一种任意厚度膜系的监控方法与流程

技术特征：
1.一种任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用薄膜设计软件设计膜系，如果设计的膜系为非规整膜系，采用薄膜设计软件模拟计算出非规整膜系中的每层膜在不同厚度时在监控波段范围内各个波长的反射率光谱曲线，得到每层膜的各个反射率光谱曲线；2)从每层膜的各个反射率光谱曲线寻找出每层膜达到正确厚度时的反射率极值，然后从反射率极值中选择一个合适的极值作为膜层的厚度监控波长，根据膜层的厚度监控波长监控设计的膜系的制造；当每层膜的各个反射率光谱曲线中不能寻找出达到正确厚度时的反射率极值，采用定值监控控制设计的膜系的制造。2.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，所述设计的膜系为非规整膜系，即非四分之一倍数的膜系。3.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，所述设计的膜系为多层减反射膜。4.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，所述设计的膜系在监控波段范围为透明介质膜。5.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，所述的监控波段范围为400～900nm。6.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，所述的反射率光谱曲线以监控波段范围为横坐标，反射率为纵坐标。7.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，所述的不同厚度是指设计的每层膜根据厚度分成q等份，在1等份厚度至q 1等份厚度下计算在监控波段范围内各个波长的反射率光谱曲线。8.根据权利要求7所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤1)中，q为10～30。9.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤2)中，从每层膜的各个反射率光谱曲线寻找出每层膜达到正确厚度时的反射率极值，具体包括：将每层膜的q等份厚度下的反射率光谱曲线进行比较，找反射率极值。10.根据权利要求1所述的任意厚度膜系的监控方法，其特征在于，步骤2)中，从反射率极值选择一个合适的极值作为膜层的厚度监控波长，具体包括：第一种：反射率极值为一个，则直接作为该膜层的厚度监控波长；第二种：反射率极值为多个，根据反射率极值和极值波长的特征，选择一个反射极值波长作为厚度监控波长。

技术总结
本发明公开了一种任意厚度膜系的监控方法，采用薄膜设计软件模拟计算出每层膜随着厚度增加时在监控波段范围内各个波长的反射率光谱曲线，并从各光谱曲线寻找出每层膜达到正确厚度时的反射率极值，然后对每层膜选择一个合适的极值波长作为其厚度监控波长，最后就可用每层膜的厚度监控波长借助于传统的反射极值法监控任意厚度的多层膜。监控波段范围优选为400～900nm；极值可以是极大值，也可以是极小值；任意厚度膜系的厚度监控仅需一块监控片；监控方法可以采用反射极值监控，也可透射极值监控。这对任意厚度膜系的膜厚监控和器件制造具有重要的实际价值。制造具有重要的实际价值。制造具有重要的实际价值。


技术研发人员：金波 艾曼灵 沈旭辉 白晶 吴江波 顾培夫
受保护的技术使用者：杭州科汀光学技术有限公司
技术研发日：2023.04.27
技术公布日：2023/7/24