夹具和晶片固定装置的制作方法

本技术涉及半导体衬底材料制造，尤其涉及夹具和晶片固定装置。

背景技术：

1、锗是一种重要的战略资源，广泛应用于半导体、航空航天、光纤通讯、红外光学、太阳能电池、化学催化剂、生物医药等领域。锗具有良好的半导体性质，高纯度的单品锗可用于制造晶体管、二极管、三极管等半导体器件。它还具有较高的折射系数，对红外线透明，不透可见光和紫外线，可用作专透红外光的棱镜和透镜。二氧化锗具有高折射率和低色散的特性，特别适合用于广角镜、显微镜和光导纤维的制作材料。同时，二氧化锗是重要的红外线光学材料，可用来制作热图像照相机的镜头涂层，应用于军事、汽车夜视系统及显微镜光谱仪。除此之外，锗的化合物用于制造荧光板及各种高折光率的玻璃；锗和铌的化合物是超导材料；三氯化锗是新型光纤材料添加剂。锗在科技含量高、附加值高的新型工业领域具有广泛应用。在锗片清洗工序中，需要通过锗片夹具对锗片进行夹持。

2、相关技术中，锗片夹具上的胶垫与夹具本体之间粘合。然而，在清洗过程中清洁液容易腐蚀胶水，导致胶垫与夹具本体之间的粘合不牢，不仅容易导致夹持力松懈，甚至还会导致晶片掉落破损。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种夹具，通过紧固件向缓冲层施加朝向夹持面的紧固力，有利于提高缓冲层和夹具本体之间连接的稳定性和可靠性。

2、本实用新型还提出一种晶片固定装置。

3、本实用新型第一方面实施例提供了一种夹具，夹具包括夹具本体、缓冲层、粘接层和紧固件；夹具本体具有夹持面；所述粘接层设于所述夹持面和所述缓冲层之间以将所述缓冲层连接于所述夹持面上；紧固件设于所述夹具本体上且用于向所述缓冲层施加朝向所述夹持面的紧固力。

4、在一些实施例中，所述紧固件包括围绕所述夹持面的中心间隔设置的多个。

5、在一些实施例中，所述紧固件包括连接臂和卡勾，所述卡勾通过所述连接臂连接于所述夹具本体并用于向所述缓冲层施加朝向所述夹持面的弹性力。

6、在一些实施例中，所述缓冲层包括弹性垫和凸设于所述弹性垫相对两侧的两个安装侧边；所述夹具本体上设有与所述安装侧边位置对应的两组紧固件，每组紧固件包括至少两个间隔设置的所述紧固件。

7、在一些实施例中，所述安装侧边大致沿平行于所述夹持面的长轴方向延伸，且所述安装侧边的长度小于该组中首、尾两个紧固件各自的连接臂在所述长轴方向上的间隔距离，使得所述安装侧边与所述连接臂之间形成引流槽。

8、在一些实施例中，每组紧固件中首、尾两个紧固件的连接臂相对设置，两个所述连接臂的在所述长轴方向上的间隔距离在沿垂直于所述长轴方向的短轴方向且背离所述粘接层的一侧逐渐减小。

9、在一些实施例中，所述夹具还包括压抵部，所述压抵部抵接在所述卡勾和所述安装侧边之间，所述卡勾的内表面与所述夹持面之间在垂直于夹持面方向上的最小距离小于所述压抵部在该方向上的尺寸与所述安装侧边厚度之和。

10、在一些实施例中，所述弹性垫和所述卡勾在背离所述夹持面的一侧齐平。

11、在一些实施例中，所述夹具本体上还设有引流通道，所述引流通道的一端贯通所述夹持面，另一端贯通所述夹具本体的垂直于所述夹持面的侧面。

12、本实用新型第一方面实施例提供了一种晶片固定装置，包括至少两个本实用新型第一方面实施例所述的夹具，两个所述夹具的夹持面相向活动以夹紧晶片。

13、结合技术方案可以看出，本实用新型提供的实施例具有以下优点：

14、通过设置粘接层和紧固件的双重连接结构，既利用粘接层保证了缓冲层与夹持面贴合的均匀性，又借助紧固件有效降低了因缓冲层分离导致的晶片固定装置持力失衡风险，进而减少了晶片掉落损坏的概率。

1.一种夹具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述紧固件（3）包括围绕所述夹持面（11）的中心间隔设置的多个。

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，每组紧固件中首、尾两个紧固件（3）的连接臂（31）相对设置，两个所述连接臂（31）的在所述长轴方向（l）上的间隔距离在沿垂直于所述长轴方向（l）的短轴方向且背离所述粘接层的一侧逐渐减小。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括压抵部（4），所述压抵部（4）抵接在所述卡勾（32）和所述安装侧边（22）之间，所述卡勾（32）的内表面与所述夹持面（11）之间在垂直于夹持面（11）方向上的最小距离小于所述压抵部（4）在该方向上的尺寸与所述安装侧边（22）在该方向上的尺寸之和。

5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述弹性垫（21）和所述卡勾（32）在背离所述夹持面（11）的一侧齐平。

6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具本体（1）上还设有引流通道（12），所述引流通道（12）的一端贯通所述夹持面（11），另一端贯通所述夹具本体（1）的垂直于所述夹持面（11）的侧面。

7.一种晶片固定装置，其特征在于，包括至少两个根据权利要求1-6中任一项所述的夹具，两个所述夹具的夹持面（11）相向活动以夹紧晶片。