显示面板及其制备方法、制备系统与流程

本技术涉及显示面板，特别是涉及一种显示面板及其制备方法、制备系统。

背景技术：

1、在高端显示面板（如oled）的薄膜封装（tfe）或平坦化层制备中，喷墨打印（ijp）工艺因其材料利用率高、适合大尺寸和柔性基底等优点而被广泛应用。该工艺的关键步骤之一是，在由围挡（dam）或沟槽（trench）限定的有效显示区（aa区）内打印有机功能墨水（如平坦化层墨水），墨水液滴需在aa区内进行流平、干燥和固化，以形成均匀、平整的膜层。

2、喷墨打印膜层的流平位置、最终形貌及厚度均匀性，极大地受限于打印基底（通常为cvd1或其他下层膜层）的润湿性。若基底润湿性过高（亲水性过强），墨水在流平过程中容易沿斜坡爬升甚至溢出围挡，导致溢流（overflow）缺陷，引发后续工艺短路或可靠性问题；反之，若基底润湿性过低（疏水性过强），墨水液滴难以铺展，易导致膜厚不均、边缘收缩，形成显示不均匀性（mura）缺陷。随着显示面板对ijp膜层厚度减薄的需求愈发迫切，以追求更好的光学及触控性能，同时为避免mura，工艺上倾向于提高基底润湿性。然而，这又使得ijp膜层边缘的流平控制与形貌优化变得极其困难，过高的润湿性易导致墨水在流平边界位置异常发生率升高，在后续工艺或使用中诱发进行性黑斑（gds）和膜层剥离（peeling） 等封装失效问题。目前还没有方法能够解决现有显示面板喷墨打印封装工艺中，由于流平边界区域润湿性固定不变而导致的流平控制困难、边缘形貌不佳，进而引发overflow、mura、gds及peeling等多种缺陷的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种显示面板及其制备方法、制备系统，该显示面板中喷墨打印有机功能层边缘形貌平滑，有利于降低后续工艺段中出现进行性黑斑和膜层剥离的风险，显著提升显示面板的封装良率和长期可靠性。具体技术方案如下：

2、本技术的第一方面提供了一种显示面板，包括：

3、基板，包括衬底和形成于所述衬底表面的tft叠层；所述tft 叠层通过自身膜层堆叠的厚度差形成包含围挡和/或沟槽的阻挡结构；所述阻挡结构围合的区域为有效显示区；

4、无机阻隔膜层，共形覆盖于所述tft叠层的表面；

5、所述阻挡结构对应位置的无机阻隔膜层表面构成与有机功能墨水接触的流平边界，所述流平边界的至少一个表面设置有光响应可变润湿性功能层；所述光响应可变润湿性功能层在可见光照射下呈疏水态，在紫外光照射下呈高亲水态；

6、所述有效显示区内设置有喷墨打印有机功能层。

7、在本技术的一些实施方式中，所述流平边界的表面包括所述围挡对应位置的无机阻隔膜层的斜坡面和/或顶面、和/或所述沟槽对应位置的无机阻隔膜层的内壁。

8、在本技术的一些实施方式中，所述光响应可变润湿性功能层的原料包括含氟偶氮苯聚合物、螺吡喃和俘精酸酐中的至少一种；

9、所述含氟偶氮苯聚合物选自2,6,2',6'-四氟偶氮苯丙烯酸酯烷基共聚物、侧链c4-c8全氟烷基偶氮苯甲基丙烯酸酯共聚物、邻氟偶氮苯烷基丙烯酸酯均聚物、含四氟苯环偶氮乙烯基共聚物中的至少一种；所述含氟偶氮苯聚合物的数均分子量为3000-50000；

10、所述螺吡喃选自6-硝基-1',3',3'-三甲基吲哚啉螺苯并吡喃、8-甲氧基-6-硝基-1',3',3'-三甲基吲哚啉螺苯并吡喃、6-溴-1',3',3'-三甲基吲哚啉螺苯并吡喃中的至少一种；

