测温装置及包括测温装置的炉的制作方法

1.本技术涉及一种炉，特别涉及一种包括测温装置的炉。


背景技术：

2.在一些炉中包括加热区和冷却区，加工元件在加热区中吸收热量，并且在冷却区中吸收冷量，以完成各种加工工艺。例如晶体硅太阳能电池硅晶片等光伏器件在烧结炉完成光伏器件的烧结加工，电路板在回流焊炉中完成焊接加工以将电子元件焊接到电路板上。在这些炉中，加工元件吸收的热量或冷量需要被准确地控制。


技术实现要素：

3.本技术在第一方面的至少一个目的是提供一种测温装置，用于检测炉的炉膛中的加工元件的温度，所述炉的顶壁具有炉膛顶部开口，包括：温度探测组件，所述温度探测组件被配置为探测所述加工元件的温度；支撑护罩，所述支撑护罩用于围绕所述炉的炉膛顶部开口支撑在所述顶壁上，所述支撑护罩内部具有护罩空腔，所述护罩空腔通过所述炉膛顶部开口与所述炉膛连通；以及密封隔离装置，所述密封隔离装置连接至所述支撑护罩；其中，所述温度探测组件被支撑在所述支撑护罩上方，所述密封隔离装置被配置为从上方密封地封闭所述护罩空腔，以使得所述温度探测组件能够与所述炉膛内的气体隔离开。
4.根据上述第一方面，所述支撑护罩具有护罩顶部开口和护罩底部开口，所述护罩顶部开口和所述护罩底部开口通过所述护罩空腔连通；所述密封隔离装置连接在所述支撑护罩的顶部并密封地封闭所述护罩顶部开口，以将所述温度探测组件与所述炉膛内的气体隔离开。
5.根据上述第一方面，所述温度探测组件包括红外相机；其中所述支撑护罩和所述密封隔离装置被配置为支撑所述红外相机到达与所述炉的顶壁间隔一预设高度，以通过所述护罩空腔和所述炉膛顶部开口提供所述红外相机检测所述加工元件的温度的探测视野。
6.根据上述第一方面，所述密封隔离装置包括：安装座，所述安装座连接在所述支撑护罩的顶部；透光玻璃，所述透光玻璃连接至所述安装座，并且所述透光玻璃被配置为封闭所述护罩顶部开口；密封盖，所述密封盖盖设在所述透光玻璃上方，并与所述安装座相连，以将所述透光玻璃夹在所述安装座和所述密封盖之间。
7.根据上述第一方面，所述密封隔离装置还包括清洁气体引导装置，所述清洁气体引导装置被配置为引导清洁气体吹向所述透光玻璃的下表面。
8.根据上述第一方面，所述清洁气体引导装置包括清洁气体通道，所述清洁气体通道具有至少一个清洁气体入口和至少一个清洁气体出口，所述至少一个清洁气体出口被配置为引导吹向所述透光玻璃的下表面的清洁气体形成气帘。
9.根据上述第一方面，所述安装座包括安装板，所述安装板上设有安装板窗口和容纳通道，所述容纳通道用于容纳所述清洁气体引导装置，所述清洁气体引导装置的顶部与所述透光玻璃的下表面间隔一定距离，以形成所述至少一个清洁气体出口。
10.根据上述第一方面，所述密封盖包括密封垫和盖板，所述密封垫设置在所述安装座上方，所述盖板连接在所述密封垫上方，所述密封垫和所述盖板上分别设有密封垫窗口和盖板窗口，所述密封垫窗口和所述盖板窗口与所述透光玻璃对齐，以让出所述红外相机的探测视野。
11.根据上述第一方面，所述安装板包括透光玻璃容纳槽，所述透光玻璃容纳槽从所述安装板的上表面向下凹陷形成，所述透光玻璃被容纳在所述透光玻璃容纳槽内；所述安装板还包括设置在所述透光玻璃容纳槽下方的孔和隔板，所述隔板将所述孔分隔形成所述安装板窗口和所述容纳通道。
12.根据上述第一方面，所述隔板支撑在所述支撑护罩上，并且所述隔板的上表面与所述透光玻璃之间形成狭缝，其中所述清洁气体引导装置被配置为引导清洁气体经过所述狭缝吹向所述透光玻璃的下表面。
13.根据上述第一方面，所述测温装置还包括排污支架，所述排污支架连接在所述支撑护罩的护罩底部开口处，其中所述排污支架的顶部的外表面和所述支撑护罩的内表面之间具有至少一个排污口，所述排污支架被设置为引导所述支撑护罩的内表面附着的污染物通过所述排污口沿着所述排污支架的外表面排出，以避免所述污染物污染所述加工元件。
