搬运装置的制作方法

本发明涉及电子部件的搬运装置。

背景技术：

1、半导体元件等电子部件在制造后经过外观检查、电特性检查、标记处理等工序而出厂。在这些工序中，需要使电子部件成为适当的姿势，在实施各工序的处理之前对电子部件的姿势进行校正。

2、例如在专利文献1中公开了一种电子部件的处理装置，其具有：第一旋转搬运部，其具有保持电子部件的第一保持部，使第一保持部沿着第一圆轨道移动；第二旋转搬运部，其具有保持电子部件的第二保持部，使第二保持部沿着通过能够与第一保持部之间进行电子部件的交接的交接区域的第二圆轨道移动；以及位置调节部，其调节第二保持部在交接区域中的位置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2021-187598号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在上述专利文献1所记载的技术中，第二旋转搬运部使从第一旋转搬运部接受到的电子部件移动至实施外观检查等处理的中间处理部的位置，并使由中间处理部实施了处理的电子部件移动至向第一旋转搬运部交接的交接位置。因此，位置调节部在由中间处理部实施处理的期间无法对第二保持部的位置进行调整，需要另外确保用于实施电子部件的交接时的对准处理的时间。

3、另外，电子部件由例如吸附夹头等利用吸附面吸附并保持电子部件的保持部搬运。为了不使电子部件落下而稳定地进行搬运，重要的是相对于保持部的吸附面不倾斜地保持电子部件。例如，如果是尺寸比较大（例如，长边的长度为5mm～10mm左右）的电子部件，则原本就不易产生相对于吸附面的倾斜。但是，在尺寸比较小（例如长边的长度为0.5mm～1mm左右）的电子部件的情况下，在从晶片片材拾取保持部所搬运的电子部件时，电子部件的凸块（电极）会进入至吸附面的抽吸孔，电子部件也可能倾斜地保持于吸附面。

4、因此，本发明是鉴于上述问题而完成的，本发明的目的在于提供一种能够有效且可靠地实施电子部件的搬运的电子部件的搬运装置。

5、用于解决课题的手段

6、为了解决上述课题，根据本发明的一个观点，提供一种搬运装置，其具有：第一旋转搬运部，其具有利用吸附面来吸附保持电子部件的第一保持部，该第一旋转搬运部使第一保持部沿着圆轨道移动；第二旋转搬运部，其具有利用吸附面来吸附保持电子部件的第二保持部，该第二旋转搬运部使第二保持部沿着圆轨道移动；以及位置校正部，其在电子部件的搬运路径上设置于第一旋转搬运部与第二旋转搬运部之间，对从第一保持部接受到的电子部件的位置进行校正并向第二保持部交接，位置校正部具有：吸附保持部，其具有吸附保持电子部件的吸附面，该吸附保持部在第一交接位置处与第一保持部进行电子部件的交接，在第二交接位置处与第二保持部进行电子部件的交接；旋转搬运台，其设置有吸附保持部，该旋转搬运台使吸附保持部沿着以旋转轴为中心的圆轨道移动；以及平行驱动部，其使旋转搬运台平行移动，对吸附保持部所吸附保持的电子部件的平面位置进行校正，在第二交接位置处，对置的吸附保持部的吸附面与第二保持部的吸附面是平行的。

7、也可以是，旋转搬运台一边在第一交接位置和第二交接位置处停止，一边以规定的旋转节距间歇移动，平行驱动部在旋转搬运台的旋转过程中使旋转搬运台平行移动，对吸附保持部所吸附保持的电子部件的平面位置进行校正。

8、在搬运装置的动作中，也可以使在第一交接位置处从第一保持部向吸附保持部交接电子部件的时机与在第二交接位置处从吸附保持部向第二保持部交接电子部件的时机一致。

9、或者，在搬运装置的动作中，也可以使在第一交接位置处从第一保持部向吸附保持部交接电子部件的时机与在第二交接位置处从吸附保持部向第二保持部交接电子部件的时机不同。

10、发明效果

11、如以上所说明的那样，根据本发明，能够有效且可靠地实施电子部件的搬运。

1.一种搬运装置，其具有：

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，