临时固定用组合物及晶片的制造方法与流程

本发明涉及一种临时固定用组合物及晶片的制造方法。

背景技术：

1、在电子器件等中所使用的晶片的制造中，需要用于防止因加工时的薄化而引起的破损的措施。作为该措施，采用如下方法：在晶片的与研削对象面相反的一侧的面（背面）赋予能够在加工结束后剥离的临时固定用组合物，并临时固定于支撑部件。

2、在专利文献1中记载有含有下述（a）～（c）的临时固定组合物。

3、（a）含有下述（a-1）及（a-2）的（甲基）丙烯酸酯

4、（a-1）侧链为碳原子数18以上的烷基且均聚物的tg为-100℃～60℃的单官能（甲基）丙烯酸酯

5、（a-2）多官能（甲基）丙烯酸酯

6、（b）聚异丁烯单独聚合物和/或聚异丁烯共聚物

7、（c）光自由基聚合引发剂。

8、并且，在专利文献1中，作为要解决的课题，记载有固化速度、旋转涂布工艺适应性、耐热性、高温真空下的低释气性、剥离速度不充分，或者尤其对uv激光剥离工艺的适性也同样不充分。

9、现有技术文献

10、专利文献

11、专利文献1：国际公开第2021/235406号

技术实现思路

1、本发明提供一种能够抑制照射激光起经过一定时间后的晶片与支撑部件的再粘着的临时固定用组合物。

2、根据本发明，提供以下所示的临时固定用组合物及晶片的制造方法。

3、1．一种临时固定用组合物，其包含：

4、包含（甲基）丙烯酸酯的聚合性成分（a），

5、光自由基聚合引发剂（b），及

6、紫外线吸收剂（c）；

7、基于下述方法1的碳粒子的产生面积的比率为0.50%以上。

8、（方法1）

9、在直径150mm×厚度625μm的圆盘形状的硅晶片与直径150mm×厚度700μm的圆盘形状的玻璃支撑部件之间赋予由所述临时固定用组合物组成的直径150mm×厚度50μm的圆盘形状的临时固定膜，由此贴合所述硅晶片与所述玻璃支撑部件。

10、接着，在氮气氛围下，从所述玻璃支撑部件侧对所述临时固定膜照射波长405nm的uv-led，由此使所述临时固定膜固化，获得固化膜，其中，uv-led的照度为100mw/cm2、照射时间为50秒、累积光量为5000mj/cm2。

11、接着，从所述玻璃支撑部件侧，对所获得的固化膜以扫描所述固化膜整体的方式照射波长355nm的uv激光，其中，uv激光为yag激光、输出为6.5w、光斑直径为150μm、照射间距为200μm、扫描速度为8m/秒、频率为40khz。

12、接着，将所述玻璃支撑部件从所述硅晶片剥离，使用光学显微镜以20倍的倍率观察所述玻璃支撑部件的中心部分的所述固化膜侧表面并进行拍摄，通过图像处理软件计算将200μm×200μm的1个视野的面积设为100%时的每1个视野的黑色部分的面积（%），并将其作为碳粒子的产生面积（%）。

13、2．根据1所述的临时固定用组合物，其中，

14、所述碳粒子包含炭黑。

15、3．根据1．或2．所述的临时固定用组合物，其中，

16、所述临时固定用组合物中的碳粒子的含量为1.0质量%以下。

17、4．根据1．至3．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

18、所述光自由基聚合引发剂（b）包含选自由双（2,4,6-三甲基苯甲酰基）苯基氧化膦及1-[9-乙基-6-（2-甲基苯甲酰基）-9h-咔唑-3-基]乙酮1-（o-乙酰肟）组成的组中的1种或2种以上。

19、5．根据1．至4．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

20、所述紫外线吸收剂（c）具有选自由二苯甲酮骨架、三唑骨架、羟基苯基三嗪骨架及酚骨架组成的组中的1种或2种以上的骨架。

21、6．根据1．至5．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

22、所述紫外线吸收剂（c）具有聚合性官能团。

23、7．根据6．所述的临时固定用组合物，其中，

24、所述聚合性官能团存在于所述紫外线吸收剂（c）的末端。

25、8．根据6．或7．所述的临时固定用组合物，其中，

26、所述聚合性官能团包含（甲基）丙烯酰基。

27、9．根据1．至8．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

28、相对于所述包含（甲基）丙烯酸酯的聚合性成分（a）100质量份，所述紫外线吸收剂（c）的含量为0.1质量份以上且20质量份以下。

29、10．根据1．至9．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

30、相对于所述临时固定用组合物100质量%，所述包含（甲基）丙烯酸酯的聚合性成分（a）的含量为50质量%以上且99质量%以下。

31、11．根据1．至10．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

32、相对于所述包含（甲基）丙烯酸酯的聚合性成分（a）100质量份，所述光自由基聚合引发剂（b）的含量为0.1质量份以上且10质量份以下。

33、12．根据1．至11．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

34、所述包含（甲基）丙烯酸酯的聚合性成分（a）包含选自由单官能（甲基）丙烯酸酯及双官能（甲基）丙烯酸酯组成的组中的1种或2种以上。

35、13．根据1．至12．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

36、所述包含（甲基）丙烯酸酯的聚合性成分（a）包含选自由具有烷基的单官能烷基（甲基）丙烯酸酯、芳香族（甲基）丙烯酸酯、脂环式双官能（甲基）丙烯酸酯及非环式双官能（甲基）丙烯酸酯组成的组中的1种或2种以上。

