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基材处理系统的制作方法

2023-08-30 18:06:12 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于处理制品的系统,其中所述系统包括:一段,适合容纳局部大气和90kpa至110kpa范围内的内部压力;所述段包括一模块;所述模块包括一对电极;一歧管,用于将流体输送到这对电极;和其中这些电极适于在从所述歧管输送的流体沉积到所述制品上前对其进行通电。2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述段还包括偏压装置,所述偏压装置可以吸引由这些电极通电的流体。3.根据权利要求1或权利要求2所述的系统,其特征在于,所述模块连接到与流体储存器流体连通的共轨。4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,所述共轨还包括为所述模块供电的电连接。5.根据权利要求3或权利要求4所述的系统,其特征在于,所述共轨适于与所述模块配合并且可释放地将所述模块固定在一期望位置。6.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,一排气系统,布置在这些模块的相对下方,使得可以收集未沉积到所述基材上的至少一部分被通电的流体。7.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,所述系统还包括一系带系统,所述系带系统用于引导与所述模块相邻的基材。8.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,所述歧管包括多个入口歧管,所述入口歧管包括用于输送所述流体的多个孔。9.根据权利要求8所述的系统,其特征在于,一导管,延伸到所述入口歧管中。10.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,所述系统还包括雾化器、蒸发器和气雾器中的至少一个。11.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,这对电极涂覆有电介质材料。12.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,包括至少两个段,其中每个段在密封处连接到相邻段。13.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,一入口密封件,安装在段上并且适于将所述段与外部大气密封。14.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,通过从这些模块引入流体,所述系统的内部压力相对于环境大气增加。15.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其特征在于,当流体被通电时,可以在这些电极之间形成等离子体。

技术总结
一种处理制品的系统。所述系统包括一段,其适合容纳局部大气和90kPa至110kPa范围内的内部压力。所述段包含一个模块。所述模块包括一对电极和用于将流体输送到这对电极的歧管,其中这些电极适于在从歧管输送的流体沉积到制品上之前为流体提供能量。制品上之前为流体提供能量。制品上之前为流体提供能量。


技术研发人员:托马斯
受保护的技术使用者:施福克私人有限公司
技术研发日:2021.12.18
技术公布日:2023/8/29
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