14.根据上述第一方面，所述支撑护罩的底部包括直壁，所述排污支架包括设置在所述支撑护罩内部的接收段和向外延伸出所述支撑护罩外的排出段，所述接收段的顶部与所述直壁之间间隔形成所述排污口以接收所述污染物。
15.根据上述第一方面，所述排污支架围绕所述护罩底部开口设置，并且支撑在所述炉膛中。
16.本技术在第二方面的至少一个目的是提供一种炉，包括：炉膛，所述炉膛包括加热区和冷却区；输送装置，所述输送装置设置在所述炉膛内并沿输送方向延伸，所述输送装置被配置为承载加工元件穿过所述加热区和所述冷却区；根据第一方面中任一项所述的至少一个测温装置，所述测温装置被配置检测所述加工元件在所述炉膛内的温度。
17.根据上述第二方面，所述炉为烧结炉，所述炉的炉膛包括烘干区、烧结区和冷却区，其中所述测温装置设置在所述烘干区的出口和/或所述烧结区的出口处。
18.通过下文中参照附图对本技术所作的描述，本技术的其它目的和优点将显而易见，并可帮助对本技术有全面的理解。
附图说明
19.图1为根据本技术的一个实施例的烧结炉的立体结构图；
20.图2为图1所示烧结炉的原理示意图；
21.图3a为图1中的炉膛及测温装置的立体结构图；
22.图3b为图3a的局部分解图；
23.图4为图1中的炉膛及测温装置的沿炉膛宽度方向的剖视图；
24.图5a为图1中的测温装置省去温度探测组件后的立体结构图；
25.图5b为图5a的分解图；
26.图5c为图5a沿炉膛宽度方向的剖视图；
27.图5d为图5a沿炉膛长度方向的剖视图；
28.图6a为根据本技术的另一个实施例中测温装置的立体结构图；
29.图6b为6a所示测温装置省去温度探测组件后沿宽度方向的剖视图；
30.图6c为图6a的分解图；
31.图7为根据本技术的一个实施例的控制装置的结构图。
具体实施方式
32.下面将参考构成本说明书一部分的附图对本技术的各种具体实施方式进行描述。应该理解的是，虽然在本技术中使用表示方向的术语，诸如“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等描述本技术的各种示例结构部分和元件，但是在此使用这些术语只是为了方便说明的目的，基于附图中显示的示例方位而确定的。由于本技术所公开的实施例可以按照不同的方向设置，所以这些表示方向的术语只是作为说明而不应视作为限制。
33.图1为根据本技术的一个实施例的烧结炉100的立体结构图，用于示出烧结炉100的外部结构。如图1所示，烧结炉100包括外壳101、炉膛112和输送装置108。炉膛112设置在外壳101内，并且沿烧结炉100的长度方向延伸并贯穿外壳101。输送装置108用于承载并使加工元件202(参见图2)在炉膛112中沿着输送方向移动，以完成加工元件202的各个处理过程。在本实施例中，输送装置108沿烧结炉100的长度方向延伸并贯穿炉膛112，输送方向即为烧结炉100的长度方向。加工元件202从烧结炉100的长度方向上的一端进入炉膛112，在炉膛112中完成各个处理过程后，从烧结炉100的长度方向上的另一端输出。以下为了便于描述，将烧结炉100的长度方向简称为长度方向，将烧结炉100的宽度方向简称为宽度方向。
34.烧结炉100还包括显示装置106，显示装置106用于与烧结炉100的控制器760(参见图7所示)通信连接，以实现对烧结炉100的输入控制以及输出控制。