37、14．根据13．所述的临时固定用组合物，其中，

38、所述芳香族（甲基）丙烯酸酯包含选自由9,9-双[4-（2-羟基c1～c20烷氧基）苯基]芴二（甲基）丙烯酸酯、9,9-双[4-（2-（甲基）丙烯酰氧基c1～c20烷氧基）苯基]芴、c1～c20烷氧基化双酚a二（甲基）丙烯酸酯、苄基二（甲基）丙烯酸酯、1,3-双（2-（甲基）丙烯酰氧基c1～c20烷基）苯、2,2-双（4-（甲基）丙烯酰氧基二乙氧基苯基）丙烷、壬基苯酚环氧乙烷改性（甲基）丙烯酸酯及它们的结构异构体组成的组中的1种或2种以上。

39、15．根据1．至14．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

40、使用e型粘度计，在温度23℃、剪切速率75s-1下测定的所述临时固定用组合物的粘度为100mpa•s以上且5000mpa•s以下。

41、16．根据1．至15．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

42、实施下述方法2时的波长355nm的激光的透射率为10.0%以下。

43、（方法2）

44、准备2片33mm×50mm、厚度700μm的长方形的tempax玻璃，在其中一个上滴加0.1g的所述临时固定用组合物，并用另一个夹住。

45、接着，对所获得的层叠体，在氮气氛围下，照射波长405nm的uv-led，由此使所述临时固定用组合物固化，获得透射率测定用试验片，其中，uv-led的照度为100mw/cm2、照射时间为50秒、累积光量为5000mj/cm2。

46、接着，关于所获得的透射率测定用试验片，使用分光光度计，在间距1.0nm、波长范围300～800nm下测定透射率。

47、接着，从所获得的透射率数据读取波长355nm的透射率，并将其设为波长355nm的透射率。

48、17．根据1．至16．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

49、基于下述方法3的激光照射刚完成后的剥离强度p1为0.01n以上且30.0n以下。

50、（方法3）

51、在直径150mm×厚度625μm的圆盘形状的硅晶片与直径150mm×厚度700μm的圆盘形状的玻璃支撑部件之间赋予由所述临时固定用组合物组成的直径150mm×厚度50μm的圆盘形状的临时固定膜，由此贴合所述硅晶片与所述玻璃支撑部件。

52、接着，在氮气氛围下，从所述玻璃支撑部件侧对所述临时固定膜照射波长405nm的uv-led，由此使所述临时固定膜固化，获得固化膜，其中，uv-led的照度为100mw/cm2、照射时间为50秒、累积光量为5000mj/cm2。

53、接着，从所述玻璃支撑部件侧，对所获得的固化膜以扫描所述固化膜整体的方式照射波长355nm的uv激光而获得层叠体，其中，uv激光为yag激光、输出为6.5w、光斑直径为150μm、照射间距为200μm、扫描速度为8m/秒、频率为40khz。

54、接着，在uv激光照射结束起1分钟以内，将所获得的层叠体以使所述硅晶片侧朝下的方式载置于吸附台并进行固定，贴附在所述玻璃支撑部件上安装有3个直径10mm的吸盘的吸附臂，以0.5mm/秒的速度将吸附臂向上垂直拉起，剥离所述玻璃支撑部件，测定在提起所述玻璃支撑部件时施加于所述吸附臂的载荷，并将其设为剥离强度p1（n）。

55、18．根据1．至17．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

56、基于下述方法4的完成激光照射起10分钟后的剥离强度p2为0.01n以上且50.0n以下。

57、（方法4）

58、在直径150mm×厚度625μm的圆盘形状的硅晶片与直径150mm×厚度700μm的圆盘形状的玻璃支撑部件之间赋予由所述临时固定用组合物组成的直径150mm×厚度50μm的圆盘形状的临时固定膜，由此贴合所述硅晶片与所述玻璃支撑部件。

59、接着，在氮气氛围下，从所述玻璃支撑部件侧对所述临时固定膜照射波长405nm的uv-led，由此使所述临时固定膜固化，获得固化膜，其中，uv-led的照度为100mw/cm2、照射时间为50秒、累积光量为5000mj/cm2。

60、接着，从所述玻璃支撑部件侧，对所获得的固化膜以扫描所述固化膜整体的方式照射波长355nm的uv激光而获得层叠体，其中，uv激光为yag激光、输出为6.5w、光斑直径为150μm、照射间距为200μm、扫描速度为8m/秒、频率为40khz。

