一种高分辨率扫描电镜固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及扫描电镜技术领域，具体为一种高分辨率扫描电镜固定装置。


背景技术：

2.扫描电镜全称扫描电子显微镜，扫描电子显微镜技术的出现，使人类对物质表面微观世界的观察能力发生了质的飞跃，近年来，这一技术已经应用于各种学科领域，如冶金、材料、医学、地质学、生物学、机械加工、半导体制造及陶瓷品的检验等领域。
3.公开号为cn207163940u的专利公开了一种固定效果好的扫描电镜，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有底箱，所述底箱底部的两侧均固定连接有滚轮，所述工作台的顶部固定连接有图像采集基台。该实用新型通过按压连接板使伸缩柱和复位弹簧伸缩，使样品放置台底部的减震弹簧下压，通过插杆一端的卡块与样品放置台两侧的卡槽卡合，并通过夹持装置固定插杆，使样品放置台更加稳定，保证其样品不会位移，达到固定效果好的目的，但是该实用新型不能完全固定样品，对于一些异型的样品还是会产生位移，同时通过弹簧减震只能用于较轻的样品，对于较重的样品还是会产生位移。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种高分辨率扫描电镜固定装置，用于克服现有技术中的上述缺陷。
5.根据本实用新型的一种高分辨率扫描电镜固定装置，包括主箱体，所述主箱体右侧上端面固定设有支撑柱，所述支撑柱左端面固定设有支撑横梁，所述支撑横梁左端面固定设有扫描相机；
6.在所述主箱体上端面上设有可移动的支撑块，所述支撑块上端面内设有滑移腔，所述滑移腔后壁固定设有滑移磁铁，所述支撑块左右两端面均匀分布有四个下压块，所述下压块上端面固定设有下压磁铁。
7.优选的，所述主箱体上端面设有开口向上且呈u型开口状的移动槽，所述移动槽下壁设有移动腔。
8.优选的，所述移动腔内设有可移动的移动板，所述移动板上端面与所述支撑块下端面之间连接设有联动块，所述移动板前后贯穿设有螺纹孔。
9.优选的，所述主箱体前端面固定设有旋转电机，所述移动腔前后两壁之间穿过所述螺纹孔转动设有旋转杆，所述旋转杆与所述螺纹孔相互啮合，所述旋转杆前端动力连接于所述旋转电机。
10.优选的，所述滑移腔内设有可移动的滑移板，所述滑移板上下两端面贯穿设有均匀分布的滑槽，所述滑移板后端面与所述滑移磁铁前端面之间设有滑移弹簧。
11.优选的，所述支撑块上端面均匀分布有开口向上且贯穿所述滑槽且呈u型开口状的平移腔，所述平移腔内设有可移动的支撑杆，所述支撑杆下端面与所述平移腔下壁之间设有平移弹簧。
12.优选的，所述支撑块上端面上设有可移动的透明压板，所述透明压板为透明材料，所述下压块上端面固定设有滑杆，所述滑杆贯穿所述透明压板，所述透明压板与所述滑杆滑动连接，所述滑杆上端面固定设有限位板，在所述滑杆外圆面上所述透明压板下端面与所述下压磁铁上端面之间设有支撑弹簧。
13.与现有技术相比，本实用新型的优点是：
14.1.本实用新型在所述主箱体上端面设有开口向上的移动槽，可以使所述支撑块进行移动，进而可以使样品在扫描时移动，进而提高可扫描样品的范围，同时提高扫描效率。
15.2.本实用新型在所述支撑块上端面均匀分布有开口向上且贯穿所述滑槽的平移腔，可以根据样品的外形自动改变所述支撑杆的位置，进而使得样品固定得更加牢固，同时通过所述透明压板完全固定样品，避免样品滑动，进而提高扫描精度。
附图说明
16.图1是本实用新型的外观示意主视图；
17.图2是本实用新型的外观示意侧视图；
18.图3是本实用新型的外观示意俯视图；
19.图4是本实用新型的一种高分辨率扫描电镜固定装置的结构示意图；
20.图5为本实用新型的图1中a-a的示意图；
21.图6为本实用新型图4中平移腔的放大示意图。
22.图中：
