一种产品转移结构的制作方法

本申请属于晶圆制造，具体为一种产品转移结构。

背景技术：

1、晶粒在转移的过程中，一般都采用吸盘抓取，但是吸盘在抓取每个晶粒的时候，由于晶粒比较小，且放置在薄膜之上，使得在吸盘抓取的时候容易吸附到薄膜。第二便是抓取之后，晶粒上背吸盘吸住的一面无法被检测到。

技术实现思路

1、本申请的目的是针对现有技术的缺点，采用第一吸盘抓取机构与第二吸盘抓取机构配合晶粒扩散机构的方式，设计了一种产品转移结构，使得在第二吸盘抓取机构抓取晶粒的时候，通过晶粒扩散机构能够避免第二吸盘抓取机构抓取晶粒的时候吸到薄膜，同时通过第一吸盘抓取机构与第二吸盘抓取机构的交换使得晶粒的六个面都能被检测到，解决了如何保证晶粒的六个面都能被检测到以及抓取晶粒的时候不会吸附到薄膜的问题。

2、为了实现上述目的，采用以下技术方案：

3、一种产品转移结构，包括第一吸盘抓取机构、第二吸盘抓取机构、检测模组、晶粒扩散机构，所述第二吸盘抓取机构的行程范围与所述第一吸盘抓取机构的行程范围相交，所述晶粒扩散机构在所述第二吸盘抓取机构的行程范围内，所述检测模组位于所述晶粒扩散机构的一侧，所述晶粒扩散机构在所述第二吸盘抓取机构的行程范围内，所述第二吸盘抓取机构的行程范围与所述检测模组的检测范围相交，所述检测模组信号连接所述第一吸盘抓取机构。

4、优选的，所述晶粒扩散机构包括第一升降装置、第二升降装置、工作台面、夹持板、吹气装置，所述工作台面上设有一个圆形孔，所述夹持板为一个圆形板，所述工作台面的下表面上设有一个与所述圆形孔同心的扩展圆孔，所述扩展圆孔的直径大于所述圆形孔的直径，所述扩展圆孔的直径等于所述夹持板的直径，第一升降装置的下端通过固定件与所述工作台面固定设置，所述第一升降装置的活塞杆的自由端固定连接所述夹持板，所述夹持板位于所述工作台面的下表面，所述第一升降装置的伸缩方向垂直于所述工作台面，所述夹持板的中央设置一个矩形孔，所述夹持板的下方通过连接结构设置第二升降装置，所述第二升降装置通过所述连接结构与所述夹持板固定连接，所述第二升降装置的升降方向平行于所述第一升降装置的升降方向，所述第二升降装置的活塞杆的自由端设置顶板，所述顶板平行于所述工作台面，所述夹持板的下方设置有密闭结构，所述矩形孔与所述密闭结构连通，所述吹气装置的出气端连通所述密闭结构的内部，所述吹气装置与所述密闭结构固定连接。

5、优选的，所述吹气装置为气泵。

6、优选的，所述密闭结构为开口向上的矩形框，所述矩形框的开口端与所述夹持板的下表面固定连接，所述矩形框的开口端与所述矩形孔连通。

7、优选的，所述第二升降装置设于所述矩形框的下表面上，所述第二升降装置的活塞杆伸入到所述矩形框内与所述顶板固定连接。

8、优选的，还包括架体，所述工作台面设于所述架体上，所述第二吸盘抓取机构和所述检测模组均设于所述工作台面上，所述圆形孔设于所述第二吸盘抓取机构的一侧，所述圆形孔位于所述第二吸盘抓取机构与所述检测模组之间。

9、优选的，第二吸盘抓取机构包括x直线移动机构、y直线移动机构、伺服电机、伸缩杆、吸盘组件，所述x直线移动机构的执行端固定连接所述y直线移动机构，所述y直线移动机构的执行端固定设置所述伺服电机，所述伺服电机的输出轴与所述x直线移动机构驱动y直线移动机构的方向平行，所述伺服电机的输出轴上固定设置所述伸缩杆，所述伸缩杆的活塞杆垂直于所述伺服电机的输出轴，所述伺服电机的输出轴上设置所述吸盘组件。