35.图2为烧结炉100的原理示意图，用于说明烧结炉100对加工元件202的各个处理过程。如图2所示，烧结炉100的炉膛112包括沿长度方向l并排设置的包括加热区和冷却区207在内的多个处理区，在本实施例中加热区包括烘干区203和烧结区205。加工元件202被承载在输送装置108上，沿着长度方向l从炉膛112的左端依次经过烘干区203、烧结区205和冷却区207后从炉膛112的右端输出。烘干区203和烧结区205中设有加热元件(图中未示出)，以对行进到烘干区203和烧结区205中的加工元件202进行加热。冷却区207中设有冷却元件(图中未示出)，以对行进冷却区207中的加工元件202进行冷却。
36.在本实施例中，加工元件202为光伏器件。在烘干区203中，光伏器件吸收热量以进行烘干处理，以使得光伏器件上印刷的浆料中有机物等能够挥发。在烧结区205中，光伏器件继续吸收热量以进行烧结处理，以使得光伏器件上的电极材料和硅加热达到共晶温度，硅原子以一定比例溶入到熔融状态的电极材料中。在冷却区207中，光伏器件吸收冷量以进行冷却处理，以使得溶入电极材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来，使得电极与硅之间形成欧姆接触，从而得到太阳能电池。
37.烧结炉100还包括至少一个测温装置，测温装置用于检测光伏器件在被输送到炉膛112内的某个确定位置处时，光伏器件的温度，并向控制器760(参见图7)提供温度数据。作为一个示例，至少一个测温装置包括多个测温装置，多个测温装置被配置为检测光伏器件在炉膛112中的选定处理区中两个或更多独立位置处的温度。在本实施例中，选定处理区
为烘干区203和烧结区205，多个测温装置包括设置在烘干区203的入口处的测温装置210a、设置在烘干区203的出口处的测温装置210b和设置在烧结区205的出口处的测温装置210c。通过设置测温装置210a、210b和210c，能够得到光伏器件在烘干区203的入口处、烘干区203的出口处以及烧结区205的出口处的温度。在其他实施例中，选定处理区也可以包括冷却区207，并且数个测温装置也可以包括更多的测温装置以确定光伏器件被输送到炉膛112更多位置处时光伏器件的温度。在一些实施例中，测温装置可以仅包括测温装置210b和210c，而不包括测温装置210a。
38.基于测温装置210a、210b和210c检测并提供的温度数据，控制器760能够对烧结炉100的各个处理区的温度提供闭环控制。作为一个示例，闭环控制可以包括控制加热元件和/或冷却元件的功率、输送装置的输送速度等控制方法。具体来说，控制器760被配置为，将测温装置检测的光伏器件的温度数据与相应的处理区的温度预设值进行比较，并根据比较结果对相应的处理区的温度进行闭环控制。作为一个具体的示例，烘干区203中的温度预设值为300℃左右，如果测温装置210b检测的温度数据大于300℃，则降低烘干区203中的加热元件的功率或者提高输送装置108的输送速度。如果测温装置210b检测的温度数据小于300℃，则提高烘干区203中的加热元件的功率或者降低输送装置108的输送速度。类似的，对测温装置210c检测的温度数据与烧结区205的温度预设值进行类似的比较，并根据比较结果对烧结区205的温度进行闭环控制。
39.本领域技术人员可以理解的是，虽然本实施例中示出的测温装置用于烧结炉中对光伏器件的温度检测，在其他实施例中，测温装置也可以用于用于回流焊炉、波峰焊炉等炉中的电路板的温度检测。根据具体的炉，可以将测温装置设置在不同的位置，以检测需要位置处的加工元件的温度。
40.图3a和图3b示出了炉膛112和测温装置210，用于说明测温装置210的大致结构以及温度探测组件323的具体结构。图3a示出炉膛112和测温装置210的立体结构图，图3b示出图3a在测温装置210处的局部分解图。其中，在图3a和图3b中的炉膛112省去了烧结炉100的冷却区207，仅示出了烘干区203和烧结区205。如图3a和图3b所示，炉膛112的顶壁311上设有炉膛顶部开口313，炉膛顶部开口313大致为长方形开口。通过炉膛顶部开口313，炉膛112的内部与炉膛外部能够流体连通。
