一种高功率深紫外激光发生装置的制作方法

本发明涉及激光，具体公开了一种高功率深紫外激光发生装置。

背景技术：

1、深紫外激光通常指波长处于180nm～270nm波段的紫外激光，凭借光子能量高、聚焦光斑精细、空间分辨率优异、无热加工损伤等独特光学特性，成为当代高端精密制造、半导体产业、前沿科学研究及环境检测领域的核心关键光源。在半导体领域，深紫外激光可用于晶圆表面微观缺陷检测、光刻曝光、薄膜材质分析与精密刻蚀加工，是先进芯片制程设备的核心光源组件；在科研领域，广泛应用于高分辨光电子能谱分析、分子光谱探测、真空紫外光谱测试等基础研究场景；同时在高精度微纳加工、紫外消毒净化、污染物精准检测等民用及工业场景中具备不可替代的应用价值。

2、如公开号为 cn118712873b，公开日为2025年2月21日的专利，公开了一种紫外激光器，包括基体、安设于基体上的光学腔体、泵浦源和紫外激光发生机构，紫外激光发生机构设置于光学腔体内，于基体上设有用于对光学腔体进行冷却的第一冷却单元；紫外激光发生机构还配置有调q驱动器，调q驱动器以及泵浦源均安设于基体上、位于光学腔体外并且与紫外激光发生机构连接，于基体上设有用于对调q驱动器和泵浦源进行冷却的第二冷却单元；该专利中，调q驱动器和泵浦源设于光学腔体之外，可以实现光学腔体与其他热源的热隔离，减小这些热源对光学腔体的热影响，有效地提高紫外激光发生机构的工作稳定性，有利于提高风冷紫外激光器的应用范围；可以对光学腔体、调q驱动器和泵浦源进行分区控温，能够节约能耗。

3、现有的深紫外激光具备短波长、超高单光子能量、高功率能量密度的核心特性，在长期连续高功率辐照工况下，光学镜片极易出现晶格缺陷、光致老化的问题，需要频繁的进行更换，现有的光学镜片在进行更换时，通常会将整个光学镜片以及固定用的支架全部进行更换，更换后需要花费大量的时间对光学镜片的偏转角度进行调节，影响工作效率。

技术实现思路

1、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

2、一种高功率深紫外激光发生装置，包括壳体，所述壳体内设置有激光源以及安装基座；

3、所述安装基座包括用于固定光学镜片的安装部以及可进行角度调节的调节部，所述调节部固定安装在所述壳体上，所述安装部安装在所述调节部上，所述调节部驱使所述安装部的位置不变。

4、上述的，所述调节部包括安装在所述壳体上的调节底座，所述调节底座的中心固定有用于放置安装部的安装筒，所述调节底座可驱使所述安装筒进行转动，调整所述安装筒的放置角度。

5、上述的，所述安装筒的开口朝上，所述安装筒的开口处还开设有限位键槽，所述限位键槽用于限制所述安装部与所述安装筒之间出现相对运动。

6、上述的，所述安装部包括与所述安装筒开口相适配的连接柱，所述连接柱上固定安装有安装框，所述安装框的一侧呈开口状，开口状的安装框用于安装光学镜片。

7、上述的，所述安装框的内侧设置有限位槽，所述限位槽相对的两侧壁上固定安装有柔性压板，所述光学镜片插入至所述限位槽内时，两个所述柔性压板将所述光学镜片夹住。

8、上述的，所述安装框内部中空形成空腔，所述空腔内置散热部，当所述光学镜片安装于所述安装框中时，所述散热部对所述光学镜片进行散热。

9、上述的，所述散热部包括安装在所述空腔内的散热囊体，所述散热囊体上连接着进水管与出水管，所述进水管与所述出水管通过管道与外置水源相连，所述外置水源将冷却水通过进水管输送至所述散热囊体中，所述出水管内置电磁阀。

10、上述的，所述安装框靠近所述光学镜片的一侧开设有连接缺口，所述连接缺口位于所述限位槽内，多个所述连接缺口均与所述空腔相连通，所述连接缺口内设置有散热片，所述光学镜片工作时，所述散热片的一端抵靠着所述散热囊体，所述散热片的另一端抵靠着所述光学镜片的侧壁。

