一种划片机工作台调平机构的制作方法

本技术涉及划片机，具体为一种划片机工作台调平机构。

背景技术：

1、划片机作为半导体制造、电子元件加工的关键精密设备，广泛用于硅集成电路、蓝宝石、太阳能电池片等材料的切割加工，其核心功能是将晶圆等基材分割为独立器件，切割精度直接决定成品率，确保精度要从工作台、θ转轴和主轴入手，而传统的工作台调平有研磨调整和螺栓调整工作台。研磨调整，该调整方式通过磨削支撑垫、环形固定座等部件调整高度，需反复拆装-测量-研磨，单次调平往往耗时数小时；螺栓调整工作台，即调整马达支撑座的水平度，进而改变工作台的水平度。但是设备在运行时，工作台的水平度会因为工况原因发生变化，当工作台发生倾斜时，由于三点固定调节的螺栓是锁紧在马达支撑座上，马达支撑座会变形，进而使其上的零部件受力，从而其余零部件精度，同样由于长期受力变形，后期在由工作台导致变形的基础上再发生变形，进一步影响整体设备后续的加工精度。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种划片机工作台调平机构，解决了现有划片机工作台调平方式，调平效率不高，同时存在调平后工作台后续发生倾斜时，由于刚性连接，工作台容易发生变形的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

3、一种划片机工作台调平机构，包括调平底板以及马达支撑座，马达支撑座之间通过三点支撑安装在调平底板上方，其中一点通过固定组件可拆卸连接，固定组件包括锁紧螺栓、底板垫片、球形垫片与支撑座垫片，底板垫片上开设有与球形垫片匹配的弧形凹槽，球形垫片上套接有支撑座垫片，支撑座垫片与马达支撑座相抵触，锁紧螺栓依次穿过马达支撑座、支撑座垫片、球形垫片与底板垫片以锁紧固定马达支撑座与调平底板；另外两点通过调节组件配合锁紧螺栓可拆卸连接，调节组件包括调整螺套，调整螺套螺纹连接在马达支撑座内腔，调整螺套一端布置有与底板垫片上弧形凹槽匹配的弧形凸起，锁紧螺栓依次穿过马达支撑座、调整螺套与底板垫片以锁紧固定马达支撑座与调平底板，转动调整螺套可带动马达支撑座一侧沿着竖直方向移动。

4、优选的，所述调节组件还包括六角套，六角套插接布置在调整螺套上部，转动六角套可同步带动调整螺套转动。

5、优选的，所述六角套与调整螺套一端均开设有开口，两两开口处错位插接卡合。

6、优选的，位于靠近固定组件安装支点处的锁紧螺栓上部依次活动套接有一对水平垫片与一对碟型垫片，一对碟型垫片布置在两水平垫片之间，位于下方的水平垫片与马达支撑座的端面抵触。

7、优选的，所述锁紧螺栓与支撑座垫片、底板垫片、球形垫片、六角套以及调整螺套均活动套接。

8、本实用新型具备以下有益效果：

9、该划片机工作台调平机构，通过设置的固定组件调节组件，在需要对安装在dd马达上的工作台进行调平时，即将通过调整马达支撑座来调平工作台，通过转动调整螺套，调节螺套沿着马达支撑座内腔的螺纹向下或上移动，进而推动马达支撑座同步向下或者向上。调整螺套向下运动时，调整螺套的底部弧形凸起会与底板垫片的弧形凹槽相互接触，此时该点的受力仍然是垂直于弧面，在马达支撑座发生倾斜时，能够防止马达支撑座因为受力不均匀而发生变形。通过转动两个支点处的调整螺套，使马达支撑座到达需要的水平位置，完成调节，此时只需将两个支点对应的锁紧螺栓拧紧，完成锁定，即可完成工作台调平操作。

1.一种划片机工作台调平机构，包括调平底板以及马达支撑座，其特征在于：马达支撑座之间通过三点支撑安装在调平底板上方，其中一点通过固定组件可拆卸连接，固定组件包括锁紧螺栓、底板垫片、球形垫片与支撑座垫片，底板垫片上开设有与球形垫片匹配的弧形凹槽，球形垫片上套接有支撑座垫片，支撑座垫片与马达支撑座相抵触，锁紧螺栓依次穿过马达支撑座、支撑座垫片、球形垫片与底板垫片以锁紧固定马达支撑座与调平底板；另外两点通过调节组件配合锁紧螺栓可拆卸连接，调节组件包括调整螺套，调整螺套螺纹连接在马达支撑座内腔，调整螺套一端布置有与底板垫片上弧形凹槽匹配的弧形凸起，锁紧螺栓依次穿过马达支撑座、调整螺套与底板垫片以锁紧固定马达支撑座与调平底板，转动调整螺套可带动马达支撑座一侧沿着竖直方向移动。

2.根据权利要求1所述的划片机工作台调平机构，其特征在于：所述调节组件还包括六角套，六角套插接布置在调整螺套上部，转动六角套可同步带动调整螺套转动。

3.根据权利要求2所述的划片机工作台调平机构，其特征在于：所述六角套与调整螺套一端均开设有开口，两两开口处错位插接卡合。

4.根据权利要求3所述的划片机工作台调平机构，其特征在于：位于靠近固定组件安装支点处的锁紧螺栓上部依次活动套接有一对水平垫片与一对碟型垫片，一对碟型垫片布置在两水平垫片之间，位于下方的水平垫片与马达支撑座的端面抵触。

5.根据权利要求4所述的划片机工作台调平机构，其特征在于：所述锁紧螺栓与支撑座垫片、底板垫片、球形垫片、六角套以及调整螺套均活动套接。