声表面波滤波器和射频前端模组的制作方法

本申请中实施例涉及半导体制造，具体涉及一种声表面波滤波器和射频前端模组。

背景技术：

1、滤波器是移动通信系统中的重要器件，主要用于接收特定频率的射频信号，并滤除其它频率的信号。随着射频前端模组技术的不断进步，高性能化、小型化和复杂化成为滤波器技术发展的必然趋势。在滤波器的众多类型中，声表面波(surface acoustic wave，saw)滤波器凭借其高性能、低成本、小体积的优势，在移动通信领域占据了重要地位。

2、随着通信技术的不断发展，对信号传输的要求不断提高，需要具有更大功率承载能力、更优频率响应平坦度的声表面波滤波器实现滤波。在现有技术中，主要通过级联多个谐振器来提升声表面波滤波器整体的功率承载能力。

3、然而，对多个现有结构的谐振器进行级联会导致声表面波滤波器的通带内出现凹陷，降低了声表面波滤波器的通带平坦度，难以满足对声表面波滤波器越来越高的滤波性能要求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的多个实施例提供了一种声表面波滤波器和射频前端模组，以提升声表面波滤波器的通带平坦度。

2、在一个方面，本申请的一个实施例提供一种声表面波滤波器，包括：形成电学级联的至少两个声表面波谐振器；所述声表面波谐振器包括反射栅和叉指换能器；所述反射栅分布于所述叉指换能器的两侧；其中，所述叉指换能器包括多个间隔分布的电极指条；所述多个电极指条被划分为中心指条区和边缘指条区；所述中心指条区与所述反射栅之间的距离大于所述边缘指条区与所述反射栅之间的距离；在不同的所述声表面波谐振器中，存在至少一项调制特性参数不同；其中，所述调制特性参数包括：所述反射栅的周期、所述边缘指条区的周期。

3、可选的，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期相同；在不同的所述声表面波谐振器的反射栅的周期不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期与反射栅的周期的比值均落入1:0.94～1:1.06范围内；在不同的所述声表面波谐振器的边缘指条区的周期不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期与边缘指条区的周期的比值均落入1:0.94～1:1.06范围内。

4、可选的，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期相同；在不同的所述声表面波谐振器的边缘指条区的周期不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期与边缘指条区的周期的比值均落入1:0.94～1:1.06范围内。

5、可选的，所述反射栅包括多个间隔分布的条状电极；所述条状电极的数量落入8根～25根范围内。

6、可选的，所述边缘指条区包含的电极指条的数量落入3根～20根范围内。

7、可选的，所述声表面波滤波器还包括：基底；所述基底包括压电层；所述叉指换能器的电极指条形成于所述压电层表面；以所述基底的法线方向作为厚度方向，在不同的所述声表面波谐振器中，存在至少一项结构参数不同；其中，所述结构参数包括：所述压电层的厚度、所述压电层的材料、所述电极指条的厚度和所述电极指条的材料。

8、可选的，在不同的所述声表面波谐振器的电极指条的厚度不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的电极指条的厚度的比值落入1:0.97～1:1.03范围内。

9、可选的，在不同的所述声表面波谐振器的压电层的厚度不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的压电层的厚度的比值落入1:0.8～1:1.2范围内。

10、可选的，所述压电层的材料为氮化铝、氧化锌、铌酸锂、钽酸锂、聚偏氟乙烯、铅酸钛中的一种或多种的组合；所述电极指条的材料为铂、金、铜、银、钛、铝、镍、铅中的一种或多种的组合。

11、在另一个方面，本申请的一个实施例提供一种射频前端模组，包括如上述实施例所述的声表面波滤波器。

12、本申请的多个实施例提供了一种包括形成电学级联的至少两个声表面波谐振器的声表面波滤波器，每个声表面波谐振器均包括叉指换能器和反射栅，反射栅分布于叉指换能器的两侧，其中，叉指换能器包括多个间隔分布的电极指条，多个电极指条被划分为中心指条区和边缘指条区，中心指条区与反射栅之间的距离大于边缘指条区与反射栅之间的距离，通过在不同声表面波谐振器的反射栅和/或边缘指条区设置不同的周期，抑制了声表面波滤波器通带内凹陷的形成，提高了声表面波滤波器的通带内平坦度。

1.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期相同；在不同的所述声表面波谐振器的反射栅的周期不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期与反射栅的周期的比值均落入1:0.94～1:1.06范围内。

3.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期相同；在不同的所述声表面波谐振器的边缘指条区的周期不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的中心指条区的周期与边缘指条区的周期的比值均落入1:0.94～1:1.06范围内。

4.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述反射栅包括多个间隔分布的条状电极；所述条状电极的数量落入8根～25根范围内。

5.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述边缘指条区包含的电极指条的数量落入3根～20根范围内。

6.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波滤波器还包括：

7.根据权利要求6所述的声表面波滤波器，其特征在于，在不同的所述声表面波谐振器的电极指条的厚度不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的电极指条的厚度的比值落入1:0.97～1:1.03范围内。

8.根据权利要求6所述的声表面波滤波器，其特征在于，在不同的所述声表面波谐振器的压电层的厚度不同的情况下，不同的所述声表面波谐振器的压电层的厚度的比值落入1:0.8～1:1.2范围内。

9.根据权利要求6所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述压电层的材料为氮化铝、氧化锌、铌酸锂、钽酸锂、聚偏氟乙烯、铅酸钛中的一种或多种的组合；所述电极指条的材料为铂、金、铜、银、钛、铝、镍、铅中的一种或多种的组合。

10.一种射频前端模组，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的声表面波滤波器。