一种恒温腔的制作方法

技术特征：
1.一种恒温腔，其特征在于，包括：外部保护层(9)、中间隔热层(10)、内部恒温层(15)、压力控制管(7)和波纹管(8)，所述外部保护层(9)和所述中间隔热层(10)采用上下两段式封闭结构，所述外部保护层(9)为双层结构；所述内部恒温层(15)设置于所述中间隔热层(10)内的底部，所述中间隔热层(10)设置于所述外部保护层(9)内；所述压力控制管(7)设置于所述外部保护层(9)的上部；所述波纹管(8)依次连接所述压力控制管(7)、所述中间隔热层(10)和内部恒温层(15)；所述外部保护层(9)的双层结构内、所述外部保护层(9)和所述中间隔热层(10)之间以及所述中间隔热层(10)和所述内部恒温层(15)之间均抽为真空，工作时所述内部恒温层(15)内注入氦气。2.根据权利要求1所述的恒温腔，其特征在于，所述外部保护层(9)包括：外层上筒体、外层下筒体、外层顶部法兰(6)、外层底部法兰(19)和固定环(18)，所述外层上筒体和所述外层下筒体的开口拼接形成一个外层封闭筒，所述外层上筒体和所述外层下筒体具有双层结构；所述外层顶部法兰(6)设置于所述外层封闭筒的顶部，所述外层顶部法兰(6)上设置低温真空航插(23)；所述外层底部法兰(19)设置于所述外层封闭筒的底部；所述固定环(18)将所述外层上筒体和所述外层下筒体进行固定。3.根据权利要求2所述的恒温腔，其特征在于，所述外层上筒体和所述外层下筒体采用不锈钢加工焊接而成。4.根据权利要求2所述的恒温腔，其特征在于，所述中间隔热层(10)包括：中间层上筒体、中间层下筒体、中间层顶部法兰(17)和中间层底部法兰(20)，所述中间层上筒体和所述中间层下筒体的开口拼接形成一个中间层封闭筒，所述中间层顶部法兰(17)设置于所述中间层封闭筒的顶部，所述中间层底部法兰(20)设置于所述中间层封闭筒的底部。5.根据权利要求4所述的恒温腔，其特征在于，所述内部恒温层(15)包括：柔性热管(13)、传感器底座(14)、内层筒体(15)和内层顶部法兰(16)，所述柔性热管(13)套设于所述内层筒体(15)的外圆周侧壁，且所述内层筒体(15)由下而上的套设直径逐渐减小；所述传感器底座(14)设置于所述内层筒体(15)内底部；所述内层顶部法兰(16)设置于所述内层筒体(15)的顶部，所述内层顶部法兰(16)上设置低温真空航插(21)，并使用铟丝密封，所述低温真空航插(21)的一端连接被校准传感器的引出线。6.根据权利要求5所述的恒温腔，其特征在于，所述中间层上筒体、所述中间层下筒体和所述内层筒体(15)采用6061铝加工而成；所述低温真空航插(21，23)采用玻璃熔接。7.根据权利要求5所述的恒温腔，其特征在于，在所述内层顶部法兰(16)和所述外层顶
部法兰(6)之间设置热锚结构，并连接所述内层顶部法兰(16)和所述外层顶部法兰(6)；所述外层顶部法兰(6)和所述外层底部法兰(19)采用o型圈密封(24)。8.根据权利要求5所述的恒温腔，其特征在于，还包括：制冷机冷头(12)和冷量分配器(22)，所述冷量分配器(22)设置于所述内层筒体(15)的底部并与所述内层筒体(15)的底部连接，将所述制冷机冷头(12)、所述内层筒体(15)和所述中间层下筒体进行固定连接。9.根据权利要求8所述的恒温腔，其特征在于，还包括：加热器，所述加热器设置于所述内层筒体(15)的底部和所述冷量分配器(22)之间，以及所述内层筒体(15)靠近底部的外圆周侧壁上。10.根据权利要求1所述的恒温腔，其特征在于，还包括：kf40焊接法兰(11)，所述kf40焊接法兰(11)设置在所述外部保护层(9)的外侧壁上。

技术总结
本发明涉及一种恒温腔，包括：外部保护层(9)、中间隔热层(10)、内部恒温层(15)、压力控制管(7)和波纹管(8)，外部保护层(9)和中间隔热层(10)采用上下两段式封闭结构，外部保护层(9)为双层结构；内部恒温层(15)设置于中间隔热层(10)内的底部，中间隔热层(10)设置于外部保护层(9)内；压力控制管(7)设置于外部保护层(9)的上部；波纹管依次连接压力控制管、中间隔热层和内部恒温层；外部保护层的双层结构内、外部保护层和中间隔热层之间以及中间隔热层和内部恒温层之间均抽为真空，工作时内部恒温层内注入氦气。该恒温腔可以减小内外热辐射和上下温度梯度，抑制温度波动，提升温度均匀性。提升温度均匀性。提升温度均匀性。


技术研发人员：张韧 顾正华 常猛 褚卫华 郝剑昆 杨兆欣 马浩原 姜玲玲 何家伟
受保护的技术使用者：中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
技术研发日：2023.03.20
技术公布日：2023/7/22