41.测温装置210包括温度探测组件323、密封隔离装置322和支撑护罩321。支撑护罩321围绕炉膛顶部开口313支撑在顶壁311上方。支撑护罩321内具有通过炉膛顶部开口313与炉膛112内部流体连通的护罩空腔451(参见图4)。温度探测组件323连接在支撑护罩321上方，通过护罩空腔451和炉膛顶部开口313探测炉膛112内部的光伏器件的温度。密封隔离装置322连接在温度探测组件323和炉膛顶部开口313之间，以使得温度探测组件323与炉膛112内的气氛能够被密封隔离装置322隔离开。在本实施例中，温度探测组件323包括红外相机325和相机支架324，红外相机325安装至相机支架324。密封隔离装置322包括透光玻璃432(参见图4)，透光玻璃432能够在允许红外光透过的同时，阻挡炉膛112中的气体通过。由此，红外相机325能够通过密封隔离装置322的透光玻璃432、护罩空腔451和炉膛顶部开口313接收炉膛112内部的光伏器件的红外线辐射，从而检测光伏器件的温度。在本实施例中，红外相机325为线性扫描红外相机325，在光伏器件被输送装置108沿长度方向输送时，通过扫描光伏器件在每个宽度方向上的红外线辐射来获得光伏器件的各个宽度方向上的温度，
从而得到光伏器件的温度数据。红外相机325包括通信接口326，通信接口326用于与控制器760通信连接，以将红外相机325检测到的光伏器件的温度数据传送到控制器760。
42.在本实施例中，密封隔离装置332连接在支撑护罩321的顶部，并封闭支撑护罩321的护罩顶部开口452(参见图4)。密封隔离装置322还包括从其底部向上延伸的安装杆337，安装杆337用于将相机支架324连接到密封隔离装置322上，从而将红外相机325安装到密封隔离装置322上方。在其他实施例中，密封隔离装置322也可以连接在支撑护罩321的其他位置，仅需要位于温度探测组件323和炉膛顶部开口313之间即可。
43.相机支架324包括水冷却装置327、盖329和气体冷却装置328。水冷却装置327与冷却水源流体连通，其环绕红外相机325设置，用于引导冷却水流动来冷却红外相机325。盖329为红外光能够透过的玻璃，其设置在红外相机325下方，以从下方保护红外相机325。气体冷却装置328用于与惰性气体源或压缩气体源等冷却气体源流体连通，用于引导冷却气体吹向盖329的下表面，以清洁并且冷却盖329。由此，相机支架324能够在一定程度上起到保护红外相机325的作用。
44.烧结炉100的炉膛112中的气体温度较高，特别是烧结区205中的气体温度可以达到1000～2000℃左右，并且炉膛112中的气体往往还夹杂有污染物。虽然相机支架324能够在一定程度上起到保护红外相机325的作用，但是当炉膛112中的气体温度过高时，相机支架324对红外相机325的保护效果有限。此外，相机支架324需要与红外相机325的结构和形状匹配，适用性不强。而本技术通过设置密封隔离装置332，能够防止炉膛112内部的气体从支撑护罩321的护罩顶部开口452流出，能够防止高温气体流出造成的环境污染，并且能够更好地防止高温气体对红外相机325造成影响，从而起到更好的保护效果。此外，密封隔离装置332不需要受到红外相机325的形状和结构限制，适用性更强。
45.测温装置210还包括排污支架341，排污支架341连接在支撑护罩321的底部并且从支撑护罩321的底部边缘向外扩张。排污支架341用于引导支撑护罩321的内表面上附着的污染物排出，以避免污染物污染光伏器件。排污支架341的具体结构将结合图4进行详细说明。
