一种送料装置及硅片加工设备的制作方法

本申请涉及硅片加工，具体是涉及一种送料装置及硅片加工设备。

背景技术：

1、在硅片加工的过程中，一般是通过上料装置对硅片进行上料操作，使得硅片输送至预设上料位置，然后加工装置对硅片进行加工，加工完成后，再由下料装置对硅片进行下料操作，使得硅片输送至预设下料位置，为了提高效率，上料装置会持续的依次对多个硅片进行上料操作，使得加工装置能够依次对多个硅片进行加工，从而保证加工的连续性，但是在实际应用中，会出现上料不够及时的情况，导致加工装置对前一个硅片加工完成后，上料装置还未对下一个硅片完成上料操作，从而导致加工中断。

2、现有技术中，一般是预先存储一定量的备用硅片，当出现上料不及时的情况时，就可以使用备用硅片，从而保证加工的连续性不会中断，但是这种方式，在出现加工不及时的情况，比如加工装置还未完成前一个硅片的加工，上料装置已经对下一个硅片完成上料，这种情况下，就会导致硅片在预设上料位置堆积、溢出，甚至导致设备因过载而发生停机故障的情况。

技术实现思路

1、本申请主要是提供一种送料装置及硅片加工设备，既可以保证送料的连续性，也可以避免出现待输送硅片溢出的情况。

2、为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种送料装置，所述送料装置包括：送料模组，用于接收待输送硅片并对所述待输送硅片进行送料操作；送料辅助模组，形成有储料空间及收料空间，所述储料空间用于存储送料备用硅片，所述收料空间用于接收送料溢出硅片；送料转运模组，用于将所述送料备用硅片转运至所述送料模组，以使得所述送料备用硅片作为所述待输送硅片，或所述送料转运模组用于将所述待输送硅片转运至所述收料空间，以使得所述待输送硅片作为所述送料溢出硅片。

3、在一具体实施方式中，所述送料装置还包括送料矫正模组，所述送料矫正模组包括矫正驱动机构及矫正件，所述矫正驱动机构与所述矫正件连接，以驱动所述矫正件对所述待输送硅片的姿态进行矫正。

4、在一具体实施方式中，所述送料矫正模组还包括传动组件，所述传动组件包括主动轮、从动轮及传动带，所述主动轮与所述矫正驱动机构连接，所述传动带分别绕设于所述主动轮及所述从动轮以形成相对设置且运动方向相反的第一传动部及第二传动部，所述矫正件的数量为两个，两个所述矫正件中的一个与所述第一传动部连接，两个所述矫正件中的另一个与所述第二传动部连接。

5、在一具体实施方式中，所述送料模组用于在第一方向上对所述待输送硅片进行送料操作，所述收料空间及所述储料空间沿第二方向依次排布，所述第一方向与所述第二方向呈交叉设置。

6、在一具体实施方式中，所述送料辅助模组的数量为多个，多个所述送料辅助模组沿所述第一方向依次排布。

7、在一具体实施方式中，所述送料转运模组包括转运驱动机构及转运单元，所述转运单元用于吸附所述送料备用硅片或所述待输送硅片，所述转运驱动机构与所述转运单元连接，以驱动所述转运单元在所述第二方向上往复运动。

8、在一具体实施方式中，所述送料模组包括多个子模组，多个所述子模组沿所述第一方向依次排布。

9、为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种硅片加工设备，所述硅片加工设备包括硅片加工装置及所述的送料装置；所述送料模组用于将未加工的所述待输送硅片送料至预设上料位置，以使得所述硅片加工装置对所述待输送硅片进行加工；和/或所述送料模组用于将加工完成后的所述待输送硅片送料至预设下料位置。

10、在一具体实施方式中，所述送料装置包括上料单元及下料单元，所述上料单元及所述下料单元分别包括所述送料模组、所述送料辅助模组及所述送料转运模组。

11、在一具体实施方式中，所述上料单元及所述下料单元分别设置于所述硅片加工装置相对的两侧。

12、本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供的送料装置包括：送料模组，用于接收待输送硅片并对所述待输送硅片进行送料操作；送料辅助模组，形成有储料空间及收料空间，所述储料空间用于存储送料备用硅片，所述收料空间用于接收送料溢出硅片；送料转运模组，用于将所述送料备用硅片转运至所述送料模组，以使得所述送料备用硅片作为所述待输送硅片，或所述送料转运模组用于将所述待输送硅片转运至所述收料空间，以使得所述待输送硅片作为所述送料溢出硅片，通过这种设置方式，在出现送料不及时的情况时，能够使用储料空间内存储的送料备用硅片进行送料，在出现送料溢出的情况时，能过通过收料空间接收送料溢出硅片，既可以保证送料的连续性，也可以避免出现待输送硅片溢出的情况。

1.一种送料装置，其特征在于，所述送料装置包括：

2.根据权利要求1所述的送料装置，其特征在于，所述送料装置还包括送料矫正模组，所述送料矫正模组包括矫正驱动机构及矫正件，所述矫正驱动机构与所述矫正件连接，以驱动所述矫正件对所述待输送硅片的姿态进行矫正。

3.根据权利要求2所述的送料装置，其特征在于，所述送料矫正模组还包括传动组件，所述传动组件包括主动轮、从动轮及传动带，所述主动轮与所述矫正驱动机构连接，所述传动带分别绕设于所述主动轮及所述从动轮以形成相对设置且运动方向相反的第一传动部及第二传动部，所述矫正件的数量为两个，两个所述矫正件中的一个与所述第一传动部连接，两个所述矫正件中的另一个与所述第二传动部连接。

4.根据权利要求1所述的送料装置，其特征在于，所述送料模组用于在第一方向上对所述待输送硅片进行送料操作，所述收料空间及所述储料空间沿第二方向依次排布，所述第一方向与所述第二方向呈交叉设置。

5.根据权利要求4所述的送料装置，其特征在于，所述送料辅助模组的数量为多个，多个所述送料辅助模组沿所述第一方向依次排布。

6.根据权利要求4所述的送料装置，其特征在于，所述送料转运模组包括转运驱动机构及转运单元，所述转运单元用于吸附所述送料备用硅片或所述待输送硅片，所述转运驱动机构与所述转运单元连接，以驱动所述转运单元在所述第二方向上往复运动。

7.根据权利要求4所述的送料装置，其特征在于，所述送料模组包括多个子模组，多个所述子模组沿所述第一方向依次排布。

8.一种硅片加工设备，其特征在于，所述硅片加工设备包括硅片加工装置及权利要求1~7中任一项所述的送料装置；

9.根据权利要求8所述的硅片加工设备，其特征在于，所述送料装置包括上料单元及下料单元，所述上料单元及所述下料单元分别包括所述送料模组、所述送料辅助模组及所述送料转运模组。

10.根据权利要求9所述的硅片加工设备，其特征在于，所述上料单元及所述下料单元分别设置于所述硅片加工装置相对的两侧。