一种聚二甲基硅氧烷双疏涂层、制备方法及应用与流程

技术特征：
1.一种聚二甲基硅氧烷双疏涂层，其特征在于，所述聚二甲基硅氧烷双疏涂层包括原料：羟基聚二甲基硅氧烷、巯基化合物、含氟丙烯酸酯、固化剂和引发剂。2.根据权利要求1所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层，其特征在于，羟基聚二甲基硅氧烷、巯基化合物和固化剂的质量比为1~3:1:0.1~0.4；巯基化合物、含氟丙烯酸酯和引发剂的质量比为1:0.6~3:0.01~0.3。3.根据权利要求2所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层，其特征在于，制备所述聚二甲基硅氧烷双疏涂层的原料还包括填料粒子，所述羟基聚二甲基硅氧烷与所述填料粒子的质量比为1:0.5~2.5。4.根据权利要求3所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层，其特征在于，所述填料粒子包括微米级粒子和纳米级粒子；所述微米级粒子的粒径为2~10μm，所述纳米级粒子的粒径为10~30nm；所述微米级粒子和所述纳米级粒子各自独立的选自疏水改性的sio2、tio2、al2o3、聚四氟乙烯、氟化石墨、中空微玻璃球中的一种或几种。5.根据权利要求4所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层，其特征在于，所述聚二甲基硅氧烷双疏涂层的水接触角为132
°
~154
°
，所述聚二甲基硅氧烷双疏涂层的油接触角114
°
~129
°
。6.一种权利要求1-5任一项所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将羟基聚二甲基硅氧烷、巯基化合物、固化剂和溶剂i配置成混合液i，将混合液i涂覆于基材表面，固化；（2）将含氟丙烯酸酯、引发剂和溶剂ii配置成混合液ii，将步骤（1）混合液i固化后的基材浸渍于混合液ii中，光照，老化后得到聚二甲基硅氧烷双疏涂层。7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述聚二甲基硅氧烷双疏涂层制备过程中所用原料还包括填料粒子，步骤（1）中将羟基聚二甲基硅氧烷、巯基化合物、填料粒子、固化剂和溶剂i配置成混合液i；所述填料粒子质量为混合液i质量的5%~20%。8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中将混合液i涂覆于基材表面之前，还包括对基材预处理，所述预处理包括冲洗基材。9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述羟基聚二甲基硅氧烷的质量为溶剂i质量的10%~20%；所述含氟丙烯酸酯的质量为混合液ii质量的20%~30%；所述引发剂的质量为混合液ii质量的0.1%~3%。10.根据权利要求9所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层的制备方法，其特征在于，步骤（1）中混合液i经搅拌、脱泡后涂覆于基材表面；和/或，步骤（1）中固化的条件包括：时间为8~12 h；和/或，步骤（2）中光照的条件包括：采用紫外线照射，所述紫外线的波长为300~380 nm，功率为8~12 w，紫外线照射时间为2~8 h；和/或，步骤（2）中老化的条件包括：温度为40~60 ℃，时间为1~5 h。11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，
所述巯基化合物至少包括四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯，二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)，三羟甲基丙烷三（3-巯基丙酸）酯，四臂聚乙二醇巯基，3-巯基-1-丙醇，1,4-丁二醇二(巯基乙酸酯)，二(2-巯基乙基)己二酸酯，二异丙基2,3-二巯基琥珀酸酯，1,4-丁二硫醇，二(巯基乙酸)乙二醇酯中的一种或几种；所述固化剂至少包括异氰酸酯，醋酸和丁二胺，丁酮肟，甲乙酮肟中的一种或几种；所述含氟丙烯酸酯至少包括1h,1h,2h,2h-全氟癸基丙烯酸酯、1h,1h,2h,2h-全氟辛基甲基丙烯酸酯、2-(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟辛基)乙基甲基丙烯酸酯、全氟烷基乙基甲基丙烯酸酯，十三氟辛基丙烯酸酯、全氟十一烷基丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基甲基丙烯酸酯中的一种或几种；所述引发剂至少包括安息香二甲醚、二甲苯酮、光引发剂184中一种或几种；所述基材选自玻璃片、钢材、木材、纸张、大理石和棉布中的一种；所述溶剂i选自二氯甲烷、氯仿、n,n-二甲基甲酰胺、四氢呋喃、丙酮和正己烷中的一种或几种；所述溶剂ii选自丙酮、无水乙醇、异丙醇、正丁醇、二氯甲烷、正己烷、甲苯、四氢呋喃、乙酸乙酯、n,n-二甲基甲酰胺中的一种或几种。12.一种权利要求1-5任一项所述的聚二甲基硅氧烷双疏涂层或权利要求6-11任一项所述的制备方法所制备的聚二甲基硅氧烷双疏涂层在化学机械平坦化过程中抛光设备清洁中的应用。

技术总结
本发明涉及一种聚二甲基硅氧烷双疏涂层、制备方法及应用。一种聚二甲基硅氧烷双疏涂层，聚二甲基硅氧烷双疏涂层包括原料：羟基聚二甲基硅氧烷、巯基化合物、含氟丙烯酸酯、固化剂和引发剂。聚二甲基硅氧烷双疏涂层的制备方法，包括如下步骤：（1）将羟基聚二甲基硅氧烷、巯基化合物、固化剂和溶剂I配置成混合液I，将混合液I涂覆于基材表面，固化；（2）将含氟丙烯酸酯、引发剂和溶剂II配置成混合液II，将步骤I固化后的基材浸渍于混合液II中，光照，老化后得到聚二甲基硅氧烷双疏涂层。本发明制备的聚二甲基硅氧烷涂层具有优异的双疏性能。二甲基硅氧烷涂层具有优异的双疏性能。二甲基硅氧烷涂层具有优异的双疏性能。


技术研发人员：薛芳 蒋继乐
受保护的技术使用者：北京特思迪半导体设备有限公司
技术研发日：2023.09.04
技术公布日：2023/10/19