61、接着，在完成uv激光照射起经过10分钟后，将所获得的层叠体以使所述硅晶片侧朝下的方式载置于吸附台并进行固定，贴附在所述玻璃支撑部件上安装有3个直径10mm的吸盘的吸附臂，以0.5mm/秒的速度将吸附臂向上垂直拉起，剥离所述玻璃支撑部件，测定在提起所述玻璃支撑部件时施加于所述吸附臂的载荷，并将其设为剥离强度p2（n）。

62、19．根据1．至18．中任一项所述的临时固定用组合物，其中，

63、基于下述方法5的激光照射后10分钟后的剥离强度p2相对于激光照射刚完成后的剥离强度p1的比（p2/p1）为2.0以下。

64、（方法5）

65、在直径150mm×厚度625μm的圆盘形状的硅晶片与直径150mm×厚度700μm的圆盘形状的玻璃支撑部件之间赋予由所述临时固定用组合物组成的直径150mm×厚度50μm的圆盘形状的临时固定膜，由此贴合所述硅晶片与所述玻璃支撑部件。

66、接着，在氮气氛围下，从所述玻璃支撑部件侧对所述临时固定膜照射波长405nm的uv-led，由此使所述临时固定膜固化，获得固化膜，其中，uv-led的照度为100mw/cm2、照射时间为50秒、累积光量为5000mj/cm2。

67、接着，从所述玻璃支撑部件侧，对所获得的固化膜以扫描所述固化膜整体的方式照射波长355nm的uv激光而获得层叠体，其中，uv激光为yag激光、输出为6.5w、光斑直径为150μm、照射间距为200μm、扫描速度为8m/秒、频率为40khz。

68、接着，在uv激光照射结束起1分钟以内，将所获得的层叠体以使所述硅晶片侧朝下的方式载置于吸附台并进行固定，贴附在所述玻璃支撑部件上安装有3个直径10mm的吸盘的吸附臂，以0.5mm/秒的速度将吸附臂向上垂直拉起，剥离所述玻璃支撑部件，测定在提起所述玻璃支撑部件时施加于所述吸附臂的载荷，并将其设为剥离强度p1（n）。

69、接着，以与上述相同的条件获得层叠体，并在完成uv激光照射起经过10分钟后，将所获得的层叠体以使所述硅晶片侧朝下的方式载置于吸附台并进行固定，贴附在所述玻璃支撑部件上安装有3个直径10mm的吸盘的吸附臂，以0.5mm/秒的速度将吸附臂向上垂直拉起，剥离所述玻璃支撑部件，测定在提起所述玻璃支撑部件时施加于所述吸附臂的载荷，并将其设为剥离强度p2（n）。

70、根据通过上述方法计算出的p1及p2计算p2/p1。

71、20．根据1．至19．中任一项所述的临时固定用组合物，其能够将支撑部件和晶片临时固定。

72、21．根据20．所述的临时固定用组合物，其中，

73、所述支撑部件包括玻璃支撑部件。

74、22．根据20．或21．所述的临时固定用组合物，其中，

75、所述晶片包括半导体晶片。

76、23．一种晶片的制造方法，其包括：

77、剥离工序，对依序具备支撑部件、1．至22．中任一项所述的临时固定用组合物的固化膜及晶片的结构体，从所述支撑部件侧照射波长300nm以上且385nm以下的uv激光，通过分解所述临时固定用组合物的固化膜的至少一部分而产生碳粒子，并使所述晶片和所述支撑部件剥离。

78、24．一种组合物，其包含：

79、聚合性成分（a）；

80、聚合引发剂（b）；及

81、紫外线吸收剂（c），

82、基于下述方法1的碳粒子的产生面积的比率为0.50%以上。

83、（方法1）

84、在直径150mm×厚度625μm的圆盘形状的硅晶片与直径150mm×厚度700μm的圆盘形状的玻璃支撑部件之间赋予由所述组合物组成的直径150mm×厚度50μm的圆盘形状的膜，由此贴合所述硅晶片与所述玻璃支撑部件。

85、接着，在氮气氛围下，从所述玻璃支撑部件侧对所述膜照射波长405nm的uv-led，由此使所述膜固化，获得固化膜，其中，uv-led的照度为100mw/cm2、照射时间为50秒、累积光量为5000mj/cm2。

86、接着，从所述玻璃支撑部件侧，对所获得的固化膜以扫描所述固化膜整体的方式照射波长355nm的uv激光，其中，uv激光为yag激光、输出为6.5w、光斑直径为150μm、照射间距为200μm、扫描速度为8m/秒、频率为40khz。

87、接着，将所述玻璃支撑部件从所述硅晶片剥离，使用光学显微镜以20倍的倍率观察所述玻璃支撑部件的中心部分的所述固化膜侧表面并进行拍摄，通过图像处理软件计算将200μm×200μm的1个视野的面积设为100%时的每1个视野的黑色部分的面积（%），并将其作为碳粒子的产生面积（%）。

88、根据本发明，能够提供一种能够抑制照射激光起经过一定时间后的晶片与支撑部件的再粘着的临时固定用组合物。