46.图4为炉膛112和测温装置210的一个宽度方向的局部剖视图，用于说明温度探测装置323的检测加工元件202的温度的原理，其中图中未剖切温度探测组件323。如图4所示，支撑护罩321内部具有护罩空腔451，护罩空腔451在支撑护罩321的顶部形成护罩顶部开口452，护罩空腔451在支撑护罩321的底部形成护罩底部开口453，也就是说护罩顶部开口452和护罩底部开口453通过护罩空腔451连通。支撑护罩321和密封隔离装置322被配置为支撑红外相机325到达与顶壁311间隔预设高度h，以通过护罩空腔451和炉膛顶部开口313提供红外相机325检测加工元件202的温度的探测视野。在本实施例中，加工元件202在宽度方向上的边缘处的红外线辐射沿光路439经过炉膛顶部开口313、护罩空腔451和透光玻璃432后被温度探测组件323接收。当加工元件202被输送装置108沿长度方向输送时，温度探测组件323能够扫描加工元件202各个宽度方向上的温度，以获得加工元件202的温度数据。
47.支撑护罩321包括在宽度方向上相对设置的一对侧壁，每个侧壁包括相互连接的斜壁443和直壁445。直壁445的底部与炉膛112的顶壁311连接，斜壁443从直壁445的顶部向上并相对地倾斜延伸形成。由此，支撑护罩321内部的护罩空腔451能够提供红外相机325接收光路439所需要的探测视野。在一些实施例中，支撑护罩321也可以被设置为其他形状，仅
需要保证护罩空腔451能够和炉膛顶部开口313一起提供红外相机325所需的探测视野即可。
48.密封隔离装置332包括安装座431、透光玻璃432和密封盖435。安装座431连接在支撑护罩321的顶部，密封盖435连接在安装座431上方。密封盖435包括密封垫433和盖板434，透光玻璃432被夹在安装座431和密封盖435的密封垫433之间，盖板434盖在密封垫433的上方。密封隔离装置332的具体结构将结合图5a和图5b进行详细说明。
49.排污支架341连接在支撑护罩321的护罩底部开口453处。排污支架341的顶部的外表面和支撑护罩321的内表面之间间隔以形成至少一个排污口447，支撑护罩321的内表面上附着的污染物能够通过排污口447排出。在本实施例中，排污支架341包括接收段467和排出段468，接收段467设置在支撑护罩321内部，并且接收段467的顶部与支撑护罩321的直壁445之间间隔形成排污口447。排出段468从接收段467的底部向外延伸而出，伸入炉膛112的保温层448中。作为一个示例，排污支架341通过一体弯折工艺形成，并且排污支架341通过其顶部与支撑护罩321相连。在其他实施例中，排污支架341也可以被设置为其他形状，或者排污支架341的其他部位与支撑护罩321连接。通过在支撑护罩321的底部设置排污支架341，炉膛112中的高温气体在进入护罩空腔451后，高温气体中夹杂的污染物能够冷凝或直接附着在支撑护罩321的内表面上，然后通过排污口447顺着排污支架341的外表面排出到炉膛112的保温层448中。由此，污染物不会直接从炉膛顶部开口313落到加工元件202上。
50.图5a-图5d示出了测温装置在省去温度探测组件后的具体结构，其中图5a示出排污支架341、支撑护罩321和密封隔离装置322的立体结构图，图5b示出图5a中的密封隔离装置322的分解图，图5c示出图5a沿宽度方向的剖视图，图5d示出图5a沿长度方向的剖视图。如图5a-图5d所示，密封隔离装置332的安装座431包括安装板536和安装杆337，安装杆337连接在安装板536的上表面上，用于与温度探测组件323连接。安装板536中部设有透光玻璃容纳槽538，透光玻璃容纳槽538从安装板536的上表面向下凹陷形成。透光玻璃容纳槽538的槽深大致与透光玻璃432的厚度匹配，以使得透光玻璃432能够被容纳在透光玻璃容纳槽538内。