11、上述的，所述散热片包括导热基座以及接触导热片，所述导热基座固定安装在所述连接缺口内，所述导热基座上靠近所述光学镜片的一侧开设有调节槽，所述接触导热片安装在所述调节槽的槽口处，所述调节槽内设置有可充气膨胀的膨胀囊，基于所述膨胀囊的膨胀，使得所述接触导热片紧贴着所述光学镜片的侧壁。

12、上述的，所述导热基座靠近所述散热囊体的一侧开设有包裹弧槽，所述包裹弧槽包裹着所述散热囊体。

13、在上述技术方案中，本发明提供的一种高功率深紫外激光发生装置，通过设置在所述调节部上安装所述安装部，当完成对调节部的角度调节之后，调节部不再进行大角度变动，之后工作人员再进行光学镜片的拆卸时，只需要将坏的光学镜片从所述安装部上取下即可，不需要将整个安装部和调节部取下，后续再进行光学镜片的安装时，只需将光学镜片安装到所述安装部上，不需要从头调节光学镜片的角度，极大地减少了光学镜片的调节时间，提高了工作效率。

1.一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，包括壳体（1），所述壳体（1）内设置有激光源（2）以及安装基座（3）；

2.根据权利要求1所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述调节部（6）包括安装在所述壳体（1）上的调节底座（61），所述调节底座（61）的中心固定有用于放置安装部（5）的安装筒（62），所述调节底座（61）可驱使所述安装筒（62）进行转动，调整所述安装筒（62）的放置角度。

3.根据权利要求2所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述安装筒（62）的开口朝上，所述安装筒（62）的开口处还开设有限位键槽（63），所述限位键槽（63）用于限制所述安装部（5）与所述安装筒（62）之间出现相对运动。

4.根据权利要求3所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述安装部（5）包括与所述安装筒（62）开口相适配的连接柱（51），所述连接柱（51）上固定安装有安装框（52），所述安装框（52）的一侧呈开口状，开口状的安装框（52）用于安装光学镜片（4）。

5.根据权利要求4所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述安装框（52）的内侧设置有限位槽（53），所述限位槽（53）相对的两侧壁上固定安装有柔性压板（54），所述光学镜片（4）插入至所述限位槽（53）内时，两个所述柔性压板（54）将所述光学镜片（4）夹住。

6.根据权利要求5所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述安装框（52）内部中空形成空腔（55），所述空腔（55）内置散热部（7），当所述光学镜片（4）安装于所述安装框（52）中时，所述散热部（7）对所述光学镜片（4）进行散热。

7.根据权利要求6所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述散热部（7）包括安装在所述空腔（55）内的散热囊体（71），所述散热囊体（71）上连接着进水管（72）与出水管（73），所述进水管（72）与所述出水管（73）通过管道与外置水源相连，所述外置水源将冷却水通过进水管（72）输送至所述散热囊体（71）中，所述出水管（73）内置电磁阀（74）。

8.根据权利要求7所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述安装框（52）靠近所述光学镜片（4）的一侧开设有连接缺口（56），所述连接缺口（56）位于所述限位槽（53）内，多个所述连接缺口（56）均与所述空腔（55）相连通，所述连接缺口（56）内设置有散热片（8），所述光学镜片（4）工作时，所述散热片（8）的一端抵靠着所述散热囊体（71），所述散热片（8）的另一端抵靠着所述光学镜片（4）的侧壁。

9.根据权利要求8所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述散热片（8）包括导热基座（81）以及接触导热片（82），所述导热基座（81）固定安装在所述连接缺口（56）内，所述导热基座（81）上靠近所述光学镜片（4）的一侧开设有调节槽（83），所述接触导热片（82）安装在所述调节槽（83）的槽口处，所述调节槽（83）内设置有可充气膨胀的膨胀囊（84），基于所述膨胀囊（84）的膨胀，使得所述接触导热片（82）紧贴着所述光学镜片（4）的侧壁。

10.根据权利要求9所述的一种高功率深紫外激光发生装置，其特征在于，所述导热基座（81）靠近所述散热囊体（71）的一侧开设有包裹弧槽（85），所述包裹弧槽（85）包裹着所述散热囊体（71）。