一种自动化装片机的制作方法

本技术涉及硅片加工，特别涉及一种自动化装片机。

背景技术：

1、湿法槽式制绒/清洗工艺中，需将分装于叠片盒中的硅片取出装入花篮、并将满载待加工硅片的花篮浸入反应池内进行制绒/清洗。

2、现有技术中上述取出硅片并装入花篮的过程通常依靠agv小车配合槽式装片机完成。装片机将空花篮安置在装片工位上，agv小车运载装载了硅片的满片盒对接槽式装片机中，装片机抓取agv小车上运载的满片盒后，通过吸片机构配合气刀吸取片盒内的硅片，并将硅片传送至装片工位处依序装入花篮，花篮装满后下料移出，等待进入制绒/清洗工序。

3、上述装片过程在具体实施时存在明显的装片效率低、装片机装置结构复杂、占地面积大的问题：如使用背驮式agv小车、单车仅携带单一满片盒，装片机中也对应该背驮式agv小车设置单一槽道，由该槽道按顺序执行抓取满片盒-吸取硅片-运输硅片等工序，最终将硅片装入对应的单一花篮里。这样单次单片的装片过程效率低，如遇硅片隐裂、硅片污染等意外情况时，需剔除当前硅片并对应补充硅片，槽道的加工进程将直接中断，装片进程严重受阻。而如使用叉车式agv小车、单车携带双片盒，装片机中也对应该叉车式agv小车携带的双片盒设置两条槽道，以两条槽道分别对接叉车式agv小车携带的两个满片盒，在每一条槽道上的按顺序执行抓取满片盒-吸取硅片-运输硅片等工序，最终将两块硅片分别送入两个装片工位上，分别装入两个事先安置于装片工位上的两个花篮中。这样单次双片的装片过程虽然提升了装片效率，但为实现单次双硅片同时装片，装片机必然也需要同时转运两个花篮，以单次双片双花篮同时装片的形式实现，这样一来，同一装片机中对应单次操作，必须同时设置两条片盒作业线、两条花篮作业线以及两条装片作业线，后次操作必须等待当前次操作结束后才能进行，这样设置装片机整体占地面积过大，片盒以及花篮的转运效率仍然低下，不利于提升产能。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种占地面积小、装片效率高的装片机。

2、为了实现上述目的，本实用新型提出一种自动化装片机，包括：

3、花篮上料装置，用于运载空花篮；

4、片盒上料装置，用于运载满片盒；

5、取片输送装置，取片输送装置成对设置于片盒上料装置的两侧，每一条取片输送装置均用于从片盒上料装置运载的满片盒中拾取硅片；花篮上料装置设置于其中一条取片输送装置远离其对应的片盒上料装置的一侧；

6、花篮转移装置，花篮转移装置的一端对接花篮上料装置的末端，花篮转移装置的另一端对接每一个取片输送装置的末端；

7、以及，花篮装片组件，花篮装片组件活动设置于花篮转移装置，花篮装片组件用于抓取并固定空花篮并移送至取片输送装置的末端装片。

8、可选的，每一条取片输送装置中均包括取片传输线、吸片机构、硅片检测机构、废片剔除机构以及补片整理机构；取片传输线铺设于片盒上料装置的一侧，吸片机构、硅片检测机构、废片剔除机构以及补片整理机构沿取片传输线的首端到末端依次设置于取片传输线。

9、可选的，成对设置的两组取片输送装置中的取片传输线相互平行，两组所述取片输送装置中的所有的所述取片传输线的末端均相互齐平；两组取片输送装置错拍工作、交替取片。

10、可选的，花篮转移装置包括花篮转移传输线、花篮转移底座；花篮转移传输线的一端对齐接合花篮上料装置的末端，其另一端对齐接合远离花篮上料装置的取片传输线的末端；花篮转移底座嵌合于花篮转移传输线并与之滑动连接，花篮转移底座沿花篮转移传输线往复移动。

11、可选的，花篮装片组件包括花篮升降装置以及装片支架；花篮升降装置竖立于花篮转移底座，装片支架内部具备容置花篮的容置空间；花篮升降装置与装片支架连接，以将装片支架抬升至指定插片高度位置。

12、可选的，花篮装片组件还包括阻挡气缸以及花篮夹爪；阻挡气缸设置于装片支架的一侧，阻挡气缸的缸体与装片支架连接，阻挡气缸的气缸输出轴沿靠近花篮上料装置或远离花篮上料装置的方向伸缩，以拦停空花篮；花篮夹爪设置于装片支架，花篮夹爪张开以收置空花篮或收缩以夹持空花篮。

13、可选的，还包括变距转运组件，变距转运组件活动设置于花篮上料装置与外部agv小车之间，用以对接外部agv小车与花篮上料装置以转运花篮；或，变距转运组件活动设置于片盒上料装置与外部agv小车之间，用以对接外部agv小车与片盒上料装置以转运片盒。

14、可选的，变距转运组件包括变距上料单元；变距上料单元包括第一上料传输线、上料变距底框、上料变距驱动器以及第二上料传输线；第一上料传输线固定设置于上料变距底框，第二上料传输线平行于第一上料传输线且活动设置于上料变距底框，上料变距驱动器设置于上料变距底框，其驱动输出轴与第二上料传输线连接，以驱动第二上料传输线靠近或远离第一上料传输线。