51.安装板536在透光玻璃容纳槽538下方设有安装板窗口563。同样的，在密封垫433上的相应位置处设有密封垫窗口562，在盖板434上的相应位置处设有盖板窗口561。安装板窗口563、密封垫窗口562和盖板窗口561与透光玻璃432对齐，以让出温度探测组件323的探测视野，以使得加工元件202形成的红外光辐射能够依次穿过安装板窗口563、透光玻璃432、密封垫窗口562和盖板窗口561后被温度探测组件323接收。
52.在本实施例中，安装板536在透光玻璃容纳槽538下方设有孔539和隔板565，隔板565将孔539分隔形成在长度方向上并排的安装板窗口563和容纳通道564。孔539的尺寸大于密封垫窗口562和盖板窗口561的尺寸，但是小于透光玻璃容纳槽538的尺寸。由此，密封垫433能够从透光玻璃432的上方阻挡护罩空腔451中的与炉膛112连通的气体泄露。
53.密封隔离装置322还包括清洁气体引导装置554，清洁气体引导装置554用于引导清洁气体吹向透光玻璃432的下表面。清洁气体引导装置554大致呈拐角形状，具有大致垂直并相互连接的纵向端571和横向端572。清洁气体引导装置554的纵向端571被夹在孔539和隔板565之间并容纳在容纳通道564中，并且纵向端571的顶部与透光玻璃432间隔一定距离。清洁气体引导装置554的横向端572连接在安装板536下方并且大致与安装板536平行。
清洁气体引导装置554中设有清洁气体通道557，清洁气体通道557具有至少一个清洁气体入口555和至少一个清洁气体出口556。在本实施例中，清洁气体通道557具有两个清洁气体入口555和一个清洁气体出口556，清洁气体通道557的一部分设置在横向端572内，并与横向端572平行延伸，另一部分设置在纵向端571内，并于纵向端571平行延伸。两个清洁气体入口555位于横向端572的外侧，均用于与惰性气体源或者压缩空气源流体连通，以向清洁气体通道557中输入清洁气体。清洁气体出口556位于纵向端571的顶部并沿宽度方向延伸以连通两个清洁气体入口555，并且清洁气体出口556与透光玻璃432的下表面间隔一定距离，以将清洁气体向透光玻璃432的下表面吹出。由此，清洁气体从清洁气体入口555进入清洁气体通道557后，先沿着横向端572横向流动，再沿着纵向端571向上流动到纵向端571的顶部并从清洁气体出口556吹向透光玻璃432的下表面。
54.在本实施例中，隔板565的上表面大致与纵向端571的顶部的高度对齐，并且侧面与支撑护罩321对齐。也就是说，隔板565的上表面与透光玻璃432的下表面间隔一定距离，例如形成狭缝569。通过设置狭缝569，从清洁气体出口556吹出的清洁气体能够继续沿着透光玻璃432流动以形成气帘，一方面用于清洁透光玻璃432的下表面，另一方面防止气体从透光玻璃432的下方泄露。在其他实施例中，清洁气体引导装置554也可以被设置为其他形状和结构，达到相同的作用即可。
55.图6a-图6c示出了本技术的另一个实施例中的测温装置610的具体结构，其中图6a为测温装置610的立体结构图，图6b为省去温度探测组件323后，测温装置610沿宽度方向的剖视图，图6c为测温装置610的分解图。如图6a-6c所示，测温装置610和测温装置210的结构大致相同，也包括温度探测组件323、密封隔离装置322和支撑护罩321，区别在于测温装置610中的排污支架641的结构与测温装置210中的排污支架341的结构不同。
