基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置的制作方法

本技术属于真空光电探测领域，具体地说是基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置。

背景技术：

1、光电探测器是将微弱光信号转换成电信号的真空电子器件。光电倍增管是基于外光电效应、二次电子发射和电子光学理论，结合了高增益、低噪声、快速响应和信号接收区等特征，是一种具有极高灵敏度和超快时间响应的电真空器件，可以在紫外、可见和近红外区的光谱范围工作。光电探测器主要由阴极、电子倍增系统、阳极等部分组成，需要在超高真空下进行高精密封装集成，以避免气体电离干扰电子轨迹。

2、然而在光电探测器的制备过程中，由于真空环境、材料结构等多种因素影响，其核心部件如电子倍增系统、阳极（金属阳极、荧光屏、芯片等）易吸附气体，这些吸附的气体（一般称为“残余气体”）会被光电倍增管中输出的高能电子云电离为正离子，电离后的正离子在反向电场作用下反向运动轰击阴极，破坏光电阴极表面，显著降低量子效率，影响产品工作寿命；同时，气体分压升高会引发高压放电，导致器件击穿风险，从而导致产品失效。

3、因此，本实用新型提供了基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，通过高能电子流轰击器件内部阳极材料表面，促使吸附气体解吸并被真空系统抽离，从而实现去除残余气体，以解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，通过电子轰击以去除残余气体。

2、该阳极部件电子清刷装置，包括设备外壳，所述设备外壳内设有真空腔室，所述设备外壳的顶部为敞口结构，并安装有密封腔门，所述设备外壳的表面安装有视窗法兰、盲板法兰和六星电极法兰，所述设备外壳上安装有两个相互对称的一星电极法兰，所述真空腔室内设置有清刷夹具，所述真空腔室内设置有两个钨丝夹具，所述钨丝夹具的一端连接在一星电极法兰上，所述钨丝夹具包括柱形座与前叉，所述清刷夹具包括多个绝缘底座，所述绝缘底座上开设有多个方形槽，所述绝缘底座的侧壁上开设有通槽，所述通槽内设有限位柱。

3、进一步的，所述真空腔室为双层中空，所述真空腔室上设有两个螺纹柱。

4、进一步的，所述密封腔门为圆形结构，所述密封腔门通过合页安装在设备外壳上，所述密封腔门靠近设备外壳的内壁上呈环形阵列安装有三个螺纹孔，所述密封腔门上开设有密封槽，所述密封槽内安装有橡胶圈。

5、进一步的，所述柱形座内开设有螺纹孔，所述前叉设置在端部，且一侧面上开设有螺纹孔。

6、进一步的，所述通槽为半圆形结构，多个所述绝缘底座首尾靠近，并呈环形结构，所述限位柱设置在两个相邻的通槽内。

7、进一步的，所述钨丝夹具设置在清刷夹具的两端，所述钨丝夹具之间设有钨丝。

8、进一步的，所述设备外壳的底部设有变径法兰座，所述限位柱与变径法兰座相连接，所述变径法兰座的底部安装有多个立柱。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、1、本实用新型通过设置真空腔室，实现真空环境下的高效除气，通过可控电子流轰击阳极部件材料表面，在真空环境中直接解吸气体分子，避免气体再吸附。动态电荷中和，设计多电极电场系统，实时导走表面电荷，消除高压击穿风险。污染物在线清除：结合低能电子流与红外辐照，分解有机污染物为可抽除气体。

11、2、本实用新型通过采用的钨丝作为电子源，对钨丝加载负高压电、阳极夹具上电势为0，钨丝发出电子束轰击材料表面起到除气、清洁的效果，相比较于传统接触式清洁可有效去除深层次中的有机物残留、气体残留等。

12、3、本实用新型通过多工位夹具与钨丝的布局，包括不限于钨丝与x、y、z三轴的距离、清刷面与灯丝的角度，可更好的接收钨丝所发出的电子束，避免应距离角度问题带来的清刷不均匀的现象。

13、4、本实用新型在清刷过程中，多工位清刷夹具与腔室上的六星电极法兰相互连接，六星电极法兰与皮安表进行连接，可通过皮安表监测每一个产品在电子清刷过程中的电流大小，通过调整电源所连接的一星电极法兰、电子源钨丝的固定夹具中的钨丝实时调节电压大小，起到闭环控制清刷电流的效果。

1.基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，包括设备外壳（1），所述设备外壳（1）内设有真空腔室（2），其特征在于，所述设备外壳（1）的顶部为敞口结构，并安装有密封腔门（3），所述设备外壳（1）的表面安装有视窗法兰（4）、盲板法兰（10）和六星电极法兰（6），所述设备外壳（1）上安装有两个相互对称的一星电极法兰（5），所述真空腔室（2）内设置有清刷夹具（9），所述真空腔室（2）内设置有两个钨丝夹具（8），所述钨丝夹具（8）的一端连接在一星电极法兰（5）上，所述钨丝夹具（8）包括柱形座（14）与前叉（15），所述清刷夹具（9）包括多个绝缘底座（11），所述绝缘底座（11）上开设有多个方形槽，所述绝缘底座（11）的侧壁上开设有通槽（12），所述通槽（12）内设有限位柱（13）。

2.如权利要求1所述基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，其特征在于，所述真空腔室（2）为双层中空，所述真空腔室（2）上设有两个螺纹柱。

3.如权利要求1所述基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，其特征在于，所述密封腔门（3）为圆形结构，所述密封腔门（3）通过合页安装在设备外壳（1）上，所述密封腔门（3）靠近设备外壳（1）的内壁上呈环形阵列安装有三个螺纹孔，所述密封腔门（3）上开设有密封槽，所述密封槽内安装有橡胶圈。

4.如权利要求1所述基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，其特征在于，所述柱形座（14）内开设有螺纹孔，所述前叉（15）设置在端部，且一侧面上开设有螺纹孔。

5.如权利要求1所述基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，其特征在于，所述通槽（12）为半圆形结构，多个所述绝缘底座（11）首尾靠近，并呈环形结构，所述限位柱（13）设置在两个相邻的通槽（12）内。

6.如权利要求1所述基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，其特征在于，所述钨丝夹具（8）设置在清刷夹具（9）的两端，所述钨丝夹具（8）之间设有钨丝。

7.如权利要求1所述基于超高真空下的阳极部件电子清刷装置，其特征在于，所述设备外壳（1）的底部设有变径法兰座，所述限位柱（13）与变径法兰座相连接，所述变径法兰座的底部安装有多个立柱（7）。