15、可选的，变距转运组件还包括变距下料单元；变距下料单元设置于变距上料单元的下方；变距下料单元包括第一下料传输线、下料变距底框、下料变距驱动器以及第二下料传输线；第一下料传输线固定设置于下料变距底框，第二下料传输线活动设置于下料变距底框，下料变距驱动器设置于下料变距底框，其驱动输出轴与第二下料传输线连接，以驱动第二下料传输线靠近或远离第一下料传输线。

16、可选的，变距转运组件还包括对接升降驱动器以及对接升降平台；对接升降驱动器设置于变距上料单元远离外部agv小车的一侧，其驱动输出轴与对接升降平台连接，以推动对接升降平台对齐变距上料单元或变距下料单元。

17、本实用新型的有益效果为：

18、装置布局合理、装片机占地面积小：在本实用新型提供的装片机中设置花篮转移装置，通过花篮转移装置转移空花篮以最终实现装片作业，装片机整体布局紧凑，装片机占地面积更小。

19、装片效率高：本实用新型提供的装片机中对同一片盒上料装置成对设置两组取片输送装置，两组取片输送装置协作，取片效率成倍提升。

1.一种自动化装片机，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的自动化装片机，其特征在于，每一条所述取片输送装置中均包括取片传输线、吸片机构、硅片检测机构、废片剔除机构以及补片整理机构；所述取片传输线铺设于所述片盒上料装置的一侧，所述吸片机构、所述硅片检测机构、所述废片剔除机构以及所述补片整理机构沿所述取片传输线的首端到末端依次设置于所述取片传输线。

3.如权利要求2所述的自动化装片机，其特征在于，成对设置的两条所述取片输送装置中的所述取片传输线相互平行，两组所述取片输送装置中的所有的所述取片传输线的末端均相互齐平；两组所述取片输送装置错拍工作、交替取片。

4.如权利要求3所述的自动化装片机，其特征在于，所述花篮转移装置包括花篮转移传输线、花篮转移底座；所述花篮转移传输线的一端对齐接合所述花篮上料装置的末端，其另一端对齐接合远离所述花篮上料装置的所述取片传输线的末端；所述花篮转移底座嵌合于所述花篮转移传输线并与之滑动连接，所述花篮转移底座沿所述花篮转移传输线往复移动。

5.如权利要求4所述的自动化装片机，其特征在于，所述花篮装片组件包括花篮升降装置以及装片支架；所述花篮升降装置竖立于所述花篮转移底座，所述装片支架内部具备容置花篮的容置空间；所述花篮升降装置与所述装片支架连接，以将所述装片支架抬升至指定插片高度位置。

6.如权利要求5所述的自动化装片机，其特征在于，所述花篮装片组件还包括阻挡气缸以及花篮夹爪；所述阻挡气缸设置于所述装片支架的一侧，所述阻挡气缸的缸体与所述装片支架连接，所述阻挡气缸的气缸输出轴沿靠近所述花篮上料装置或远离所述花篮上料装置的方向伸缩，以拦停空花篮；所述花篮夹爪设置于所述装片支架，所述花篮夹爪张开以收置空花篮或收缩以夹持空花篮。

7.如权利要求1所述的自动化装片机，其特征在于，还包括变距转运组件，所述变距转运组件活动设置于花篮上料装置与外部agv小车之间，用以对接外部agv小车与所述花篮上料装置以转运花篮；或，所述变距转运组件活动设置于所述片盒上料装置与外部agv小车之间，用以对接外部agv小车与所述片盒上料装置以转运片盒。

8.如权利要求7所述的自动化装片机，其特征在于，所述变距转运组件包括变距上料单元；所述变距上料单元包括第一上料传输线、上料变距底框、上料变距驱动器以及第二上料传输线；所述第一上料传输线固定设置于所述上料变距底框，所述第二上料传输线平行于所述第一上料传输线且活动设置于所述上料变距底框，所述上料变距驱动器设置于所述上料变距底框，其驱动输出轴与所述第二上料传输线连接，以驱动所述第二上料传输线靠近或远离所述第一上料传输线。

9.如权利要求8所述的自动化装片机，其特征在于，所述变距转运组件还包括变距下料单元；所述变距下料单元设置于所述变距上料单元的下方；所述变距下料单元包括第一下料传输线、下料变距底框、下料变距驱动器以及第二下料传输线；所述第一下料传输线固定设置于所述下料变距底框，所述第二下料传输线活动设置于所述下料变距底框，所述下料变距驱动器设置于所述下料变距底框，其驱动输出轴与所述第二下料传输线连接，以驱动所述第二下料传输线靠近或远离所述第一下料传输线。

10.如权利要求9所述的自动化装片机，其特征在于，所述变距转运组件还包括对接升降驱动器以及对接升降平台；所述对接升降驱动器设置于所述变距上料单元远离外部agv小车的一侧，其驱动输出轴与所述对接升降平台连接，以推动所述对接升降平台对齐所述变距上料单元或所述变距下料单元。