56.具体来说，排污支架641包括相互连接的接收段667和排出段668，接收段667设置在支撑护罩321的内部，并且接收段667与支撑护罩321的直壁445之间间隔形成排污口647。排出段668从接收段667的底部向外延伸而出。排出段668的底部连接有支撑板649，排出段668和支撑板649伸入炉膛112的保温层448中。在本实施例中，排污支架641不再直接与支撑护罩321连接，而是通过支撑板649与炉膛112连接。在支撑护罩321连接在炉膛112的顶壁311上时，排污支架641与支撑护罩321的相对位置也就能够得到固定。并且在本实施例中，接收段667和排出段668被设置为环形，以使得排污支架641即使不与支撑护罩321固定，也能够具有很好的强度。此外，在本实施例中，接收段667大致与直壁445平行，以便于污染物从排污口647进入后能够向下流动。本实施例中的排污支架641相较于排污支架341来说，更加便于加工制造。
57.图7为控制器760的示意性的结构框图。如图7所示，控制器760包括总线781、处理器782、输入接口773、输出接口774以及具有控制程序776的存储器775。控制装置760中各个部件，包括处理器782、输入接口773、输出接口774以及存储器775与总线781通信相连，使得处理器782能够控制输入接口773、输出接口774以及存储器775的运行。具体地说，存储器775用于存储程序、指令和数据，而处理器782从存储器775读取程序、指令和数据，并且能向存储器775写入数据。通过执行从存储器775读取的程序和指令，处理器782控制输入接口773、输出接口774的运行。
58.如图7所示，输入接口773通过连接777与测温装置210以及显示装置106通信连接，
以接收测温装置210提供的温度数据和显示装置106接收的控制指令，并将温度数据和控制指令存储到存储器775中。输出接口774通过连接778与烧结炉100的炉膛112中的加热元件以及输送装置108通信连接。通过执行存储器775中的程序776和接收的指令，控制器760对炉膛112中的各个处理区的温度提供闭环控制。
59.在现有的烧结炉中，一般通过热探针来检测炉膛的各个处理区中气体温度，并且通过智能软件等在需要时对烧结炉的设置进行修改，以将各个处理区内的温度保持在规定的范围内，从而保证光伏器件在烧结炉中的加工成品率。在烧结炉工作过程中，如果光伏器件的实际温度与炉膛的各个处理区中的气体温度不一致，将导致光伏器件在烧结炉的各个处理区中吸收的热量或冷量不能被准确的控制，从而使得光伏器件损坏或者存在产品缺陷。
60.本技术通过测温装置直接检测烧结炉中的光伏器件的温度，而不是检测烧结炉中的气体温度，能够更加直接地控制光伏器件在烧结炉的各个处理区中吸收的热量或冷量，从而提高产品的成品率。
61.并且本技术的测温装置通过设置密封隔离装置，能够防止炉膛内部的气体从支撑护罩的护罩顶部开口流出，能够防止高温气体流出造成的环境污染，并且能够更好地防止高温气体对红外相机造成影响，从而起到更好的保护效果。此外，密封隔离装置不需要受到红外相机的形状和结构限制，适用性更强。
62.尽管已经结合以上概述的实施例的实例描述了本公开，但是对于本领域中至少具有普通技术的人员而言，各种替代方案、修改、变化、改进和/或基本等同方案，无论是已知的或是现在或可以不久预见的，都可能是显而易见的。另外，本说明书中所描述的技术效果和/或技术问题是示例性而不是限制性的；所以本说明书中的披露可能用于解决其他技术问题和具有其他技术效果和/或可以解决其他技术问题。因此，如上陈述的本公开的实施例的实例旨在是说明性而不是限制性的。在不背离本公开的精神或范围的情况下，可以进行各种改变。因此，本公开旨在包括所有已知或较早开发的替代方案、修改、变化、改进和/或基本等同方案。