6）内，且所述连接壁（31）与所述容纳区（4）之间设有预设间隙以形成所述气流空间（5）。

3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述预设间隙在1mm-20mm范围内。

4.根据权利要求1-3任一项所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）朝向所述容纳区（4）的一侧壁以及所述第二压板（2）朝向所述容纳区（4）的一侧壁，还分别设有隔热层（7）。

5.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述隔热层（7）是与所述第一压板（1）或所述第二压板（2）连接的垫板，所述垫板为氧化铝陶瓷板、氧化锆陶瓷板、石英玻璃板、聚酰亚胺板、四氟板、气凝胶板或耐火陶瓷纤维板中的一种。

6.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述隔热层（7）与所述第一压板（1）一体成型；

7.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）朝向所述容纳区（4）的一侧壁设有隔热涂层，所述隔热涂层形成所述隔热层（7）；

8.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）朝向所述容纳区（4）的一侧沿所述容纳区（4）的周向还设有环形凸起部，和/或，所述第二压板（2）朝向所述容纳区（4）的一侧沿所述容纳区（4）的周向还设有环形凸起部。

9.根据权利要求1-3任一项所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）和所述第二压板（2）中，至少一者还连接有压接板（8），所述压接板（8）与所述第一压板（1）或所述第二压板（2）之间连接有弹性件（9）。

10.根据权利要求9所述的载具，其特征在于，所述弹性件（9）内套设有导杆（10），所述导杆（10）的一端与所述压接板（8）连接，所述导杆（10）的另一端穿设于所述第一压板（1）或第二压板（2），并可相对于所述第一压板（1）或第二压板（2）沿所述导杆（10）的轴向移动。

11.根据权利要求1-3任一项所述的载具，其特征在于，所述连接部（3）和所述第一压板（1）固定或一体成型。

12.根据权利要求11所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）相对设置的两个侧边分别设有第一限位件（11）和限位弹簧（12），所述连接部（3）对应设有与所述第一限位件（11）相适配的第二限位件（32），所述第一限位件（11）能够在所述限位弹簧（12）的作用下与所述第二限位件（32）限位配合，以限制所述第一压板（1）与所述连接部（3）脱离。

13.根据权利要求12所述的载具，其特征在于，所述第二限位件（32）为设于所述连接部（3）的限位柱（33），所述限位柱（33）设有卡槽（331），所述第一压板（1）设有与所述限位柱（33）卡接配合的配合口（13），所述第一限位件（11）能够在所述限位弹簧（12）的作用下移动至与所述卡槽（331）卡接配合。

14.根据权利要求13所述的载具，其特征在于，所述限位柱（33）由所述配合口（13）伸出所述第一压板（1）远离所述连接部（3）的一侧；

15.根据权利要求12所述的载具，其特征在于，所述第一限位件（11）与所述第一压板（1）之间还连接有转轴（17），所述第一限位件（11）的一端与所述限位弹簧（12）连接、所述第一限位件（11）的另一端能够与所述第二限位件（32）限位卡接，所述第一限位件（11）能够在所述限位弹簧（12）的作用下相对于所述第一压板（1）绕所述转轴（17）转动至与所述第二限位件（32）限位卡接。

16.根据权利要求1-3任一项所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）远离所述容纳区（4）的一侧沿周向还设有挡板（15），所述挡板（15）设有台阶结构（151），所述台阶结构（151）的台阶面（152）用于支撑位于上方的所述载具。

17.根据权利要求16所述的载具，其特征在于，所述台阶结构（151）的立面（153）以及所述第二压板（2）的周侧壁中，至少一者设有导向面（154）。

18.根据权利要求1-3任一项所述的载具，其特征在于，所述第一压板（1）还设有第一定位件（16），所述第二压板（2）还设有第二定位件（22），所述第一定位件（16）用于与相邻所述载具的第二压板（2）的第二定位件（22）定位配合。

19.一种镀膜设备，其特征在于，包括设有反应腔室的壳体以及如权利要求1-18任一项所述的载具，所述载具设于所述反应腔室内。