23.11、主箱体；12、旋转电机；13、支撑柱；14、支撑横梁；15、扫描相机；16、透明压板；17、限位板；18、滑杆；19、支撑弹簧；20、支撑块；21、支撑杆；22、下压块；23、移动槽；24、旋转杆；25、移动腔；26、移动板；27、平移腔；28、滑移磁铁；29、滑移板；30、滑移弹簧；31、滑移腔；32、滑槽；33、平移弹簧；34、联动块；35、螺纹孔；36、下压磁铁。
具体实施方式
24.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
27.实施例1
28.参照图1-图6，为本实用新型第一个实施例，该实施例提供了一种高分辨率扫描电
镜固定装置的实例，包括主箱体11，所述主箱体11右侧上端面固定设有支撑柱13，所述支撑柱13伸出左端面固定设有支撑横梁14，所述支撑横梁14左端面固定设有扫描相机15；
29.在所述主箱体11上端面上设有可移动的支撑块20，所述支撑块20上端面内设有滑移腔31，所述滑移腔31后壁固定设有滑移磁铁28，所述支撑块20左右两端面均匀分布有四个下压块22，所述下压块22上端面固定设有下压磁铁36。
30.可以通过支撑块20支撑样品，同时通过透明压板16夹紧样品，进而避免样品在移动过程中产生滑动，同时通过支撑块20带动样品进行移动，进而方便扫描相机15进行扫描，
31.实施例2
32.参照图1-6，为本实用新型第二个实施例，该实施例基于上一个实施例，具体的，所述主箱体11上端面设有开口向上且呈u型开口状的移动槽23，所述移动槽23下壁设有移动腔25，所述移动腔25内设有可移动的移动板26，所述移动板26上端面与所述支撑块20下端面之间连接设有联动块34，所述移动板26前后贯穿设有螺纹孔35，所述主箱体11前端面固定设有旋转电机12，所述移动腔25前后两壁之间穿过所述螺纹孔35转动设有旋转杆24，所述旋转杆24与所述螺纹孔35相互啮合，所述旋转杆24前端动力连接于所述旋转电机12。
33.当旋转电机12启动时会带动旋转杆24转动，进而带动移动板26前后移动，进而带动联动块34前后移动，进而带动支撑块20前后移动，进而带动样品前后移动，进而方便对大型样品进行扫描。
34.实施例3
35.参照图1-6，为本实用新型第三个实施例，该实施例基于以上两个实施例，所述滑移腔31内设有可移动的滑移板29，所述滑移板29上下两端面贯穿设有均匀分布的滑槽32，所述滑移板29后端面与所述滑移磁铁28前端面之间设有滑移弹簧30，所述支撑块20上端面均匀分布有开口向上且贯穿所述滑槽32且呈u型开口状的平移腔27，所述平移腔27内设有可移动的支撑杆21，所述支撑杆21下端面与所述平移腔27下壁之间设有平移弹簧33，所述支撑块20上端面上设有可移动的透明压板16，所述透明压板16为透明材料，所述下压块22上端面固定设有滑杆18，所述滑杆18贯穿所述透明压板16，所述透明压板16与所述滑杆18滑动连接，所述滑杆18上端面固定设有限位板17，在所述滑杆18外圆面上所述透明压板16下端面与所述下压磁铁36上端面之间设有支撑弹簧19。
36.在没有扫描样品时透明压板16在支撑弹簧19的作用下向上移动，进而方便后期取放样品，同时滑移板29在滑移弹簧30的作用下向前移动，进而夹紧支撑杆21，当需要扫描样品时，先使滑移磁铁28通电，进而使得滑移板29向后移动，进而放松支撑杆21，使得支撑杆21在平移弹簧33的作用下向上移动，在把样品放置在支撑杆21上，在重力的作用下支撑杆21会更加样品的外形向下移动，在使得滑移磁铁28断电，进而使得滑移板29在滑移弹簧30的作用下向前移动，进而夹紧支撑杆21，进而使得支撑杆21根据样品的外形固定，进而支撑样品，随后使下压磁铁36通电，进而使得透明压板16向下移动，进而夹紧样品，进而使得样品完全固定，避免样品在移动时滑动。
37.以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。