10、优选的，所述x直线移动机构、y直线移动机构均为丝杆机构。

11、优选的，所述检测模组为工业相机。

12、与现有技术相比，本申请的技术方案有益效果是：

13、本申请采用第一吸盘抓取机构与第二吸盘抓取机构配合晶粒扩散机构的方式，设计了一种产品转移结构，使得在第二吸盘抓取机构抓取晶粒的时候，通过晶粒扩散机构能够避免第二吸盘抓取机构抓取晶粒的时候吸到薄膜，同时通过第一吸盘抓取机构与第二吸盘抓取机构的交换使得晶粒的六个面都能被检测到，解决了如何保证晶粒的六个面都能被检测到以及抓取晶粒的时候不会吸附到薄膜的问题。

1.一种产品转移结构，其特征在于，包括第一吸盘抓取机构（19）、第二吸盘抓取机构、检测模组、晶粒扩散机构，所述第二吸盘抓取机构的行程范围与所述第一吸盘抓取机构（1）的行程范围相交，所述晶粒扩散机构在所述第二吸盘抓取机构的行程范围内，所述检测模组位于所述晶粒扩散机构的一侧，所述晶粒扩散机构在所述第二吸盘抓取机构的行程范围内，所述第二吸盘抓取机构的行程范围与所述检测模组的检测范围相交，所述检测模组信号连接所述第一吸盘抓取机构（19）。

2.根据权利要求1所述的一种产品转移结构，其特征在于：所述晶粒扩散机构包括第一升降装置（1）、第二升降装置（2）、工作台面（2）、夹持板（4）、吹气装置（5），所述工作台面（2）上设有一个圆形孔（6），所述夹持板（4）为一个圆形板，所述工作台面（2）的下表面上设有一个与所述圆形孔（6）同心的扩展圆孔（7），所述扩展圆孔（7）的直径大于所述圆形孔（6）的直径，所述扩展圆孔（7）的直径等于所述夹持板（4）的直径，第一升降装置（1）的下端通过固定件与所述工作台面（3）固定设置，所述第一升降装置（1）的活塞杆的自由端固定连接所述夹持板（4），所述夹持板（4）位于所述工作台面（3）的下表面，所述第一升降装置（1）的伸缩方向垂直于所述工作台面（3），所述夹持板（4）的中央设置一个矩形孔（8），所述夹持板（4）的下方通过连接结构（10）设置第二升降装置（2），所述第二升降装置（2）通过所述连接结构（10）与所述夹持板（4）固定连接，所述第二升降装置（2）的升降方向平行于所述第一升降装置（1）的升降方向，所述第二升降装置（2）的活塞杆的自由端设置顶板（9），所述顶板（9）平行于所述工作台面（3），所述夹持板（4）的下方设置有密闭结构，所述矩形孔（8）与所述密闭结构连通，所述吹气装置（5）的出气端连通所述密闭结构的内部，所述吹气装置（5）与所述密闭结构固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种产品转移结构，其特征在于：所述吹气装置（5）为气泵。

4.根据权利要求3所述的一种产品转移结构，其特征在于：所述密闭结构为开口向上的矩形框（11），所述矩形框（11）的开口端与所述夹持板（4）的下表面固定连接，所述矩形框（11）的开口端与所述矩形孔（8）连通。

5.根据权利要求4所述的一种产品转移结构，其特征在于：所述第二升降装置（2）设于所述矩形框（11）的下表面上，所述第二升降装置（2）的活塞杆伸入到所述矩形框（11）内与所述顶板（9）固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种产品转移结构，其特征在于：还包括架体（12），所述工作台面（3）设于所述架体（12）上，所述第二吸盘抓取机构和所述检测模组均设于所述工作台面（3）上，所述圆形孔（6）设于所述第二吸盘抓取机构的一侧，所述圆形孔（6）位于所述第二吸盘抓取机构与所述检测模组之间。

7.根据权利要求1所述的一种产品转移结构，其特征在于：第二吸盘抓取机构包括x直线移动机构（13）、y直线移动机构（14）、伺服电机（15）、伸缩杆（16）、吸盘组件（17），所述x直线移动机构（13）的执行端固定连接所述y直线移动机构（14），所述y直线移动机构（14）的执行端固定设置所述伺服电机（15），所述伺服电机（15）的输出轴与所述x直线移动机构（13）驱动y直线移动机构（14）的方向平行，所述伺服电机（15）的输出轴上固定设置所述伸缩杆（16），所述伸缩杆（16）的活塞杆垂直于所述伺服电机（15）的输出轴，所述伺服电机（15）的输出轴上设置所述吸盘组件（17）。

8.根据权利要求7所述的一种产品转移结构，其特征在于：所述x直线移动机构（13）、y直线移动机构（14）均为丝杆机构。

9.根据权利要求1所述的一种产品转移结构，其特征在于：所述检测模组为工业相机（18）。