11、所述俘精酸酐选自2,5-二甲基呋喃基俘精酸酐、苯基单呋喃取代俘精酸酐、双噻吩基俘精酸酐、3-苯亚乙基-2-(4-吡啶亚甲基)俘精酸酯、三氟甲基吲哚基俘精酰亚胺中的至少一种。

12、在本技术的一些实施方式中，所述光响应可变润湿性功能层的厚度为30nm-10000nm。

13、在本技术的一些实施方式中，所述光响应可变润湿性功能层采用引发式化学气相沉积工艺或分区喷墨打印工艺制备得到。

14、在本技术的一些实施方式中，所述可见光的波长为400nm-700nm；所述紫外光的波长为315nm-400nm。

15、本技术的第二方面提供了一种本技术第一方面所述的显示面板的制备方法，包括步骤：

16、提供基板，

17、所述基板包括衬底和形成于所述衬底表面的tft叠层；通过所述tft叠层自身膜层堆叠的厚度差形成包含围挡和/或沟槽的阻挡结构，所述阻挡结构围合出有效显示区；

18、在所述tft叠层的表面共形沉积无机阻隔膜层；

19、在所述阻挡结构对应位置的无机阻隔膜层所构成的流平边界的至少一个表面形成疏水状态的光响应可变润湿性功能层；向所述有效显示区内打印有机功能墨水；

20、以紫外光选择性照射所述有效显示区，使有机功能墨水固化形成喷墨打印有机功能层；

21、采用紫外光照射所述光响应可变润湿性功能层使其转变为高亲水状态，使有机功能墨水边缘与高亲水状态的光响应可变润湿性功能层接触形成平滑边缘形貌。

22、在本技术的一些实施方式中，形成疏水状态的光响应可变润湿性功能层具体包括步骤：采用引发式化学气相沉积工艺，在所述阻挡结构对应位置的无机阻隔膜层所构成的流平边界的至少一个表面沉积光响应可变润湿性功能层；采用可见光照射所述光响应可变润湿性功能层使其转变为疏水状态。

23、在本技术的一些实施方式中，形成疏水状态的光响应可变润湿性功能层和打印有机功能墨水具体包括步骤：采用分区喷墨打印工艺，向所述有效显示区内打印有机功能墨水，并向所述阻挡结构对应位置的无机阻隔膜层所构成的流平边界的至少一个表面喷涂光响应可变润湿性功能墨水，形成所述光响应可变润湿性功能层；采用可见光照射使所述光响应可变润湿性功能层转变为疏水状态。

24、在本技术的一些实施方式中，通过调控照射围挡和/或沟槽斜坡处光响应可变润湿性功能层的紫外光的光强、照射时长和扫描路径中的至少一种，使光响应可变润湿性功能层形成润湿性梯度。

25、本技术的第三方面提供了一种用于制备本技术第一方面所述的显示面板的制备系统，包括：用于沉积所述光响应可变润湿性功能层的单元，用于调控润湿性的特定波长光源腔室，以及能够分区域、分波长进行选择性照射的光固化单元；其中，所述光源腔室能够输出400nm-700nm可见光和315nm-400nm紫外光。

26、本技术的有益效果：

27、本技术提供了一种显示面板及其制备方法、制备系统，通过在阻挡结构对应位置的无机阻隔膜层表面构成的流平边界的至少一个表面引入光响应可变润湿性功能层，实现了喷墨打印（ijp）工艺关键步骤中润湿性的按需、动态切换（流平前疏水阻挡，固化前亲水优化），从时间维度上解决了单一润湿性无法兼顾不同工艺需求的矛盾；能够有效降低因溢流（overflow）和异常边缘形貌导致的进行性黑斑（gds）和膜层剥离（peeling）风险，显著提升显示面板的封装良率和长期可靠性；另外光响应可变润湿性功能层与下层膜层界面附着力优异、机械强度高，不会带来额外失效风险；光响应可变润湿性功能层可通过引发式化学气相沉积（icvd）或分区喷墨打印（ijp）工艺集成到现有产线中，无需对整体工艺流程做颠覆性改动，其中ijp分区打印方案实施成本相对较低，且后续无需去除该功能层。

28、当然，实施本技术的任一产品或方法并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。