均匀线激光发生器及检测装置的制作方法

本申请涉及激光装置，尤其涉及均匀线激光发生器及检测装置。

背景技术：

1、均匀线激光发生器包括鲍威尔棱镜或者柱棒镜。鲍威尔棱镜的良率低，无法批量化生产，比如，鲍威尔棱镜的顶部是复杂的二维非球面曲面，使得鲍威尔棱镜良率低，无法批量化生产。此外，鲍威尔棱镜成本高，影响批量生产的成本。

2、虽然，柱棒镜的良率相较于鲍威尔棱镜的良率高，但柱棒镜镀膜后需要识别镀膜方向，不镀膜影响传输效率和产生杂光。

3、因此，有必要对所述均匀线激光发生器改进。

技术实现思路

1、本申请的目的在于公开一种均匀线激光发生器及检测装置。

2、第一方面，本申请公开一种均匀线激光发生器。所述均匀线激光发生器包括激光光源、光源准直镜、发散镜和均匀镜。所述光源准直镜对所述激光光源的出射光线中至少线宽方向的光线准直。所述发散镜对所述光源准直镜的出射光线中线长方向的光线进行发散，所述线长方向为线长方向或者线宽方向。所述均匀镜均匀化所述发散镜出射光线中线长方向的光线为线激光，所述发散镜和所述均匀镜均为柱面镜。

3、在一些实施方式中，所述均匀线激光发生器还包括再次准直镜，所述再次准直镜位于所述光源准直镜和所述发散镜之间，对所述线长方向的光线准直。

4、在一些实施方式中，所述再次准直镜包括柱面镜。

5、在一些实施方式中，所述再次准直镜包括平凸柱面镜，所述平凸柱面镜朝所述光源准直镜凸出；或者，所述再次准直镜包括平凹柱面镜，所述平凹柱面镜朝所述光源准直镜凹陷；或者，所述再次准直镜包括双凸柱面镜；或者，所述再次准直镜包括双凹柱面镜。

6、在一些实施方式中，所述均匀线激光发生器包括如下特征至少之一：

7、a）所述再次准直镜和所述发散镜相贴，或者，所述再次准直镜和所述发散镜间隔分布；

8、b）所述再次准直镜和所述发散镜至少之一被粗糙处理；

9、c）所述再次准直镜、所述发散镜和所述均匀镜至少之一覆盖有增透膜。

10、在一些实施方式中，以光线传播方向为前，所述光源准直镜的前方设置有线宽光阑；所述线宽光阑拦截线宽方向的杂光，和/或，以光线传播方向为前，所述再次准直镜的后方设置有线长光阑，所述线长光阑拦截线长方向的杂光，所述线长光阑的出射光线射向所述再次准直镜。

11、在一些实施方式中，所述发散镜包括平凸柱面镜，所述平凸柱面镜朝远离所述光源准直镜凸出；或者，所述发散镜包括平凹柱面镜，所述平凹柱面镜朝远离所述光源准直镜凹陷；或者，所述发散镜包括双凸柱面镜；或者，所述发散镜包括双凹柱面镜。

12、在一些实施方式中，所述均匀镜包括平凸柱面镜，所述平凸柱面镜朝所述发散镜凸出；或者，所述均匀镜包括平凹柱面镜，所述平凹柱面镜朝所述发散镜凹陷；或者，所述均匀镜包括双凸柱面镜；或者，所述均匀镜包括双凹柱面镜。

13、在一些实施方式中，所述发散镜与所述均匀镜之间设置有发散镜前光阑，所述发散镜前光阑拦截射向均匀镜的杂光。

14、第二方面，本申请公开一种检测装置。所述检测装置包括前述任何一种均匀线激光发生器。

15、对于所述均匀线激光发生器及检测装置，所述发散镜和所述均匀镜均为柱面镜，并非采用鲍威尔棱镜或者柱棒镜，因此，所述均匀线激光发生器能避免所述鲍威尔棱镜或者柱棒镜的缺点，比如，与鲍威尔棱镜相比，发散镜和均匀镜各自的良率高和成本低，导致所述均匀线激光器的良率高，成本低，便于批量化生产，与采用柱棒镜相比，不需要识别镀膜方向、不会影响传输效率和产生杂散光，柱面镜的一致性更好。

1.一种均匀线激光发生器，其特征在于，包括激光光源（1）、光源准直镜（2）、发散镜（4）和均匀镜（5），其中；

2.根据权利要求1所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述均匀线激光发生器还包括再次准直镜（3），所述再次准直镜（3）位于所述光源准直镜（2）和所述发散镜（4）之间，对所述线长方向的光线准直。

3.根据权利要求2所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述再次准直镜（3）包括柱面镜。

4.根据权利要求3所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述再次准直镜（3）包括平凸柱面镜，所述平凸柱面镜朝所述光源准直镜（2）凸出；

5.根据权利要求2所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述均匀线激光发生器包括如下特征至少之一：

6.根据权利要求2所述的均匀线激光发生器，其特征在于，以光线传播方向为前，所述光源准直镜（2）的前方设置有线宽光阑（6）；所述线宽光阑（6）拦截线宽方向的杂光；

7.根据权利要求1或2所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述发散镜（4）包括平凸柱面镜，所述平凸柱面镜朝远离所述光源准直镜（2）凸出；

8.根据权利要求1或2所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述均匀镜（5）包括平凸柱面镜，所述平凸柱面镜朝所述发散镜（4）凸出；

9.根据权利要求8所述的均匀线激光发生器，其特征在于，所述发散镜（4）与所述均匀镜（5）之间设置有发散镜前光阑（8），所述发散镜前光阑（8）拦截射向均匀镜的杂光。

10.一种检测装置，其特征在于，包括权利要求1至9任何一项所述的均匀线激光发生器。