一种大翘曲晶圆传输工况用机器人的制作方法

本技术涉及晶圆传输相关，具体为一种大翘曲晶圆传输工况用机器人。

背景技术：

1、随着工业自动化和智能化的减薄工艺不断发展，国内与国外对大翘曲晶圆传输的需求量日益增加，而晶圆减薄或者做过工艺后的片子均存在不同尺寸的翘曲，针对这些翘曲片，这样就需要专门应对翘曲片的传输机械手，因此设计一种大翘曲晶圆传输工况用机器人成为了行业亟待解决的问题。

技术实现思路

1、为解决现有技术存在的缺陷，本实用新型提供一种大翘曲晶圆传输工况用机器人。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

3、本实用新型一种大翘曲晶圆传输工况用机器人，包括底座，所述底座上设有两个自由运动的机械手，每个所述机械手上均固定有扁平状的叉臂，所述叉臂的前端两侧设有吸附臂，且所述叉臂前端以及每个所述吸附臂的前端均安装有用于对晶圆进行吸附的吸嘴，所述叉臂的底侧设有向内凹进的第一风槽，且所述吸附臂上设有与第一风槽连通的第二风槽，且所述叉臂、吸附臂均上设有用于安装吸嘴的安装孔，所述安装孔与第一风槽、第二风槽连通，且所述第一风槽和第二风槽的外部设有密封板，且所述密封板与第一风槽、第二风槽之间形成风道，所述叉臂经连接固定块与机械手的自由端连接，所述叉臂的末端设有与第一风槽连通的吸风孔，所述固定块上设有与吸附孔连通的空腔，且所述固定块设有对空腔进行抽真空的抽真空管。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述吸嘴为柔性吸嘴。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接固定块的前端设有延伸至叉臂中部的且对叉臂进行托载的托板。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的底部设有基座，所述基座的内部设有竖直设置的安装板，且所述安装板安装有竖直的丝杆，所述安装板上设有与丝杆呈平行设置的限位槽，所述丝杆上设有沿丝杆移动的移动座，移动座上安装有沿限位槽进行移动的限位滑块，且所述移动座上设有旋转座，所述旋转座的旋转端上设有竖直向上升降架，且所述底座固定在升降架的顶部，所述旋转座上设有带升降架旋转的旋转机构。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一风槽和第二风槽的横截面均为t型。

8、本实用新型的有益效果是：

9、1、该种大翘曲晶圆传输工况用机器人其中通过设置两个自由运动的机械手，这样利用两个机械手对晶圆进行转运，从而具有较好的工作效率，其中所述机械手上均固定有扁平状的叉臂，叉臂的前端两侧设有吸附臂，叉臂前端以及每个所述吸附臂的前端均安装有吸嘴，使得整体的体积较小，能够在狭小的空间进行转运，并且叉臂以及吸附臂上设有第一风槽和第二风槽，这样无需进行布管，避免管线缠绕。

10、2、该种大翘曲晶圆传输工况用机器人中连接固定块的前端设有延伸至叉臂中部的且对叉臂进行托载的托板，这样对叉臂具有一个托载力，而避免叉臂的受力变形。

11、3、该种大翘曲晶圆传输工况用机器人中的底部设有升降座，这样可以带动整体进行升降，从而并配合的旋转运动而实现对晶圆的转运。

1.一种大翘曲晶圆传输工况用机器人，包括底座(1)，所述底座(1)上设有两个自由运动的机械手(2)，

2.根据权利要求1所述的一种大翘曲晶圆传输工况用机器人，其特征在于，所述吸嘴(5)为柔性吸嘴。

3.根据权利要求1所述的一种大翘曲晶圆传输工况用机器人，其特征在于，所述连接固定块(10)的前端设有延伸至叉臂(3)中部的且对叉臂(3)进行托载的托板(15)。

4.根据权利要求1所述的一种大翘曲晶圆传输工况用机器人，其特征在于，所述底座(1)的底部设有基座(16)，所述基座(16)的内部设有竖直设置的安装板(18)，且所述安装板(18)上安装有竖直的丝杆(17)，所述安装板(18)上设有与丝杆(17)呈平行设置的限位槽(20)，所述丝杆(17)上设有沿丝杆(17)移动的移动座(19)，移动座(19)上安装有沿限位槽(20)进行移动的限位滑块(22)，且所述移动座(19)上设有旋转座(23)，所述旋转座(23)的旋转端上设有竖直向上升降架(21)，且所述底座(1)固定在升降架(21)的顶部，所述旋转座(23)上设有带升降架(21)旋转的旋转机构。

5.根据权利要求1所述的一种大翘曲晶圆传输工况用机器人，其特征在于，所述第一风槽(6)和第二风槽(7)的横截面均为t型。